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芯片生产工艺流程课件(PPT 59页)

芯片制备过程是一个复杂而精细的工艺流程,包括多个关键步骤。首先进行单晶拉制,这是制备高质量硅片的基础。随后进行扩散工艺,通过扩散/氧化炉将杂质掺入硅片中,改变其导电性能。紧接着是光刻步骤,利用光刻机将电路图案转移到硅片上,该过程包括匀胶、前烘、对版、显影/漂洗、坚膜、腐蚀和去胶等多个环节。之后进行CVD工艺,通过化学反应在硅片表面沉积薄膜。此外,还有离子注入工艺,将离子束注入硅片中,进一步改变其导电性。蒸发工艺是将金属材料蒸发到硅片表面形成电极。最后进行清洗步骤,去除表面的杂质和污染物。整个制备过程需要高精度的设备和技术支持,确保每个步骤的准确性和稳定性,从而生产出高性能的芯片产品。
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