靶材
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TiN的一些特性 的一些特性
作为太阳能光谱选择薄膜，其光学性能的 好坏严格的依赖于钛与氮的化学计量比。 在稳定氮气和氩气分压不变的条件下，通 过调节溅射功率，可改变膜层中Ti/N原子数 比，以达到最佳光学性能。
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TiN的一些特性 的一些特性
实验表明，当含氮量偏高时，色泽开始偏 红，含钛量偏高时，色泽开始偏浅黄，两 者的Tvis/Tnir均开始下降。此外，由于玻璃 基片表面对氮气和氧气的吸附，造成了靠 近基底处成膜区含氮量和含氧量偏高，这 可通过适当地改变溅射功率的方法，以及 基底加负偏压的方法得到改善。
靶材的选用原则
随着溅射镀膜特别是磁控溅射镀膜技术的 日益发展，目前，几乎可以说，对任何材 料都可以通过离子轰击在靶材被溅射并其 涂布到某种基材上。但是由于靶材对溅射 膜的质量有着重要的影响，因此对靶材的 要求也更加严格。
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靶材
燿正达靶材科技(深圳 有限公司 燿正达靶材科技 深圳)有限公司 深圳 关永锋 08/07/05
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在满足膜性能要求的前提下，靶材与基材 的热膨胀系数的差值越小越好，借以减小 溅射膜热应力的影响 根据膜的用途与性能的要求，所选用的靶 材必须满足纯度、杂质含量、组分均匀性、 机械加工精度等技术要求。
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靶材分类
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按靶材的应用领域， 按靶材的应用领域，材质及靶材形状的不同 的分类
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TiN的一些特性 的一些特性
氮化钛薄膜以其极高的熔点和硬度、良好的耐腐 性以及珠黄金色泽。氮化钛结构是由离子键、金 属键混全结合而成的，其中氮的p轨道能级低于费 米能级，这将导致自由电子的有些类似于金属的d 轨道上的运动。这位的电子结构不仅会使氮化钛 具有良好的导电性，也会导致氮化钛薄膜的光学 性能与金、银等贵金属薄膜相类似：膜较薄时， 在可见光区半透明及红外区高反射
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描述
标准Low-E膜玻璃的基本结构为：底层电介质层（TiO2） ／种子层／银层／阻挡层／顶层电介质 其中起反射远红外线作用的主要功能层为银层，但由于 银层的特点会造成透光低、反光高，而且容易受到腐蚀 或机械磨损 所以需要底层电介质膜层（ TiO2 ）和顶层电介质层， 其作用是通过光学干涉原理，提高玻璃透光率、降低反 光率，调节外观色泽的作用，并提高玻璃的耐化学腐蚀 和机械摩擦能力。 底层电介质层（ TiO2 ）还可以增加银层和玻璃的附着 能力，改善银层成核结膜条件。
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玻璃的透光性与 透明有区别吗？ 透明有区别吗？
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概念
一般说来，玻璃是透明的， 一般说来，玻璃是透明的，玻璃用来采光正是基 于它的透明， 于它的透明，玻璃的透明是它的传统基本属性之 也为人们所熟知。但是玻璃的透光性， 一，也为人们所熟知。但是玻璃的透光性，它与 透明性是两个概念，透光不一定透明。 透明性是两个概念，透光不一定透明。 玻璃的透光性具有极好的装饰效果， 玻璃的透光性具有极好的装饰效果，应用玻璃的 透光性，可使室内的光线柔和、恬静、温暖。 透光性，可使室内的光线柔和、恬静、温暖。室 内光线过强会刺激人眼，使人躁动不安。 内光线过强会刺激人眼，使人躁动不安。应用玻 璃的透光性可消除这些不利因素
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标准Low-E 标准
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双Байду номын сангаасLow-E 双银
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在靶材选用上， 除了应按其膜本身的用 途进行选择外，考虑如 下几个问题是十分必要 的：
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靶材成膜后应具有良好的机械强度 和化学稳定性。 靶材成膜后与基材的结合必须牢固， 否则应采取与基材具有较好结合力的 膜材，先溅射一层底膜后再进行所需 膜层的制备。 作为反应溅射成膜的膜材必须易与反 应气体生成化合物膜。
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材质
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膜层中的运用
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膜层中的运用
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分类方法 应用领域 应用实例 半导体膜、介质膜、光学膜、玻璃镀膜 金属靶材(Al、Sn、Zn、Ti、Ni、Cr、Zr、Ir、 Ag、 Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等) 合金靶材(金铟、不锈钢、铜锡、镍铬、钛铝、 钛锆、钛金、金银、金镍、金钯、钨钼等) 磁性靶材(纯铁、坡莫合金等) 氧化物靶材(氧化铟锡、陶瓷等) 靶材形状 板状、管状、线状、棒状
TiN的一些特性 的一些特性
氮化物薄膜具有许多优良的性质，因此得 到了广泛的应用。其中TiN薄膜是Ⅲ一V族 化合物，具有较大的能隙、低电导、高热 导率、较大的压电性、高声速、良好的高 温稳定性和化学稳定性以及很高的透光性 TiN薄膜的最大特点是具有良好的抗氧化性 和极佳的耐腐蚀能力
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