基本技术指标
比较测量中(相对测量中),测量范围可 以远远大于示值范围。
触头示值范 围4..5μm
5mm 标
准块规
立柱上下整
体可调
5mm 被测 块规
4.998mm
示值2μm
例如: 接触式干涉仪示值范围4.5μm; 测量范围
可以达到几十毫米。
三.仪器的放大倍数
光学、机构、电路各部分放大率之积:
M
光
机
电
l' l
§1-3 基本组成
一.光电系统
待测量
光学系统
探测器
信号处理
显示
输出
几何成像 干涉 衍射 偏振 扫描 全息 光谱 莫尔
(望远、
(应变)
显微、
摄影)
CPU 控制
存储
➢
光电系统有可见光系统、紫外系统、
红外系统(近红外、中红外、远红外)。
不同的系统配以不同的光源、光学系统、 探测器。
二.光电检测系统 (长度、角度、光谱测量)
抗振动、抗恶劣环境。
1. 照明(自发光、可见、不可见)
2.基准:玻璃刻尺;
光波波长(1米=1533164.13×λR) λR=0.64384696μm(镉红光波长); 光栅(栅距);
晶振(时间、频率)
3.瞄准系统
S1
接触、非接触
S2
4.读数系统 游标,电子读数
5.信号处理系统 人脑、眼;电子及计算机处理系统
6.计算机计算与检测控制系统(CPU与接口) 7.显示部分(LED、LCD等) 8.精密机械定位与运动系统:
§1-2 基本技术指标
一. 测量范围
仪器最大测量位置与起始测量位置之间所代表 被测量的值。是个有效工作范围。 例如:游标卡尺 起始测量值 0mm
最大测量值 150mm 测量范围 =150-0=150mm二 Nhomakorabea示值范围
仪器读数装置所能代表的最大被测量值。又叫量 程。
绝对测量中,测量范围与示值范围是一回 事。
b a
电
例:液面监测系统
ab
l
CCD
AD l’
灵敏阈:能引起仪器示值发生可感知变化的最 小被测量。(又称灵敏限度。)
结论:M ↗ ;灵敏阈S↙;灵敏度(1/S)↗。 灵敏度与系统的光机电算精度有关。
➢ 灵敏阈大小应与分划值匹配(比分划值小 一点);
➢ 灵敏阈大,分划值小没意义;
➢ 灵敏阈太小,引起示值不稳定。