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2．F8 Rinse1：水清洗1。下图是在自动状态下 抓拍的。 • • • • • • • 2.1 Mode man：手 动操作模式 2.2 Fill DI： 充水 2.3 Draining: 排放 2.4 Star process: 循环开始 2.5 Stop :停止 2.6 Auto：自动模式 充水时注意，是先 从Rinse 3充，然后 通过溢流管道到 Rinse 2，再到 Rinse 1.
调用补液模式下的子菜单
调用温度曲线下的子菜单 调用过程监控下的子菜单 调用诊断模式下的子菜单 关闭报警声音 调出报警详情和提示
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F9 service服务模式： 1.F9 inputs digital 数字量输入
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2.F8 inputs analog 模拟量输入
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3.F7 outputs digital 数字量输出
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3. F7 Alkaline: 碱槽
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Mode Manual 手动模式 Filling Di 充纯 水 Filling chemie 充碱液 Rinsing 水清 洗 Draining 排放 Star circulation 循环启动 Star Etching 刻蚀开始（当有 片子走过时， RENA会自动按 照设定值补液） Stop 停止 Mode Auto 自 动模式
密码：Administrator 密码：process 密码：service
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功能键介绍
Mode off 轻易不要点，模式关闭后，药液会自动排掉
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模式关闭
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手动模式 服务模式 自动模式
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导航键
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调用服务模式下的子菜单 调用手动模式下的子菜单 调用工艺模式下的子菜单
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碱槽(4) • 碱槽循环泵及过滤器 装置
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HF槽（1） • • HF反应槽 内外槽溢流式循环
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HF酸槽（2） 左图HF酸槽循环泵与过滤装置 右图HF酸槽喷淋流量调节阀
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无橡胶圈与风刀摩擦力小
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干燥槽 左图为干燥槽两对风刀 右图为吹风量调节阀
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RENA电气控制介绍
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4.F6 outputs analog 模拟量输出
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F8 Manua 1.点击F8 Manual后，就进入了Etch bath手动操作 界面，如下图
– – Mode man： Etch bath手动 操作 PT Fill Di ：Etch bath充水， 一般是在维修刻蚀槽或者调试 的时候才选择。 PT Fill Chemie: Etch bath 工 艺配液时使用。选择后，刻蚀 槽将按照工艺设定值配各种化 学药品。 System rinsing：系统清洗， 先将刻蚀液排放后，充水进行 清洗。没有工艺的允许不要进 行此项的操作。 System draining：系统排放， 是将刻蚀液排放，在没有工艺 的允许下不要进行操作。 Mode Auto: 刻蚀槽自动模式 Rinse bath star :水清洗刻蚀槽， 在刻蚀液排到储备槽以后，用 水枪冲洗刻蚀槽时使用，选择 此项功能后，V810/5阀会打开。 冲洗过的水会通过此阀排至外 围。 Rinse bath stop: 水清洗停止。 Fill bath: 刻蚀液从储备槽打到 刻蚀槽。 Drain bath: 刻蚀液从刻蚀槽打 到储备槽。
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6.1 conveyor1 上料台 6.2 conveyor2 刻蚀槽，水洗1，碱槽，水洗2 6.3 conveyor3 HF槽， 水洗3，风干，下料
对上料台单独操作时，可以电击conveyor1图标，会弹 出一个窗口。如图
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6.4 对所有的传送机构进行操作，点击 ALL Conveyor弹出窗口，可以进行所 以驱动的操作如图：
RENA设备培训教材
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RENA软件操作说明
点击logoff，在弹出的对话框内输入用户名和密码。Login name处会显示当前的 点击
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前槽液位溢流挡板(可手 动调整)一般要求60%70%的液体往次出流出
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刻蚀槽(3) • 刻蚀槽后段部分
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刻蚀槽后溢流挡板(可手 动调节)一般调整为30%40%的液从这里流出
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滚轮露出液面在3毫米左 右
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液位传感器
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流量计
• 补液阀并控制流量
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刻蚀槽(4) 刻蚀槽配液补液部分. 配槽过程中HNO3,DI,H2SO4通过外围直接打到储备槽中.HF由于配液量小,直接通过储备箱中打到 储备槽配液. 在线补液中HNOS,HF,则通过储备箱中直接补到储备槽内.
