(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910253142.1
(22)申请日 2019.03.29
(71)申请人 清华-伯克利深圳学院筹备办公室
地址 518055 广东省深圳市南山区学苑大
道1001号南山智园
(72)发明人 马辉　何宏辉　孟若愚　
(74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
11332
代理人 孟金喆
(51)Int.Cl.
G01J 3/447(2006.01)
(54)发明名称
一种偏振成像方法及其装置、偏振成像系统
(57)摘要
本发明实施例公开了一种偏振成像方法及
其装置、偏振成像系统，该偏振成像方法通过变
化光阑通光孔的位置，以使经收集透镜后的不同
角度范围和/或不同方向的偏振透射光束透过光
阑的光阑通光孔，以获得标准样品的多个第一偏
振属性和待测样品的多个第二偏振属性，并由标
准样品的多个第一偏振属性与标准样品的标准
属性得到多个偏振属性误差，从而能够在获得待
测样品的不同角度的多个第二偏振属性后，由偏
振属性误差对不同角度的多个第二偏振属性进
行校准，以在降低所获得的多个第二偏振属性的
偏振属性误差的前提下，提高待测样品偏振图像
的分辨率，获得待测样品的各向异性信息，并且
偏振成像方法简单，
成本低。

权利要求书2页 说明书10页 附图5页CN 109839191 A 2019.06.04
C N 109839191
A
权　利　要　求　书1/2页CN 109839191 A
1.一种偏振成像方法，其特征在于，包括：
控制经标准样品和收集透镜后的偏振透射光束通过位置变化的光阑通光孔，以获取标准样品的多个第一偏振属性；
根据所述多个第一偏振属性以及所述标准样品的标准偏振属性获取所述标准样品的多个偏振属性误差；
控制经待测样品和收集透镜后的偏振透射光束通过位置变化的光阑通光孔，以获取待测样品的多个第二偏振属性；
根据所述多个第二偏振属性以及所述多个偏振属性误差获取所述待测样品的偏振图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述多个第二偏振属性以及所述多个偏振属性误差获取所述待测样品的偏振图像包括：
根据所述多个偏振属性误差对应校准所述多个第二偏振属性，获取多个校准偏振属性；
根据所述多个校准偏振属性，获取多个校准偏振图像；
合并所述多个校准偏振图像，以获取所述待测样品的偏振图像。

3.根据权利要求1～2任一项所述方法，其特征在于，所述第一偏振属性、所述第二偏振属性均包括穆勒矩阵。

4.一种偏振成像装置，其特征在于，包括：
第一偏振属性获取单元，用于控制经标准样品和收集透镜后的偏振透射光束通过位置变化的光阑通光孔，以获取标准样品的多个第一偏振属性；
偏振属性误差获取单元，用于根据所述多个第一偏振属性以及所述标准样品的标准偏振属性获取所述标准样品的多个偏振属性误差；
第二偏振属性获取单元，用于控制经待测样品和收集透镜后的偏振透射光束通过位置变化的光阑通光孔，以获取待测样品的多个第二偏振属性；
偏振图像获取单元，用于根据所述多个第二偏振属性以及所述多个偏振属性误差获取所述待测样品的偏振图像。

5.一种偏振成像系统，其特征在于，包括：焦平面滤波装置和权利要求4所述的偏振成像装置；
所述焦平面滤波装置包括沿光路依次设置的光束出射单元、收集透镜、光阑和光束接收单元；待测样品或标准样品放置于所述光束出射单元和所述收集透镜之间；
所述光束出射单元用于提供偏振入射光束，并投射至待测样品或标准样品上；
所述收集透镜用于将透过所述待测样品或所述标准样品的偏振透射光束会聚于所述收集透镜的焦平面上；
所述光阑位于所述收集透镜的焦平面上，所述光阑用于控制会聚于所述焦平面上的预设角度的所述偏振透射光束透过所述焦平面；所述光阑包括光阑通光孔；
所述光束接收单元用于接收透过所述焦平面的所述偏振透射光束。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述焦平面滤波装置还包括：检偏单元；
所述检偏单元位于所述光束出射单元与所述光束接收单元之间的光路中；所述待测样品或所述标准样品放置于所述光束出射单元和所述检偏单元之间；所述检偏单元用于调制
2。