清洁度实验作业指导书
1.彻底清洗所有在实验中能用到的设备。

工作台面也要干净。

⒉按照以下3-9步空作一遍实验，结果应该满足客户要求。

⒊用将所有要用的滤膜在80±2℃于烘干炉中烘烤至少15分钟至烘干。

⒋取一个5um的滤膜称重并记录结果W1，结果精确到0.1毫克。

⒌将待测工件放在液体收集盘中，彻底冲洗工件表面，能用镊子松动的碎屑应取下来放入盘子液体中。

⒍打开真空泵。

让收集到的液体通过已经预称重的5um的滤膜进行过滤。

⒎小心的取下过滤膜放入烘干炉中烘干，温度在80±2℃，烘干时间至少15分钟。

⒏重新秤量滤膜的重量并记录结果W2，精确到0.1毫克。

⒐计算滤膜中污染物的含量，采用公式C=（W2—W1）/A 进行计算。

式中： C-污染物含量，单位㎎/ m2；A-被清洗零件的总面积，单位m2。

根据C值用在作业指导书中查出清洁度的级别。

⒑评估超出上限尺寸粒子的数量和类型（金属的、塑料的、硅石类的）。

量出最大粒子的长宽。

注释：被检测零件的表面积应以m2为单位；如果零件太小表面积不足0.1 m2，应在冲洗时多放入几个使总面积达到0.1 m2；如果零件表面温度过高，应将零件冷却至室温进行测试；带磁性的零件在进行清洁度测试前应退磁。