高
真空插板阀
CC 型手动超高真空插板阀
CCQ 型气动超高真空插板阀
CCD 型电动超高真空插板阀
CC 型手动超高真空插板阀
CC 型超高真空插板阀是以手柄带动阀杆上下运动使阀板开启或关闭。

阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。

适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能：
适1用范围 Pa
05～1×10-7
DN ≤200时 ≤1.3×10-7
漏D 率 Pa.1/s
N ≥250时 ≤6.7×10-7
烘≤烤温度 ℃ 150（传动装置除外）
开≤阀时阀板两侧压力差Pa 2.7×103
CCQ 型气动超高真空插板阀
CCQ 型气动超高真空插板阀是以压缩空气为动力源，经电磁换向阀由气缸活塞杆带动阀板作上下运动，达到阀门开启或关闭。

阀门是用于超高真空系统中切断或接通气流之用。

适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能：
适1用范围 Pa
05～1×10-7
DN ≤200时 ≤1.3×10-7
漏D 率 Pa.1/s
N ≥250时 ≤6.7×10-7
烘≤烤温度 ℃
150（传动装置除外）
气源压力Mpa .4～0.6
0阀时阀板两侧压力差Pa 2.7×103开≤
CCD 型电动超高真空插板阀
CCD 型电动超高真空插板阀是以电源为动力源，通过电动装置使阀杆带动阀板作上下运动。

达到阀门开启或关闭。

阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。

适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

主要技术性能：
适1用范围 Pa
05～1×10-7
DN ≤200时 ≤1.3×10-7
漏D 率 Pa.1/s
N ≥250时 ≤6.7×10-7
烘≤烤温度 ℃ 150（传动装置除外）
电2源V/Hz
20/50 开≤阀时阀板两侧压力差Pa 2.7×103。