玻璃镀膜工艺规程
RDBL/WJ-7.5.1-11
1. 概述: 本规程对镀膜玻璃的工艺控制做了具体的规定, 以确保镀膜玻璃生产的精确控制,
保证产品的质量;
2. 适用范围: 适用于镀膜玻璃的工艺控制;
3. 职责: 微机岗工艺控制员主要负责, 生产技术科（工艺主管）监督执行;
4. 具体操作与规则:
4.1 溅射室抽真空至4×10-5mbar以下, 抽气时间不能少于8小时;
4.2 根据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期, 但必须保证在靶材溅痕最深处剩余3mm前
换靶, 如有临时性大批量生产任务,可根据批量调整换靶周期;
4.3 检查设备各部分是否全部正常, 包括:
a 真空泵系统: 运转情况、油位、油质、泵温；
b 阴极冷却水系统：运转情况、水温、水压，要求水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃, 温
控单元必须在生产前8小时启动;
c 循环冷却水系统:运转情况、水温、水压，要求水压0.6～0.7MPa, 供水温度低于30℃;
d 去离子水单元:运转情况、电导率，要求电导率低于15μs/cm,发现电导率超标及时进
行树脂再生;
e 电渗析器: 检查电流、电压、淡水出口电导率、水槽中水的电导率，要求水槽中水的
电导率低于180μs/cm, 发现超标及时换水, 电导率超标禁止给去离子水单元供水;
f 空压机: 运转情况、气压，要求气压在0.6～0.8MPa;
g 各工作气体气瓶压力不低于1.5MPa, 供气压力为0.2-0.3MPa;
h 设备任何部位不正常均不能开车生产;
4.4 预溅射:
4.4.1抽气过程中的预溅射：
抽气过程中的预溅射，分为两步进行，当真空度达到1×10-4mbar后即可进行首次预溅射。
a.锡靶：从5KW/10A起动进行金属性溅射,只通氩气100×3sccm，逐步升到35KW/70A，
注意在预溅过程电压超过700V立即降低功率或电流，溅射约20分钟。
b.钛靶、不锈钢靶：采用金属性溅射，功率从5KW 、20KW、 40KW 到55KW，预溅射
约5分钟。
c.镍铬合金：对应的阴极开200SCCM氩气，在手动点靶状态下按功率5、10、15、20KW
开启，在20KW时溅射5分钟，注意观察阴极电源输出功率是否为正常的20KW左
右。
d.银靶：在生产调试前通氩气100，100，180SCCM，将功率按10KW，20KW逐步起动，
在20KW做2分钟金属性溅射即可。
e.硅靶：通氩气20,120,220SCCM下,将功率从1KW开始,逐渐升至8KW, 溅射5分钟，
关阴极等5分钟后再从8KW启动，逐渐升至18KW,在18KW做3-5分钟,注意在预溅
过程中电压不要超过700V，连续溅射时间不能超过10分钟，防止靶材脱落。
当真空度达到5×10-5mbar后即可进行第二次预溅射。
a.所有靶材均采用金属性溅射，锡靶5分钟，银靶1分钟，其他靶材3-5分钟。
b.锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射, 锡靶对应氩气70sccm，氧气
550-600sccm，逐渐调到15KW/20A溅射10分钟，再逐步升到35KW/70A，溅射10
分钟。
最后再进行金属性溅射3分钟。
c.关闭阴极和工作气体继续抽气。
4.4.2 生产前的预溅射：
在生产前, 应先对靶材进行预溅射, 以使靶材进入良好的工作状态, 满足生产的需要, 预溅射应遵守以下规定:
a.锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射, 锡靶对应氩气70sccm，氧气
550-600sccm，逐渐调到1到35KW/70A，预溅10分钟后开始调整氧量, 找出临
界点,记录翻转前的电流，在临界点加20sccm氧气进行预溅，逐渐降氧气流量至
溅射电流接近上次翻转时的电流，以此氧量作为工艺点，在工艺点位置预见溅3
分钟。
经过对我们现有设备的长期摸索，工艺点定在500±10 sccm比较合适。
b.其他靶材均采用金属性溅射，银靶1分钟，其余靶材3-5分钟。
4.4.3 生产过程中的预溅射（清靶）：生产过程中要定期对锡靶进行清靶，即对锡靶进行金属性溅射，第一次清靶在生产约48小时后进行，第二次清靶在生产约72小时后进行，以后约每生产8—16小时清一次靶；生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象应立即进行清靶，一般用35KW对应300sccm的氧量溅射至阴极电压达到700V即可，清靶后要重新进行高氧气流量的反应性溅射10-15分钟，然后选择工艺点的工作，要求工艺点基本与清靶前一样。
4.5 工艺参数的设置: 预溅完成后, 停阴极, 根据生产需要输入工艺菜单, 把所有需用的工作气体开启, 进入“自动准备”状态，开阴极，即可进入样品调试；
4.6 试产样片:
a 将待加工玻璃中切裁300×1000mm的玻璃镀成样片;
b 配合质检员测试样片的透光率、反射率、色差、面电阻等指标；
c 样片以上指标达到标准要求, 在质检员同意后开始生产。
4.7 生产:
1)生产前和生产过程中要认真巡视设备的运行状况，监视工作气体压力及流量、冷却
水压力及温度、压缩空气压力、清洗水电导率、泵的运转情况等，并填写《镀膜玻璃操作日志》，如发现不合格的设备状态要及时进行处理并向主管领导报告；交接班时必须把设备情况和生产情况交接清楚、认真核实。
2)镀膜过程中不得擅自改变与溅射室、阴极直接相关的设备的工作状态，如阴极冷却
水温度、压力、溅射室泵群等；
3)当工作气体气瓶的压力在＜1.5mpa时要更换,并随时保证有一满瓶为备用气瓶；更
换工作气体的气瓶后,应停止生产3分钟;
4)每班生产前要正常核对工艺参数存档及所对应的工程,客户名称,实现同一工程,颜
色的一致性。
生产过程中配合质检员作好颜色偏差的微调,保持颜色的一致性。
5)每五片玻璃记录一次镀膜过程中的最低气压、最高气压、最大电流、最高电压，发
现最大电流变化超过0.3A或最高气压变化超过0.05×10-3mbar以及最高电压变化超过10V, 应立即停止生产, 查明原因, 予以解决, 再重新调试样品;
6)通过在线检测设备监测每锅的光学指标及偏差，发现问题及时与质检员沟通。
7)每种膜系的生产都必须依质检员提供的工艺菜单为基础，工艺控制员可根据颜色偏
差情况对一些允许调整的工艺参数（速度、氧气流量）做微小的调整;
8)生产期间应将当时对应的生产菜单,颜色偏差记录,目标曲线记录打印出来,及时交
付质检员存档,以备下次生产时参考使用。
9)反应性溅射时发生金属性溅射, 应立即停止生产, 重新找工艺点进行调试;
10)生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象
应进行清靶; 清理后重新找工艺点，重新调试;
11)因设备故障等原因停产较长时间，应重新找工艺点，重新调试；
12)清洗好的玻璃在等待室的等待时间不应超过10分钟；
4.8 其它未提及事宜参考《镀膜机操作规程》和《镀膜机技术说明》
4.9 相关文件及表格
《镀膜机操作规程》、《镀膜机技术说明书》、《镀膜玻璃工艺清单》、《镀膜玻璃生产记录》、《镀膜玻璃操作日志》。