如果两束光相位相同，光波会叠加增强，表 现为亮条纹。
相消干涉
如果相位相反，则光波会相互抵消，表现为 暗条纹。
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线性测量原理
安装方式：
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线性测量光路图
固定反射镜和分光 镜
• The detection unit detects these changes and converts them to a reading that is proportional to the change in relative path length.
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基本概念—机床精度的21项误差
For Linear measurement (3): xdx ydy zdz
For Angular measurement (9): Ax Bx Cx Ay By Cy Az Bz Cz
For Straightness measurement (6): xdy xdz ydx ydz zdx zdy
For Squareness measurement (3) XZ, XY, YZ
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基本概念 – 激光及其特点
– 激光输出可视为一束正弦波.雷尼绍XL-80所用的激光的波长是633nm. Wavelength
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直线度测量
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直线度测量
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直线度测量
Wollaston 棱镜
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激光头
光线 1
光线 2
直线度反射镜
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直线度测量
Wollaston 棱镜
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激光头
光线 1
(加长)
光线 2
(缩短)
直线度反射镜
移动方向
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直线度测量
• The easiest way to understand how the system detects straightness deviations is to imagine what happens to the relative path lengths of Beam 1 and Beam 2 if the straightness reflector moves sideways
移动反射镜
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激光头
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线性测量原理
– 激光头
B (固定反射镜)
C (移动反射镜)
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输出光 反射光
A (分光镜)
测量光 汇合光
– 从激光头发出的激光被分光镜（A)分为2束光。 – 一束光经过固定的反射镜形成参考光. – 另一束激光经过移动的反射镜 (C) 形成测量光.
• As the reflector is moved upwards, Beam path 1 gets longer and Beam path 2 gets shorter
• This change in the relative path lengths causes a change in the interference signal intensity as the interference cycles between constructive and destructive interference.
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ISO 230-2 (1997)-
ASME B5.54 -
BS 3800
-
JIS B6330
-
GB 10931-89 -
VDI 3441
-
E60-099
-
International U.S.A. U.K. Japan China Germany France
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–反射光和测量光经过分光镜后汇合，并且彼此干涉.
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线性测量原理
参考光：固定不动
测量光：随着反射镜的移动而移动
移动反射 镜
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相长干涉
如果两束光相位相同，则光波会叠加增强， 表现为亮条纹。
相消干涉
如果相位相反，则光波会相互抵消，表现 为暗条纹。
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激光干涉仪原理介绍
雷尼绍青岛办------韩克新
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基本概念 – 激光干涉仪 • 什么是激光干涉仪：
利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三 座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位 精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂 直度等）进行精密测量的精密测量仪器。
角度测量
安装方式
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角度测量
激光头
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固定干涉镜
移动反射镜
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角度测量
激光头
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固定干涉镜
移动反射镜
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角度测量
– 激光具有三个重要特性：
•激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。 •激光波长非常短，可以用于高精度测量。 •激光具有干涉特性。
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基本概念 – 激光的产生
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基本概念— 激光的干涉特性
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+
+
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=
相长干涉
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线性测量原理
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激光干涉仪通过接收到的激光的明暗条 纹变化，再通过电子细分，从而知道距 离的细微和准确变化。
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+
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线性测量
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激光干涉仪测量与国际标准