此外,霍尔片电阻率不均匀，或片厚薄不 均匀，或控制电流极接触不良都将使等位 面歪斜，如图所示，致使两霍尔电极不在 同一等位面上而产生不等位电动势。
2) 寄生直流电势
在无磁场的情况下，元件通入交流电流，输出端除交流不等位电 压以外的直流分量称为寄生直流电势。产生寄生直流电势的原因 有两个方面：(1)由于控制电极焊接处接触不良而造成一种整流 效应，使控制电流因正、反向电流大小不等而具有一定的直流分 量。(2)输出电极焊点热容量不相等产生温差电动势。对于锗霍 尔元件，当交流控制电流为20 mA时，输出电极的寄生直流电压小 V 。 于100
6.2.1 霍尔传感器的工作原理 1．霍尔效应 半导体薄片臵于磁感应强度为B 的磁场中，磁场方向垂直 于薄片，当有电流I 流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向 上将产生电动势EH，这种现象称为霍尔效应。
B C A 磁感应强度B为零时的情况 D
第6章 磁电式传感器
当有图示方向磁场B作用时
作用在半导体薄片上的磁场强度 B越强，霍尔电势也就越高。 霍尔电势EH可用下式表示： EH=KH IB
第6章 磁电式传感器
6.1.2 变磁通式磁电感应传感器结构与工作原理 变磁通式磁电感应传感器一般做成转速传感器，产生感应电动 势的频率作为输出，而电动势的频率取决于磁通变化的频率。 变磁通式转速传感器的结构有开磁路和闭磁路两种。
如图所示开磁路变磁通式转速传感器。 测量齿轮4安装在被测转轴上与其一起 旋转。当齿轮旋转时，齿的凹凸引起 磁阻的变化，从而使磁通发生变化， 因而在线圈3中感应出交变的电势，其 频率等于齿轮的齿数Z和转速n的乘积， 即
f Zn /60
式中：Z为齿轮齿数；n为被测轴转速(v/min)；f为感应 电动势频率(Hz)。这样当已知Z，测得f就知道n了。
第6章 磁电式传感器
开磁路式转速传感器结构比较简单，但输出信号小，另外当被 测轴振动比较大时，传感器输出波形失真较大。在振动强的场 合往往采用闭磁路式转速传感器。
第6章 磁电式传感器
第6章 磁电式传感器 在上述的4种零位误差中，寄生直流电动势、感应零电动势以及 自激场零电动势，是由于制作工艺上的原因而造成的误差，可以 通过工艺水平的提高加以解决。而不等位电动势所造成的零位误 差，则必须通过补偿电路给予克服。 霍尔元件结构及等效电路如图
在理想情况下R1=R2=R3=R4，即可取得零位电动势为零(或零位电阻 为零)，从而消除不等位电动势。实际上，若存在零位电动势，则 说明此4个电阻不完全相等，即电桥不平衡。为使其达到平衡，可 在阻值较大的桥臂上并联可调电阻 R P 或在两个臂上同时并联电阻 RP 和R。
第6章 磁电式传感器
第6章 磁电式传感器
Magneto electric sensors
第6章 磁电式传感器
6.1 磁电感应式传感器
磁电感应式传感器又称电动势式传感器，是利用电磁感应原理 将被测量(如振动、位移、转速等)转换成电信号的一种传感器。 它是利用导体和磁场发生相对运动而在导体两端输出感应电动势 的。它是一种机-电能量变换型传感器，不需要供电电源，电路简 单，性能稳定，输出阻抗小，又具有一定的频率响应范围(一般为 10～1000 Hz)，所以得到普遍应用。 磁电感应式传感器是以电磁感应原理为基础的。由法拉第电磁 感应定律可知，N 匝线圈在磁场中运动切割磁力线或线圈所在磁场 的磁通变化时，线圈中所产生的感应电动势E(V)的大小取决于穿过 线圈的磁通 Wb 的变化率，即
