当前位置:文档之家› 各种散热基板特性比较

各种散热基板特性比较

各种散热基板特性比较

∙陶瓷基板:现阶段较普遍的陶瓷散热基板种类共有HTCC、LTCC、DBC、DPC四种:
1、HTCC(高温共烧多层陶瓷基板):属于较早期发展之技术,但由于其较高的制程温度
(1300~1600℃),使其电极材料的选择受限,且制作成本相当昂贵,目前渐渐被LTCC取代。

2、LTCC(低温共烧多层陶瓷基板):将氧化铝+30%~50%的玻璃粉+有机黏着剂混成浆
料,利用刮刀将浆料刮成片状,再将每片陶瓷基板制造线路后再压合而成,因在制程中有加入玻璃粉,故共烧温度降至约850℃,但其尺寸精确度、产品强度等技术上的问题尚待突破。

3、DBC(Direct Bonded Copper):将陶瓷基板的单面或双面覆上铜,利用高温
(1065~1085℃)使铜与陶瓷层黏合后,再制造线路,其技术瓶颈在于不易解决Al2O3与Cu 板间微气孔产生之问题,这使得该产品的量产能量与良率受到较大的挑战。

4、DPC(Direct Plate Copper):将陶瓷基板利用真空溅镀镀上铜层,再利用显影制程
制造线路,其制程结合材料与薄膜制程技术,其产品为近年最普遍使用的陶瓷散热基板。

各种散热基板特性比较:
图3 各种散热基板特性比较(点击查看原图)。

相关主题