等待门自动打开
光驰机镀膜基本操作
谢谢!
后记下位置，作为熔料的初始位置，。 3、 SIO2熔完一圈后，先按 ACC/FIL 键关闭电子枪，然后按 RORARION 键，关闭
SIO2坩埚旋转。 注意： CCW为顺时针旋转， CW为逆时针旋转，镀膜时为顺时针旋转。
点此按钮 调整SIO2 坩埚转速
点此按钮启 动SIO2坩埚
必须为此按钮， 为顺时针方向
离子源启 动按纽
正常启动 值为500左 右
①.启动离子源
②.显示屏上的显示
开始镀膜
1、选择膜系：在DELL电脑界面上，根据镜片分光要求，按select选 择膜系； 2、按start键后,会弹出对话框,按continue键，继续弹出对话框,再按 continue,会提示烧灯丝60s,之后等待镀膜 注意：若镀膜过程中发生报警,则首先消除报警,再查找报警原因。
此处控制 SIO2 电子枪参数
熔料
预熔TIO2： 1、在电脑界面按select键选择熔料膜系SO580 PRE Melting 6，在膜
系中选择正确的坩埚位置，保存并关闭。 2、点START键 3、TIO2需熔两遍，然后点击cancel取消熔料膜系，熔料完成。
手动启动离子源
注意：熔料时可以手动启动中和器，注意不可启动离子源。 1.开Ar气：分别将Ar1和Ar2加到20和8
MAIN菜单
关门抽真空,
按
CHAMBER EXHAUST
弹出英文对话框 选择 NO HEATING
EVAPORATION CONTROL界面
熔料
预熔 SIO2 ： 1、将SIO2坩埚转速调整为 400，然后按 RORARION 键启动； 2、将SIO2电子枪各参数调整为： SCAN:X=56; Y=15,POSITION:X=30;Y=44 。然
Ar2
2.启动中和器:显示屏右下角有一绿灯亮起为中和器启动成功
手动 按纽
中和器启 动按纽
亮绿灯
①.打开手动形式 ②.启动中和器 ③.显示屏上的显示
手动启动离子源
3、启动离子源:右下脚有两绿灯亮器为离子源启动成功。 4、离子源的启动要在中和器启动后120秒才能进行; 5、如果离子源启动失败,可以通过加大Ar1进行重新启动。
镀膜基础知识培训教程<一>
光驰机镀膜基本操作
课程大纲
?1.抽真空 ?2.熔料 ?3.手动启动离子源 ?4.开始镀膜 ?5.消除报警 ?6.镀完膜后放气
抽真空
1、先要对真空室进行彻底清洁，然后装入镀膜镜片，关好真空室门。 2、在触摸屏控制面板上，MAIN菜单里的EVAPORATION CONTROL界面 选择CHAMBER EXHAUST，如下图所示。 3、抽气是各阀门的关闭和启动，机器会自动进行。
消除报警方法
MAIN
BUZZERຫໍສະໝຸດ MENU6 ALARN INDICATION
COMPEL STOP
查找报警原因并解决问题
ALARM RESET
开始镀膜
镀完膜后放气
镀完膜后，进行正常放气。
如果电脑上自动放气 CHAMBER VENT 气
按键不被锁定,只需等待自动放
放气 .按
CHAMBER VENT