第6章 磁电式传感器
霍尔元件零位误差补偿电路
2．霍尔元件的温度误差及补偿 与一般半导体一样，由于电阻率、迁移率以及载流子浓度随温 度变化，所以霍尔元件的性能参数如输入、输出、电阻、霍尔 常数等也随温度而变化，致
N型锗(Ge) N型硅(Si) 锑化铟(InSb) 砷化铟(InAs)
/(cm² s) /V·
3500 1500 60000 25000
电子迁移率
霍尔系数 RH/(cm³ -1) · C
4250 2250 350 100
1/2
4000 1840 4200 1530
磷砷铟(InAsP)
0 z
式中： z 为传感器定子、转子的齿 数。
第6章 磁电式传感器
6.2
霍尔式传感器
霍尔式传感器是基于霍尔效应而将被测量转换成电动势输出的 一种传感器。霍尔器件是一种磁传感器，用它们可以检测磁场及 其变化，可在各种与磁场有关的场合中使用。
霍尔器件具有许多优点，它们的结构牢固，体积小，重量轻， 寿命长，安装方便，功耗小，频率高(可达1 MHz)，耐振动，不怕 灰尘、油污、水汽及盐雾等的污染或腐蚀。
被测转轴带动椭圆形测量轮5在磁场气隙中等速转动，使气隙 平均长度周期性地变化，因而磁路磁阻和磁通也同样周期性地 变化，则在线圈3中产生感应电动势，其频率f与测量轮5的转 速n(r/min)成正比，即f = n/30。在这种结构中，也可以用齿轮 代替椭圆形测量轮5，软铁(极掌)制成内齿轮形式，这时输出 信号频率f 同前式。
按照霍尔器件的功能可将它们分为：霍尔线性器件和霍尔开关 器件，前者输出模拟量，后者输出数字量。 霍尔线性器件的精度高、线性度好；霍尔开关器件无触点、无 磨损、输出波形清晰、无抖动、无回跳、位臵重复精度高(可达
m 级)。采用了各种补偿和保护措施的霍尔器件的工作温度范围
宽，可达-55～+150℃。
第6章 磁电式传感器
金属材料中的自由电子浓度n很高，因此RH很小，不宜作霍尔 元件。霍尔元件多用载流子迁移率大的N型半导体材料制作。 另外，霍尔元件越薄(d越小)，kH 就越大，所以通常霍尔元件 都较薄。薄膜霍尔元件的厚度只有1 m左右。
第6章 磁电式传感器
2．霍尔元件 霍尔片是一块矩形半导体单晶薄片(一般为4 mm×2 mm×0.1 mm)， 经研磨抛光，然后用蒸发合金法或其他方法制作欧姆接触电极， 最后焊上引线并封装。而薄膜霍尔元件则是在一片极薄的基片上 用蒸发或外延的方法做成霍尔片，然后再制作欧姆接触电极，焊 上引线最后封装。一般控制端引线采用红色引线，而霍尔输出端 引线则采用绿色引线。霍尔元件的壳体用非导磁金属、陶瓷或环 氧树脂封装。
0.1～1000 m 外形尺寸 1.9 k 质量
604 mV· cm-1 工作线圈内阻 s·
第6章 磁电式传感器 3．扭矩测量
当转轴不受扭矩时，两线圈输出 信号相同，相位差为零。当被测轴 感受扭矩时，轴的两端产生扭转角， 因此两个传感器输出的两个感应电 动势将因扭矩而有附加相位差 。 0 扭转角 与感应电动势相位差的关 系为
第6章 磁电式传感器
2) 霍尔元件的材料 锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)和砷化镓 (GaAs)是常见的制作霍尔元件的几种半导体材料。表6-2所列 为制作霍尔元件的几种半导体材料主要参数。
禁带宽度 Eg/(eV) 0.66 1.107 0.17 0.36 电阻率 /(Ω · cm) 1.0 1.5 0.005 0.0035
