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浅谈半导体封装测试设备位置精度
散装设备的装配:包括各运动部件之间的相对运动,
配合表面之间的配合度,这些装配工艺将直接影 响设备的位置偏差。选择适当、合理的装配和调 整方法,正确判定部件安装偏差及其方向能有效 提高设备安装的位置精度。
设备安装位置精度的检测调整项目
水平位置精度检测调整。 垂直位置精度检测调整。 组件间隙检查调整。
塞尺:塞尺又称测微片或厚薄规,是用于检验机械部件安 装间隙的测量器具之一, 横截面为直角三角形,在斜边上 有刻度,利用锐角正弦直接将短边的长度表示在斜边上,这 样就可以直接读出缝的大小了。
影响设备机台位置变化的因素
外部因素:整机设备在安装完成以后,其水平和垂直等位 置,很容易受外部自然因素的影响,如地震,人为撞击等; 对于自动化程度较高的装有连锁装置的封装测试设备主要 表现为异常掉气,地脚歪斜,机台不平整,设备不能复位 等现象;
在任意一点向相同方向重复定位7次,测量停止位置。误差以读数最大差值的1/2加 (±)表示。原则上在行程两端和中间位置上测量。 3、 向偏差
分别某一位置正向、负向各定位7次。误差以正、负两停止位置的平均值之差表示。 在行程两端及中间位置上测量。 4、 最小设定单位进给偏差
在同一方向连续给出单个最小设定单位的指令,共移动约20个以上单位。误差以各 相邻停止位置的距离(或角度)对最小设定单位之差表示;
机械手位置精度
什么是机械手? 机械手是能模仿手和臂的某些动作功,用以按固定
程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置。广泛应 用于机械制造、冶金、电子、轻工和原子能等部门。半导 体封装测试设备常用的机械手有同步带传动机械手,平板 式线性马达双轴(X, Y轴)机械手。
影响设备安装位置精度的因素
基础的施工质量:包括基础的外形几何尺寸、位置、不同 平面的标高、上平面的平整度和与水平面的平行度偏差; 基础的强度、刚度、沉降量、倾斜度及抗震性能等。
垫铁、地脚螺栓的安装质量。 设备测量基准:设备测量基准的选择,直接关系到整台设
备安装位置找正找平的最后质量。安装时测量基准通常选 在设备底座、机身、壳体、机座、床身、台板、基础板等 的加工面上。
同步带传动机械手位置精度
同步带传动的特点: 半导体封装测试设备上机械手的传动大都采用同步带传动技术,同步传
动有传动平稳,噪声小,可缓冲吸振,能允许较大的中心距传动,过载时能 打滑保护机械零件等优点; 缺点是不能保证准确传动比,带的寿命较短。一 般运用在两轴较远距离的场合。 影响同步传动机械手运行位置精度的相关因素:
4. 由于同步传动机械手的定位没有采用激光识别,或者高倍摄像头视觉 定位技术,需要依靠人的视觉来判断位置精度,难免存在误差。
1. 主动轮和从动轮安装不平行,或者张力不在标准范围内,导致张紧轮 和同步带磨损,受力不均,产生传动误差,由此机械手运动位置偏移,便不 能精准夹持和吸附物料;
2. 轴承磨损, 主动轴(driver shaft)磨损,产生同步传送误差,机械手在物 料夹持和吸附过程中发生位置偏差,
3. 直线导轨磨损出现较大间隙,滑块弹道损坏,导致机械手在运动中摇 晃,在夹持和吸附物料时产生位置偏移;
内部因素:设备在高速和长时间的生产运作中,整机链接 螺栓,地脚,垫铁等锁紧和固定部件会有不同程度的松动 和移位;这种情况不会导致设备停止工作,但会对物料传 送的精准度有严重的影响;
注释:不同的设备,由于精度不同,对水平度,垂直度的误差 要求有所不同;
小结:
整机安装位置精度项目有哪些? 设备安装常用位置检测仪器有哪些? 影响整机设备位置变化的因素有哪些?
机械行业常见位置精度检验标准
日本JIS B6336-1980《数控机床 试验方法通则》 1、定位精度
定位精度是在一个方向,由基准位置起顺次定位,各位置上实际移动距离(或回转 角度)与规定移动距离(或回转角度)之差。误差以各位置中的最大差值表示,在移 动的全长上进行测量。回转运动在全部回转范围内,每30°或在12个位置上进行测量。 取同方向一次测量,求实际移动距离与规定之差。 2、 重复度
位置精度检测与调整
位置精度检测与调整: 位置精度检测是检测设备、零部件之间的相对位置误
差,如垂直度、平行度、同轴度误差等。 调整是根据设备的技术要求(由规范或设备随机技术
文件规定)和精度检测的结果,调整设备自身和相互的位 置状态,例如设备的安装水平、垂直度、平行度和倾斜等; 调整两轴或多轴机械手物料搬运传输的位置精度,链传动 机构的水平度, 以及定位装置等活动机理;
设备安装常用位置检测仪器
水平仪:用于测量相对于水平位置的倾斜角、设备导轨的 平面度和直线度、设备安装的水平位置和垂直位置等。较 水平尺测量的精密度而言,水平仪更稳定可靠。常见的红 外水平仪,激光水平仪等,如下图所示
水平尺: 采用水平尺用于检测或测量水平和垂直度,种类和规格
繁多,长度从10CM到250CM多个规格;水平尺材料的平 直度和水准泡质量,决定了水平尺的精确性和稳定性。水 平尺能用于不同长短距离测量,能弥补现有水平仪只能在 开阔地测量,而在狭窄地方测量困难的缺点,且测量准确 ,造价低,携带方便,经济适用。
浅谈半导体封装测试设备 位置精度
Derik Liao Jul 15 2013
位置精度的定义
空间点位获取坐标值与其真实坐标值的符合程度。
设备位置精度调整的重要性
设备位置精度调整是机械设备安装与日常维护工程 中重要的一环,是衡量设备Performance好坏的重要指标; 它几乎包括了设备安装位置调整,设备机械部件安装位置 调整,机械手位置精度调整,设备传动位置精度,Sensor 位置精度调整等;
浅谈设备位置精度的内容
整机设备安装位置精度; 机械手位置精度; 设备传动位置偏差分析; 设备位置精度偏差调整的一般方法
小结
什么是位置精度? 常见位置精度检验标准有哪些?
整机设备安装位置精度
设备整机安装位置精度指在设备安装中为保证整 套装置正确联动所需的各独立设备之间的位置间 隙,包含水平位/垂直位置精度,平行度,倾斜度 等;