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基本技术指标

比较测量中(相对测量中),测量范围可 以远远大于示值范围。
触头示值范 围4..5μm
5mm 标
准块规
立柱上下整
体可调
5mm 被测 块规
4.998mm
示值2μm
例如: 接触式干涉仪示值范围4.5μm; 测量范围
可以达到几十毫米。
三.仪器的放大倍数
光学、机构、电路各部分放大率之积:
M



l' l
§1-3 基本组成
一.光电系统
待测量
光学系统
探测器
信号处理
显示
输出
几何成像 干涉 衍射 偏振 扫描 全息 光谱 莫尔
(望远、
(应变)
显微、
摄影)
CPU 控制
存储

光电系统有可见光系统、紫外系统、
红外系统(近红外、中红外、远红外)。
不同的系统配以不同的光源、光学系统、 探测器。
二.光电检测系统 (长度、角度、光谱测量)
抗振动、抗恶劣环境。
1. 照明(自发光、可见、不可见)
2.基准:玻璃刻尺;
光波波长(1米=1533164.13×λR) λR=0.64384696μm(镉红光波长); 光栅(栅距);
晶振(时间、频率)
3.瞄准系统
S1
接触、非接触
S2
4.读数系统 游标,电子读数
5.信号处理系统 人脑、眼;电子及计算机处理系统
6.计算机计算与检测控制系统(CPU与接口) 7.显示部分(LED、LCD等) 8.精密机械定位与运动系统:
§1-2 基本技术指标
一. 测量范围
仪器最大测量位置与起始测量位置之间所代表 被测量的值。是个有效工作范围。 例如:游标卡尺 起始测量值 0mm
最大测量值 150mm 测量范围 =150-0=150mm二 Nhomakorabea示值范围
仪器读数装置所能代表的最大被测量值。又叫量 程。
绝对测量中,测量范围与示值范围是一回 事。
b a

例:液面监测系统
ab
l
CCD
AD l’
灵敏阈:能引起仪器示值发生可感知变化的最 小被测量。(又称灵敏限度。)
结论:M ↗ ;灵敏阈S↙;灵敏度(1/S)↗。 灵敏度与系统的光机电算精度有关。
➢ 灵敏阈大小应与分划值匹配(比分划值小 一点);
➢ 灵敏阈大,分划值小没意义;
➢ 灵敏阈太小,引起示值不稳定。
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