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设备5S工作（槽内，门窗，滚轮，机台 内部，排液部分箱体，沾污器件）每月
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机台内部
排液部分箱体及排液器件
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更换过滤器或清洗过滤器和清洗腔体 （每月）
• 过滤器放置腔体
清洗排液手动阀（用于排放过滤器内液体）
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检查各启动阀是否损坏
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检查各隔膜泵排液是否正常,效准传感器
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检查各循环泵运行发 热情况
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刻蚀槽(4） • 刻蚀槽循环电机（私 服电机）
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刻蚀槽(5）
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刻蚀槽冷热交换器 （刻蚀液循环恒温）
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刻蚀槽(6） 电导率表,用于检 测刻蚀槽冷热交 换器内刻蚀电导 率,防止冷凝水管 破损泄露造成刻 蚀液的污染
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水清洗槽(1)(RINSE1-RENSE3)
• 水清洗槽1-3基本类似,这 里只拿RINSE1说明.
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两个上水喷淋管
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两个下水喷淋管
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滤水风刀
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水清洗槽(2) • 管路循环部分
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循环泵(离子泵)
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液体过滤器装置
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水清洗槽(3)
• 喷淋调节部分
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]
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RINSE3 加装外接纯水喷淋调 节喷淋流量处
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清洗槽喷淋流量调节处,对应上 下喷淋管进行调节
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充水时注意，是先从Rinse 3充，然后 通过溢流管道到Rinse 2，再到Rinse 1.
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RENA的维修须知
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PLC电池 PLC是采用5号3.6V两节电池备用供电，当外部突然断电或者停机断电以后，电池对PLC存储单 元进行单独供电，防止程序的丢失。正常状态下，BTAAF指示灯不亮。如果指示为黄灯时，说 明电池电压比较弱，应更换电池。通常BATT.INDIC开关应打在2BATT位置 更换电池 更换电池必须是在主电源没有断电的情况下进行。更换电池一时，将BATT.INDIC开关打在 2BATT位置。更换电池二时，则将BATT.INDIC开关打在1BATT位置。 主控柜重启步骤
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水清洗槽(3) • 各水清洗槽共用的排液 泵
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碱槽(1) • 碱槽槽面状况
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碱槽风刀
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碱槽上下喷淋管
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碱槽(2) • 碱槽循环控制部分
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化学品取样口
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喷淋流量调节部分
• 外围冷却水管
• 碱槽加液阀 • 冷凝器拆装口
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碱槽(3) 碱槽通过外围冷却水降温 两个加液阀，V880/25为配槽时补碱用，V880/26为在线补液时用（∮2.5的变径塞，精确 控制补液量）
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刻蚀槽滚轮水平的调整 硅片厚度约0.22mm，是在液体上方，距离刻蚀液越1mm的距离，靠液体的吸附性，进行刻蚀的， 因此片子在刻蚀槽进行刻蚀时。对刻蚀槽的液位高度和滚轮水平要求都比较高。如果滚轮不平， 会造成片子过刻或者刻蚀深度不够、不均匀的情况。片子进入刻蚀槽后，首先是去沾液，也就 是刻蚀槽的第一个滚轮比前一个滚轮要低一些，后面的滚轮都是水平的，来保证电池片刻蚀深 度和均匀性。 调整滚轮以前，首先将刻蚀液打入储备槽，然后对刻蚀槽进行系统清洗。清洗完毕后，在 SERVICE模式下，将滚轮转动，把刻蚀槽上方的盖板打开，用侧面的水枪对刻蚀槽所有滚轮包 括滚轮卡座进行清洗。完毕后，在SERVICE模式下，将阀V810/5双击打开，把值改为1。即可 把刻蚀槽内的水给排掉。 由于刻蚀槽对滚轮水平要求比较高，水平尺是没有办法测量的前后滚轮的水平。唯一可以判断 的方法就是将片子放在滚轮上面走，看片子走的状态是否平稳。如果电池片前端有轻微的抬头 或者下沉的现象，说明这跟滚轮有些变形，要进行更换或者对卡坐进行清洁。如果是在两端底 座相接的地方。可以调节底座的高度来保证滚轮的水平。 刻蚀槽侧挡板的调整 RENA刻蚀槽液位主要有侧挡板和流量来控制的。要调整液位时，首先让工艺将流量设为标准值 38L/H。当刻蚀槽液位达到要求以后，每道都投入一片酸制绒片子或者假片。碱制绒的片子铺展 比较大，至少有五个毫米，不利于观察。酸制绒的片子和假片的铺展量比较小几乎没有，这样 有利于观察片子在刻蚀槽的沾液情况。根据片子在刻蚀槽的沾液情况来调整侧挡板的高度。每 次调整时一定要将刻蚀液排到储备槽。并按照上面的方法进行清洗，保证自己的安全！
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RENA硬件结构介绍
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上料台(1) 上料台
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记数传感器
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上料台滚轮
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上料台(2) 上料台
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传动齿轮箱
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上料台传动电机
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下料台
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记数传感器
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上料台滚轮
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刻蚀槽(1)
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