空调系统培训内容 Revised as of 23 November 2020
空调系统培训计划
空调系统主要工作范围：生产车间中央空调系统、工艺冷却水系统、CDA系统。

一、冷冻系统
1．冷冻系统的组成部分
冷冻机、冷却塔、冷冻泵、冷却泵、管道、阀门
2．冷冻机的工作原理。

机组主要由全封闭压缩机、冷凝器、热力膨胀阀、干燥过滤器、蒸发器、油液分离器以及机保护装置等组成。

制冷时，制冷压缩机将水热交换器内的低压低温制冷气体
（ R22 ）吸及气缸，经过压缩机做功，使之成压力和温度都
较高的气体，进入冷凝器内，高温高压的制冷剂气体与冷却介
质水进行热交换，把热量传给水，而制冷剂气体凝结为高压液
体。

高压液体经节流降压后进入蒸发器。

在蒸发器内，低压液
体制冷剂汽化，吸收周围介质（冷冻水）的热量，从而使冷冻
水降温冷却，成为所需要的低温用水。

水热交换器中汽化后的
低温制冷剂气体又被压缩机吸入压缩，这样周而复始，不断循
环制取冷水。

3．冷冻机开启或关闭步骤。

①．冷冻机开启前需对冷冻机供电预热冷却油（预热时间因机组差异而不同）。

②．冷冻水管道注满水，开启冷冻水泵让冷冻水经过蒸发器循环并达到一定压力，排出管道内空气。

③．冷却塔注满水开启冷却水泵，让冷却水径过冷凝器循环并达到一定压力，排出管道内的空气。

将冷却风机开启自动启停状态。

④．有热回收装置的冷冻机则还需开启热回收系统。

⑤．检查上述事项无误后开启冷冻机组，检查机组各项参数，水温达到设定值后方可离开，定时巡视记录运行数据。

⑥．关闭冷冻系统时先关闭主机，等待10分钟左右方可关闭冷冻水和冷却水的水泵。

长期不用的情况下将冷凝器和蒸发器内的水放干。

以免冬天气温低将机组铜管冻裂。

4．冷冻机的常见故障及处理方法
①、高压或马达过载
冷凝器堵塞或结垢，需清洗。

冷却水流量不足
冷却水进水温度过高
冷却水阀堵塞
系统内有空气
②、冷冻水开关跳脱
冷冻泵停止工作或冷冻水缺水。

③、冷却水开关跳脱
冷却水泵停止工作或冷却水缺水。

④、机组低压报警
蒸发器出水温度过低
制冷剂的充注量过少
冷却水温度过低
⑤、压缩机不能增载到100%
高低压差限载
压缩机能量传感器故障
冷凝器检测温度过高
5．冷却塔
冷却塔的作用是水通过冷凝器时与高温高压的制冷剂气体进行热交换把热量带走，通过冷却塔风机做功冷却水和大气进行热交换。

①、风机
风机的作用是将冷却水的热量与大气进行交换（冷却水的作用）
②、补水
冷却塔在进行热交换时会把水蒸发到大气中，这时就要补充冷却塔的
水量，保持冷却塔内水不会减少
③．冷却塔填料
冷却塔填料是冷却水与大气进行热交换的场所。

依实际情况对填料进
行更换。

二．工艺冷却系统
1． 1#电池1#线工艺冷却系统是直接应用冷冻水。

使用回水管道上的温度比例调节三通阀的开度来控制回水温度。

当回水温度高于设定值，由温度探头和控制器传输信号温度比例调节三通阀将按照一定比例慢慢开大，回水一部分流到泵前由泵抽到系统中，减少冷冻水的流入量，温度接近设定值时三通阀停止工作。

回水温度低于设定值时，三通阀按照一定比例慢慢关小，回水温度接近设定值时三通阀停止工作。

2． 1#电池2#线工艺冷却水系统是利用板式热交换器用冷冻水冷却工艺水。

工艺水系统为一个独立的系统，由工艺冷却水泵将水通过板换降温送入车间生产设备冷却热交换后回到工艺冷却水箱。

水温控制可以调节板换冷冻水回水阀门的开度。

3． 2#电池工艺冷却水系统：水质采用超滤水，通过板式热交换器降温，冷冻水通过板式热交换器控制回水流量（电动阀控制）使工艺冷却水温度保持在15度左右，工艺冷却水管道进回水设有旁通（手动/电动阀）控制出水压力4.5kg左右。

4．工艺冷却水温度高是什么原因如何解决
1#电池1#线工艺冷却水温度高，因为工艺冷却水是直接采用冷冻水有可能是冷冻机出水温度过高，检查冷冻机使冷冻水出水温度恢复设定值，如果冷冻水出水温度正常，查看工艺冷却水回水温度比例调节三通阀调整工艺冷却水温度。

