根据具体的实际情况进行处理，做到最优选择。 在完成接线再次切割后，应密切注意观察，同时 积极配合寻找断线原因，进行总结讨论积累经验。
线切事故

没有打开空调的情况下，屏蔽报警项目进
行了切割，发现此事后机床温度已经高达
50多度。后经检测人员检测，硅片表面质
量严重受损。（屏蔽项目）

机床下棒后由于操作工及学徒急于切割， 在没有仔细检查的情况下就进行切割，切 割24分钟就发生报警，发现两侧单晶全部 脱落，导轮严重损坏，机床温度严重超过 警示温度。操作工在未对机床进行任何检 查情况下，其学徒就进行切割 （切割前检 查）

（滤网太大；玻璃板两端不垂直；出线端导轮磨损过多； 横移架排线辊轮转的不圆滑）
缺陷处理Defect Disposal
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崩边原因及整改措施

①粘胶：胶粘得太厚，钢线会把多余的胶带入硅片中，容易 崩边——减小用胶量并对用粘胶布的方法去除单晶和玻璃板
周围多余的胶

②去胶：刀片刮胶容易造成损伤——禁止刀片刮胶 ③去胶后的单晶倾斜增加了硅片边缘的磨损——改用新的煮 胶方式（单晶倒挂去胶，使硅片垂直脱落）

工字轮法兰边是否有毛刺，若有用磨石蹭
掉

Ⅱ切割室
导轮线网必须平整，无跳线——用手触摸导轮，
并从侧门和导轮底部观察导轮跳线情况

5个砂浆喷管必须齐全、无堵塞、无断流，位置严
格垂直于线网，稳固无晃动；把手必须冲里
Hale Waihona Puke 碎片盒必须置于切割室内

Ⅲ 控制面板 屏蔽条件：除开门、料浆桶水平面和警告项目屏蔽外，其 他所有项务必不能屏蔽
断线或硌断钢线。

最主要是人的因素，①切割前检查做的不到位： 造成大量跳线从而断线； ②单晶托没有紧固， 双向走线时，加工工件在线的拉力下摆动断线； ③由于工艺输入的不正确，造成反切或者钢线
使用严重超损断线； ④砂浆管分流情况严重而
未及时发现，造成钢线与单晶直接摩擦断线；
⑤由于屏蔽启动条件，同时机床未达到切割准
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④硅棒的表面损伤——运用设备或试剂对硅片表面做进一
步的处理，以去除硅棒的表面损伤

⑤下棒车的震动：震动幅度大会对硅片产生硬损伤，造成 裂片、缺口或崩边——运输时减慢速度或硅棒下面加防震 垫

⑥加热液的高度：要浸没硅棒，太低会造成片与片之间的
液体张力加大，增加裂片、缺口和崩边——按规定操作
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（2）线网中间断：如果没有跳线且切割初期，可
以升起重织线网再次切割；如果有大量跳线一般
不建议升起，应考虑保大部单晶为上选，同时需
考虑进线方向。如果切割过深，根据剩余线网情
况，保其中一半。接线时，可通过调节最外侧的 导向轮进行，不用采用Z型绕线法接线，以免损坏 导轮。

（3）进线口断线：切割过深时，将线接好反向切
割，如考虑钢线磨损问题，可适当加大新线进给
或者使用单向走线方式；切割较浅时，请示相关
人员可升起重织线网再次切割，注意记录断线时
的机床信息

注意：在出现断线时，切忌慌乱、毛头，应认真
分析断线位置以及各方面情况，寻找最佳解决方
案，并上报工程师或车间主任，随后进行合理断
线处理。以上提到的处理方式，并不能死搬硬套，

3. 必须保证压缩空气在0.4MPa以上，压缩空气
通过管路连接机床各轴承部位防止进入砂浆，
在压缩空气停止或小于0.4MPa时禁止砂浆循环，
长时间停机必须在停止砂浆循环2小时以后再停
止压缩空气。每次切割前必须检查绕线室压缩
空气管是否破损，有破损割断情况，必须更换。

4. 导轮更换后必须更改导轮直径，如果导 轮设定直径比实际直径小，则会出现用线过 量，最后可能出现钢线用量不足；如果导轮 设定直径比实际直径大，则会出现钢线富余。

切割工艺参数：t、T、a、平均速度、新线进给量（0/4～ 4/4）和钢线拉力；预热时间、预热新线进给量、料浆供 给量、工作台下降速度和进给停止时间

温调：搅拌马达和砂浆供给——ON；自动

定位：方式—料浆供给方式（一定量或图表）和进给速度方式（一定 速或图表）

复位—加工时间和负荷时间 消耗品：导轮和导向轮的使用时间必须在其各自的使用寿命之内 进给方向——左进给
造成断线。

钢线工字轮法兰上有毛刺，挂断钢线

砂浆问题：

砂浆密度高，粘度大则对硅片冲击力大，造成裂片
掉片。密度低，粘度小则会切割不锋利，出现线痕，
甚至断线。

砂浆由于使用时间过长，切割能力下降，线弓过大 造成线痕甚至断线

冷却不正常造成砂浆温度高，钢线损耗加剧，造成 断线。

砂浆内有杂物，在循环过程中到线网导轮上，跳线





1. 线切基础知识介绍 2. 断线原因及分析处理 3. 断线几种常见情况及处理 4. 常见的线切事故 5. 缺陷项目及原因分析 1)崩边 2)亮边 3) 线痕 4)TTV 5)残留，斑点，水纹 6. 开方工序介绍及数据分析
目录
1
线切机床基础知识

