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控制柜组成(三)
显示和控制部分包括了台达 显示器，压力显示仪表和各 类按纽。 第一排分别为电机关、电机 开、预抽、主抽和充气按纽 第二排分别为电源、手动自 动切换和自动运行按纽。
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刻蚀工艺流程
预抽
主抽
送气
充气
清洗
辉光
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预抽
• 在自动运行状态下，第一步 是预抽，预抽阀打开，真空 腔内的空气被抽出
预抽阀
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主抽(一)
• 第二步是主抽，主抽阀打开 ，同时碟阀打开，真空腔压 力迅速下降，一般会小于１ ０Ｐa
主抽阀 碟阀
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主抽(二)
• 在主抽时,压力变送器用来检 测腔内压力,当压力变小时, 蝶阀从全开慢慢变小最后全 关,压力显示仪表显示压力的 变化
压力变送器
压力显示仪表
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送气
• 在送气时,工艺气体O2和 CF4进入真空腔,分别使用氧 气和四氟化碳MFC对气体流 量进行精确控制. • 送气时真空腔内压力约 100Pa左右,蝶阀开度30左右 ,越高表示泵比较脏需要清洁
等离子刻蚀介绍
生产设备部 2009年7月
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刻蚀机结构
• 刻蚀机由控制柜和真空腔两 部分组成.
控制柜
真空腔
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刻蚀工艺目的：防止PN结短路
• 由于在扩散过程中，硅片的所有表面（包括边缘）都 将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生 电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而 造成短路
３、泵卡死
清洗真空泵
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Байду номын сангаас
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充气
• 充气时,蝶阀关闭,通N2
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PLC
• 等离子刻蚀的工艺流程是通 过台达的PLC来控制的
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外围动力要求
• 电源: 三相交流电380(1+/-10%)V 50(1+/-1%) • CDA 压力: ０.３ＭＰa-０.５M Pa ０.１ＭＰa-0.2M Pa
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辉光
辉光时,辉光功率为600W, 反射功率<25W,反射功率越 小越好 可以通过调谐I、调谐II来调 整使功率达到要求。 其次，我们可以通过观察窗 来观察辉光亮度，白色比较 理想
•
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清洗
• 清洗时,停止工艺气体,只通 N2,流量可以通过浮子流量 计调节
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常见故障（３）
不能起辉 原因及排除方法： １、真空压力不对 ２、ＲＦ进线断 调整真空压力 更换ＲＦ进线
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常见故障（４）
真空泵不能工作（主要是油泵） 原因及排除方法： １、电源进线缺相 ２、泵过脏 检查电源进线 更换泵油
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控制柜组成(一)
• 控制柜由匹配器,射频电源及 显示和控制三部分组成,如下 图
调谐I
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调谐II
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控制柜组成(二)
• 射频电源部分包括了板流仪 表、板压仪表、功率调节旋 钮、预热和高压按钮等
板压
板流
功率调节旋钮
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常见故障（１）
真空度低 原因及排除方法： １、上盖未盖好 ２、上盖密封圈损坏 重新盖好上盖 更换密封圈
３、抽气及进气管漏气
４、泵油脏
检查连接部分
更换泵油（油泵）
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常见故障（２）
阀门不动作 原因及排除方法： １、保险坏 ２、阀门损坏 更换保险 更换阀门
工艺气体压力
• 有良好的接地点，接地电阻小于４欧姆
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油泵
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干泵
• 现在我们7到9号刻蚀机采用 Edwards IH600干式真空泵 ,利用一台真空泵拖动3台刻 蚀机 • 注意事项:由于一台真空泵拖 动3台刻蚀机,要求三台刻蚀 机保持同时工作,为此我们特 别加装了集中控制盒. • 在片源不足的情况下,可以开 两台或一台刻蚀机,但是工艺 过程中,未使用的刻蚀机不可 以开始工艺,等工艺完成后才 可以