1#电池2#线工艺冷却水温度高，冷冻水温度高无法使工艺冷却水温度降到所需温度，查看冷冻机出水温度调节至所需温度。

查看热交换器冷冻水回水阀门是否关小，开打阀门。

2#电池工艺冷却水温度高，检查板式热交换器冷冻水回水电动阀门工作是否正常，手动调节回水阀门。

冷冻水出水温度高，调节冷冻机出水温度。

5．工艺冷却水压力低是什么原因如何解决
工艺冷却水管道缺水，检查补水系统将工艺冷却水管道补满水排出空气。

工艺冷却泵内有空气，排出泵体内的空气。

工艺冷却水管道进回水旁通开启，关小旁通使压力调至所需值。

回水Y型过滤器堵塞，及时清理。

6．工艺冷却水水温低是什么原因如何解决
1#电池1#线工艺冷却水温度低，工艺冷却水回水调节三通阀使温度上升（微调！防止水温过高）
1#电池2#线工艺冷却水温度过低，关小工艺冷却水热交换器冷冻水回水阀门寻找一个平衡点
2#电池工艺冷却水温度过低，工艺冷却水板式热交换器冷冻水回水电动阀故障处于常开状态，手动调节回水阀门使工艺冷却水温度调至设定范围，立即修复电动阀
三．空调系统
1．空调箱的送风流程：
空调箱回风和新风经过初效滤网过滤掉空气中大的尘埃颗粒（ 85%），通过表冷器进行冷却除湿。

到加热段提高空气温度（达到设定值），由风机送风道中效过滤器过滤掉空气中的细小尘埃颗粒（ 98%）通过管道，经过高效过滤器过滤掉一些细微的尘埃颗粒（ %），将洁净的空气送入洁净车间。

然后通过回风滤网、回风管道回到空调箱。

不断循环。

2．定期观察初效滤网的洁净度，达到一定的压差后更换初效滤网，（并将换下的初效滤网清洗以备下次更换）以免影响空调箱的送风量。

中效滤网被污染达到一定压差后要立即更换，不然也会影响空调箱的送风量。

破的初效滤网不能用，会污染中效。

破的中效滤网也不能用，会污染高效过滤器减小高效使用寿命。

3．当生产车间尘埃粒子超标如何解决
现确定是局部超标还是大面积超标。

如果是局部超标，现观察超标区域的卫生情况和上方出风口的空气质量，检查超标区域回风滤网是否堵塞，清洗回风滤网。

卫生差的让生产部打扫卫生后再测量。

如还是超标，检查超标区域设备自身的排风情况。

找到原因后快速解决。

如果是大面积超标，先检查空调箱的送风情况和设备排风情况。

4．当空调箱对应生产车间温度高于设定值如何解决
第一，首先检查进入该空调箱的冷冻水温度是否偏高如是，那么检查冷冻机是否有故障停止运行，立即排除故障开启冷冻机，冷冻水温度正常后车间温度反回到正常值。

第二，空调箱风机是否停止工作或皮带松了送风量小开启风机或更换皮带后开启风机。

第三，检查初、中效过滤器的通风量，及时更换。

第四，如冷冻水温度正常，风机送风正常，则有可能是空调箱的冷冻水回水三通阀有故障。

第五，检查空调箱设定温度，手动调节的空调箱通过调节表冷器回水阀门开度来控制温度。

5．当空调箱对应生产车间温度低于设定值如何解决
空调箱对应区间温度低于设定值，第一，检查电加热运行是否正常。

第二，检查空调箱设定温度，空调箱回水电动三通阀是否有故障。

第三，没有电加热的空调箱调节冷冻水回水阀门。

6．当空调箱对应区间产生负压如何解决
检查送风管道是否有漏风现象，加大新风量。

送风>（回风+排风）=正压
送风<（回风+排风）=负压
7．空调系统维护保养参照《设备保养维护表》
四．CDA系统：
1．生产车间各个工段都需要用到压缩空气，制绒和去PSG用压缩空气将处理过的硅片吹干，PECVD和印刷测试工段用压缩空气控制各类气动阀门。

2．现电池二部CDA系统由三台132KW排气量为23.5m3/min的英格索兰微油空压机和两台加源干燥过滤器处理量为50m3/min每台，和两个储气罐组成。

3．电池二部压缩空气处理流程：
空压机——储气罐（湿罐）——冷干机(除水)——初级过滤器（除尘、除
水）——中间过滤器（除油）——吸附式干燥机（除水）——精密过滤器
（除尘精度）
4． CDA系统注意事项：
CDA供气压力—。

运行时检查各项数据（参照使用说明书）计录运行数据。

及时添加冷却油和及时维护保养。

后处理部分：储气罐及时排水2小时一次，检查冷干机排水，压缩机工作状
态，各个过滤器排水器排水情况，吸附式干燥机A塔和B塔转换是否正常。