(4) 霍尔元件的电阻温度系数α：表示在不施加磁场的条件下， 环境温度每变化1℃时电阻的相对变化率，单位为%/℃。 (5) 霍尔寄生直流电势U0：在外加磁场为零、霍尔元件用交流激 励时，霍尔电极输出除了交流不等位电动势外，还有一直流电势， 称为寄生直流电势。 (6) 霍尔最大允许激励电流 I max ：以霍尔元件允许最大温升为 限制所对应的激励电流称为最大允许激励电流。
第6章 磁电式传感器 3) 感应零电动势 感应零电动势是在未通电流的情况下，由于 脉动或交变磁场的作用，在输出端产生的电 动势。根据电磁感应定律，感应电动势的大 小与霍尔元件输出电极引线构成的感应面积 成正比，如图所示。 4) 自激场零电动势
霍尔元件控制电流产生自激场，如图所示。 由于元件的左右两半场相等，故产生的电动 势方向相反而抵消。实际应用时由于控制电 流引线也产生磁场，使元件左右两半场强不 等，因而有霍尔电动势输出，这一输出电动 势即是自激场零电动势。
(a) 霍尔元件外形
(b)电路符号
(c) 基本应用电路
第6章 磁电式传感器
3．霍尔元件的主要特性及材料
1) 霍尔元件的主要特性参数
(1) 灵敏度kH：表示元件在单位磁感应强度和单位控制电流下所 得到的开路霍尔电动势，单位为V/(A·T)。 (2) 霍尔输入电阻Rin：霍尔控制电极间的电阻值。
(3) 霍尔输出电阻Rout：霍尔输出电极间的电阻值。
第6章 磁电式传感器
霍尔效应演示
B
C D A
当磁场垂直于薄片时，电子受到洛仑兹力的作用，向内 侧偏移，在半导体薄片A、B方向的端面之间建立起霍尔电 势。
第6章 磁电式传感器 可以推出，霍尔电动势UH的大小为：
U H kH IB cos
式中：kH为灵敏度系数，kH= RH/d，表示在单位磁感应强度和单 位控制电流时的霍尔电动势的大小,与材料的物理特性（霍尔系 数）和几何尺寸d有关； 霍尔系数RH＝1/(nq)，由材料物理性质 所决定，q为电子电荷量 ；n为材料中的电子浓度。 为磁场 和薄片法线夹角。 结论：霍尔电势与输入电流I、磁感应强度B成正比，且当B的 方向改变时，霍尔电势的方向也随之改变。如果所施加的磁场 为交变磁场，则霍尔电势为同频率的交变电势。
不等位电动势是零位误差中最主要的一种， 它是当霍尔元件在额定控制电流(元件在空气 中温升10℃所对应的电流)作用下，不加外磁 场时，霍尔输出端之间的空载电动势。
不等位电动势产生的原因是由于制造工艺 不可能保证将两个霍尔电极对称地焊在霍 尔片的两侧，致使两电极点不能完全位于 同一等位面上。
第6章 磁电式传感器
第6章 磁电式传感器 磁铁与线圈相对运动使线圈切割磁力线，产生与运动速度dx/dt 成正比的感应电动势E，其大小为
dx E NBl dt
式中：N为线圈在工作气隙磁场中的匝数；B为工作气隙磁感应 强度；l为每匝线圈平均长度。 当传感器结构参数确定后，N、B和l均为恒定值，E与dx/dt成正 比，根据感应电动势E的大小就可以知道被测速度的大小。 由理论推导可得，当振动频率低于传感器的固有频率时，这种传 感器的灵敏度( E / v )是随振动频率而变化的；当振动频率远大于 固有频率时，传感器的灵敏度基本上不随振动频率而变化，而近 似为常数；当振动频率更高时，线圈阻抗增大，传感器灵敏度随 振动频率增加而下降。 不同结构的恒磁通磁电感应式传感器的频率响应特性是有差异的， 但一般频响范围为几十赫至几百赫。低的可到10 Hz左右，高的可 达2 kHz左右。