PID--臭氧发生器调节使用说明
1、产品描述
2、安装前准备
3、参数调试
4、维护
5、故障检查与处理
1、产品描述
1.1、臭氧发生器介绍
1.氧气流量表显示氧气流量
2.流量调节调节近期流量，可调节臭氧产量
3.气压调节调节进气压力，可调节臭氧产量
4.逆变器控制逆变器的开关，臭氧发生器的启动
5.设定键设定功能按键
6.+键调节功率增加按键
7.—键调节功率减小按键
8.LED显示屏显示臭氧发生器工作状态和功率百分比
9.压力表显示发生器的工作压力
10.氧气进口连接氧气管路的接头
11.臭氧出口连接臭氧管路的接头
12.冷却水出口连接冷却水管出水的接头
13.冷却水进口连接冷却水管进水的接头
14.冷却风扇发生器内部电源冷却
15.快速熔丝发生器过载保护
16.电源接头220V电源接入口
17.电源开关220V电源开关
1.2 臭氧混合罐，臭氧分布板
气体混合罐气体分布板
2、安装前准备
2.1、安装前用户提供资源
●氧气
●氮气
●冷却水进出水
●220V的电源连接
●排风
2.2、安装所需备件
●安全柜X1
●臭氧发生器X1
●混合罐X2
●分布板X1
●Φ6、Φ8、Φ10气管若干
●各种转接头若干
●适应量程的压力调节阀2个（根据各现场情况定型号）
2.2、臭氧发生器安装
将臭氧发生器放置到安全位置，将其和冷却水，特气，混合罐，分布板正确连接起来（准备工作完成（如下图）
注意事项：安装分布板的时候要控制好分布板和硅片之间的距离，不可过大或者过小（大约在4-8mm左右）
3、参数调试
1)在准备工作全部完成的情况下，将氮气和氧气的压力调至0，接通臭氧发生器电源，先
确认臭氧发生器的逆变器在关闭状态，臭氧发生器的功率百分比是0%
2)缓慢打开氮气压力调节阀，将压力调节至0.2MPa左右(量程0-1MPa），缓慢打开氧气压
力调节阀将压力调节至0.06MPa左右（量程0-0.4MPa）
3)等待1-2min待气体能够正常通过臭氧发生器的时候，先将功率百分比设定为5%，打开
臭氧发生器
4)配合调节氮气氧气压力调节阀，臭氧发生器上气压调节旋钮和浮子调节旋钮，将浮子流
量控制在20左右，气体调节控制在0.5左右（实际情况根据现场要控制）
在臭氧浓度保持不变的条件下，调节臭氧产量。

调节方法是保持比功率不变，即输入的
功率与气体流量的比率不变，如下式功率/ 气体流量=Const
需要减少臭氧产量时，在减小气量的同时，应等比例的减小相应的输入功率，反之亦然
臭氧浓度检测仪检测口
注：在检测时要确保打开检测阀后臭氧发
生器上的浮子流量值无明显变化为好，否
则检测出的数值可能不准确有波动
5)调节好后用臭氧浓度检测仪检测混合罐处臭氧浓度比例，目前PID工艺最佳范围值在
100-200PPM之间效果最佳（具体情况可根据现场实际情况调节）
6)测试亲水性：臭氧浓度检测通过后等待约1-2min待臭氧氮气混合气体运行至分布板后
在刻蚀上料端放5片电池片
7)电池片运行经过分布板后表面会长一层氧化膜。

将电池片取出放置在平整的桌面，用滴
管向电池片表面滴水（如下图）滴水时要控制水量和力度，不能过多或者过少。

8)观察水在硅片表面的氧化膜上的展开的面积大小以判断亲水性的成功是否（注：亲水性
测试，以滴一滴水在表面，水滴会慢慢展开，且在其周围会有许多像触角向四周蔓延为效果最佳）
9)亲水性测试通过后就可做PID试验片，跟踪PE镀膜，修改PE镀膜工艺，恒温时间增
加预放电时间减少（具体调节参数根据现场实际情况制定）
10)镀膜完成收继续跟踪丝网烧结观察其外观，如出现有氧化层坍塌发白现象，配合调节臭
氧浓度和PE镀膜工艺参数（具体调节参数根据现场实际情况制定）
4、设备维护
●定期检查电源接头（接地）是否可靠连接
●定期检查冷却水管路的密封性
●定期检查臭氧发生器及进出其管路的气密性
●定期检查尾气抽风时候正常开启
●如臭氧发生器长期不使用时，应关闭进气和出气口阀
5、故障的检查和处理
●开机后面板电源指示灯没有显示：220V电源是否接入
●臭氧发生器停机：冷却水阀门是否打开
●无流量和压力显示：检查气源的控制阀门是否打开，流量旋钮是否打开
●有压力但无流量显示：检查气体调节旋钮是否打开，流量旋钮是否打开，混合罐出气端
是否堵塞，分布板是否堵塞
●工作期间有臭氧泄漏：关闭臭氧发生器主电源，同时保持室内通风良好，人员撤离。

恢
复后检查管路连接。