7
六、洁净管道安装之焊工验证——1
目的：此焊工验证的目的是要确保每位在现场或无尘焊接的人员，其焊接质量的认证 并且可做日后管道追踪的管理。
步骤： 一、将管子分成四Group: ½”~15A,20A~80A,100A~150A,200A以上。 二、从每个Group中选一种尺寸的管子做焊接认证，通过后在其Group范围内的尺寸 均可施工，不可跨Group施工，除非通过各个Group的认证。 三、觉得认证的尺寸后焊接者需在限定的时间内完成焊接测试。 四、认证者先将几台焊接数据归零，焊接者需要自行重新调整数据和管内气体流量 并且要会更改钨棒和调整钨棒的间距。 五、焊接者最后需完成三块试片，一块t/b(tube on beat)即管子直接焊接，两块 t/t(tube om tube)即管对管，对接的试焊。
一般对于P级要求（ppb级）的制程气体的输送，均要求采用SUS316L 材质的EP管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316L材质的BA管 材。
5
四、洁净管道安装之材料接收
目的：主要确定管道在运送过程中包装的完整以及订购量和材质的符合 步骤： 一、材料订购后在接收前最好能先到原厂抽检。
1.阀件 取10%做氮气测漏测试以及Particles的测试。 2.管件 依炉号Heat No.和管子的Size各取一支做焊接测试。 3.管接头 依不同的Size各取一件出来做粗超度、真圆度、Dimesion测试。 二、材料到厂处理 1. 通知品保人员检查包装状况，在品保人员（QA/QC）准许后才可拆箱，拆 箱需非常小心以 免伤 到管材。 2.将所有送货单发票及出厂检测报告交给QA/QC人员。 3.Piping和Tube的上架，同尺寸的管子会有不同的炉号，需依照炉号区分出来。 4.316LEP和316LBA的管件和阀件到厂拆箱后需无尘室Class10000区存放，移入 前需在擦拭干净
9
七、洁净管道安装之焊道检验
目的：此检验标准主要是确保焊道的质量良好以避免日后的 泄露或者腐蚀的危险。
步骤： 一、焊道是否有氧化的现象？ 二、焊道是否渗透完全？ 三、焊道是否弯曲偏移严重（1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 四、焊道是否穿孔？ 五、焊道是否过度凹陷？ （1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 六、焊道是否过度凸起？ （1/4”~2” →10%,3”管以上→15% ） 七、焊道覆盖是否适当？（60%~80%） 八、焊道宽度是否适当？（管厚x1~2倍）
GAS&Chemical Part
2015.07.02
1
一、特气概述
一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。大宗气体一般是指集 中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par 、 PH2 、Phe，以及非制程用气如：CDA 、N2、 GN2等。 特 种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气 体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰 性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输 送系统来满足各种不同制程设备的需求。
3
三、特气管材介绍
目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材 料主要有不锈钢（Stainless Steel）、特氟龙（Teflon）、高密 度聚乙烯（HSPE）、以及聚偏二氟乙烯（PVDF）等。其中在 气体传输中一不锈钢管件的应用最为广泛，通常在所有与制程 相关的制程气体（Process Gas）的输送方面都要应用不锈钢管 件。
2
二、特气的分类
我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照 使用时的特性分为五类：
1、易燃性气体（Flammable Gas） 2、毒性气体（Toxic Gas） 3、腐蚀性气体（Corrosive Gas） 4、惰性气体（Inert Gas） 5、氧化性气体（Oxide Gas）
8
六、洁净管道安装之焊工验证——2
六、完成的试片在试片上必须填写上炉号、日期、管子的尺 寸、等级和焊者的ID No.并填一份认证表格。
七、认证者检视完成的试片并填写认证表格的合格与否，合 格者才可施工理出一份合格者名单，传到现场给QA/QC人员，以掌 控现场施工人员的施工质量。
10
八、洁净管道安装之焊接检验-1
目的：控制焊接的过程中不受外界的污染并保持管内的洁净以达到UHP配管的质 量规格。 步骤：
一、切管和洗管 1、1/4”~3/4”d的管于在Class1000区切管。 2、3/4”以上的管于在Class10000区切管。 3、切下来的管子需注明管子的炉号，使用系统、等级和套上塑料片、塑料盖。 4、切下来的管子需要用DIW清洗干净，再用热氮气吹干或者烤箱烘干。 5、不管是现场的施工或者是无尘室的预制，大管径的切管必须在无尘室或 Clean Booth下执行前完成洗净的工作。 6、现场良好要切管的尺寸，从无尘室送出钱必须盖上塑料片和者塑料盖并封 上两层塑胶袋方可运到现场，运送车需有管架，管子不可顺意置放。 7、切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。 8、现场切小管时需经过纯化后的气体作冲吹。
不锈钢管件主要用来传输各种制程气体的管件，尤其是一些 剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢管件的制作和施工要 求在以上几种不同材质的管件中要求最为严格。
4
管材分类
不锈钢管 EP BA&AP 管材等级 EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光 BA级（Bright-annealed ）光辉退火 AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化
6
五、洁净管道安装之材料检验
目的：主要是为了在次确定所购买的材料质量符合标准规范。
步骤： 一、材料在移入无尘室后准备取出10%做检验 二、检验项目： 1、外观检验：目测表面有无凹痕 、刮伤，内表面有无缺陷、凹
洞、刮伤、污点残余物。 2、粗糙度的检验：利用粗糙度仪做内部表面粗糙度的检验。 3、管壁厚度及外径的检验：利用光标卡尺做管外径和厚度的检验。