基本规格

电源：三相电流，200V±10﹪，50Hz
工作台位置是否复位清零，并调至-2.000mm左右
务必检查钢线剩余量，钢线拉力与切割要求是否匹配
断线的几种常见情况及 处理
出线口断线

在绕线室 在切割室线网：
线网中间断线
进线口断线。

（1）出线口断线：保持线网的平整，将边缘 钢线与线轮重新接好，继续切割。下棒后注 意观察导轮情况并将线网重新织全。
晶上棒后，确认检查无误，后试切2分钟，又进行了检查，
而此时他也没有打开侧门进行检查，就进行了正式切割， 造成一刀单晶报废（无侧门检查）

学徒工在粘料时疏忽大意，未及时考虑温度 因素，导致操作工在下棒时，有一根晶棒的 硅片全部掉在地上摔坏。操作工在下棒时未 能及时检查，也应对本次事故承担相应责任 （粘料的温度和下棒的检查）

总消耗电量：
96KVA
切割能力：


□156×L300×2根
□125×L300×2根


□103×L300×2根
□ 76.2×300×2根

新线网宽度：
320mm
单晶托面板长度: 310mm
最大钢线速度： 1000m/min 工作台切割速度： 0.1—2.5mm/min 工作台起落速度： 50—500mm/min 空气压力：
有跳线，保持线网整齐
检查工作台是否复位清零，并调整到-2mm位
置
检查砂嘴是否堵塞，位置是否正常
检查所有文件：张力情况、工作台位置、自动切
割方向、砂浆状况、导向轮时间、计时复位切割
工艺参数、屏蔽条件
换线时，用手检查线轮法兰边沿是否有毛刺。

Ⅰ绕线室： 钢线是否在导向轮内，并且均置于内侧 四个接触辊是否完好，能否自由转动 收放线轮排线是否正常，是否有压线
到6刀以后亮边数会大量产生，需要大量更换砂浆
（80升/刀）才能缓解，分析原因是切割到最后砂
浆切割能力降低，钢线产生的波动会对硅片造成伤
害形成亮边（切割能力不足和钢线波动产生）
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Wiresaw Defect Gallery – (Saw Marks)

Defect Name: 线痕 Process: 切片 Scrap Code: RA > 1.5 or Deep> 15um Mode / Description: 在硅片粘胶侧有线痕 Position: Any Location on wafer surface: 粘胶侧

用悬浮液将机床导轮刷了一遍，然后像往常一样正常跑线。
跑完线后用手摸了摸线网没有发现跳线，而此时他并没有
打开侧门进行检查。因此，在导轮线网分布不均的情况下 进行切割，造成一刀硅片为废片；机床下棒后，该班组操 作工在轻拍线网、跑完线后，将单晶片推到清洗，该刀是 大冲机床第二刀，不用换砂浆，且不用换线。在第二刀单
备而进行切割造成断线等等 ，

切割前务必把工作做精做细，只要切割前工
作做到位，就会减免一些不必要的事故。切
割前检查：
用高压气吹两层滤网和导轮线网，保持洁净
检查4个接触轮是否完好，用手使其能自由转动 检查收放线轮排线是否正常
检查钢线必须在导向轮内槽，检查进线出线
两根钢线必须在导轮槽里
检查导轮同侧空槽数目是否相同，线网是否

粘胶用量：当用胶量过多时会在单晶根部造成线 痕，从而产生亮边

脱胶时间和角度：在尽可能时间短内软化胶可有 效降低清洗环节中的亮边，倾斜角度越小造成亮 边的几率也越低
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切割深度：切割深度加深，会使消除线弓阶段在玻
璃板内完成，从而减小在消除线弓阶段产生的亮边

砂浆切割能力：在切割实践中发现，新砂浆在切割

机床下棒后，在准备切割上棒时，由于所带 PVC手套有砂浆太滑，不慎将一根225mm长 的单晶摔到地上，造成单晶大约10公分左右 的单晶报废（操作人员PVC手套有砂浆太滑， 一时手滑未将单晶抓牢造成的）

导轮已使用470小时，切割前检查导轮深 槽无异物，切割过程中可能出现深槽或者 线网中带有硅片导致断线。机床发出断线 报警，此时工作台行程至105.768mm，发 现线网大部分损坏，切割太深已无法拔出 后再插入。（导轮使用时间太长）

5. 更换砂浆按比例，是为了把一刀单晶中 磨损硅粉更换出来，保证金刚砂在砂浆中保 持有效比例，另外更换砂浆必须加滤网，定 期检查更换滤网，以保证切割质量。