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电子元器件失效分析技术


现时观念 可靠性是一种资产 为用户提供价值 可靠性良好的设计和生产 与设计和生产融为一体 同时用故障率和有效寿命作为 可靠性的统计参数 分析故障,消除故障 改进运作
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失效物理方法的8个步骤:
1. 确定真正的系统要求; 2. 确定使用环境;(包括生产环境,但这点经常被忽略) 3. 验明潜在的失效部位和失效机理; 4. 采用可靠的原材料的元器件; 5. 设计可靠的产品; 6. 鉴定加工和装配过程; 7. 控制加工和装配过程;(从设计和制造过程加强可靠性) 8. 对产品的寿命期成本和可靠性进行管理(采购后到达到使用寿命
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Eg2. 塑封器件分层效应(“爆米花效应”)
”爆米花效应“是指塑封器件塑封材料内的水份在高温下受热 发生膨胀,使塑封料与金属框架和芯片间发生分层,拉断键合 丝,发生开路失效或间歇失效。
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分层效应 C-Sam图片
TOHD
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2. 基本流程:
失外 效观 现检 场查 信
失方 效案 模设 式计 确
非 破 坏 性 分









报 告 编 写





操作原则:
先外部后内部;
先非破坏性后半破坏性;
最后破坏性;
避免引进新的失效机理。
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3. 失效信息调查与方案设计
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不加电的内部检验设备
金相显微镜,扫描电镜(SEM)
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能谱仪(EDS)及其特点
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加电的内部检查
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以电流效应为基础的定位技术
应力试验;高加速寿命试验HALT,高加速应力筛选HASS等面向失效分析 的可靠性新技术
失效物理学(Pof,Physics of Failure),把失效作为主体研究,通过 激发,研究和根治失效达到提高可靠性的目的
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可靠性观念变化比较
传统观念 可靠性是一种成本 遵照规范操作 可靠性公式和手册保证 与设计和生产脱离 只用MTBF作为可靠性统计参 数 检测故障,协调解决 重复运作
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可靠性工程新旧观念对比
传统可靠性观念: 是以失效数据的统计和分析为手段,表征产品的可靠性,比如MTBF。
可靠性的新观念: 是以失效分析为手段,寻找失效的根本原因,并加以解决以达到从根本
上提高可靠性的目的。
几个概念: 可靠性强化试验(RET, Reliability Enhancement Testing),或称为步进
电子元器件失效分析_______培训总结报告
尤利宁 贺永红 2006-7-6
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提纲:
1. 可靠性的基本概念和新的观念; 2. 失效分析的8个步骤; 3. 失效分析的概念,目的,作用,对象和分类; 4. 与我们生产有关的例子; 5. 失效分析的新技术。
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ESD失效的不同机理
过电压场致失效: 发生于MOS器件,包括含有MOS电容或钽电容的 双极性电路和混合电路;
过电流热致失效:多发生于双极器件,包括输入用pn结二极管保护 电路的MOS电路,肖特基二极管以及含有双极器件的混合器件
实际发生哪种失效,取决于静电放电回路的绝缘程度! 如果放电回路阻抗较低,绝缘性差,器件往往会因放电期间的
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附录: 分析技术与设备清单
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附录: 分析技术与设备清单
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附录: 分析技术与设备清单
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相关知识(军工企业的要求)
注意:金相切片技术, 要观察金属见化合物, 还要采用适当的腐蚀液 ,使不同金属或合金成 分显示不同的颜色,并 且要注意过程中不能产 生新的失效或破坏原来 的失效。
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金相切片分析方法特点
1. 破坏性方法; 2. 试样制备周期长,需要1D,最好3D; 3. 试样制备要求高; 4. 可直观获取材料内部大量信息; 5. 对操作和分析人员要求较高
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三. 一些例子
Eg1. ESD失效机理-解释
定义:处于不同静电电位的两个物体间发生的静电电荷转移就 形成了ESD,这种静电放电将给电子元件带来损伤,引起产品 失效。
电子元器件由静电放电引发的失效可分为:突发性失效和潜在 性失效两种模式。
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结束这中间的所有管理,培训,控制等等成本之和)
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另一领域的失效分析
医药学的历史与人类的病痛一样长,大量医药科学的进步都是建立 在外科医生的尸体解剖上。(仁慈的东方人除外);
在这个专业领域,这一做法通常称为“失效分析”;
每个失效部件都应被视为进行可靠性改进的机会,从这个角度讲, 失效部件有时甚至是“珍贵的”
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That’s the END!
very much!
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应用过程:元器件选型,二次筛选条件优化,设备研制生 产中的故障控制对策,可靠性增长,全寿命维护等(更偏向用 户)
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失效模式的概念和种类
失效模式:就是失效的外在表现形式,不需要深入说明其物理 原因
按持续性分类:致命性失效,间歇失效,缓慢退化; 按失效时间分类:早期失效,随即失效,磨损失效; 按电测试结果分类:开路,短路或漏电,参数漂移,功能失效 按失效原因分类:EOS(Electrical over Stress/ESD (Electrostatic Discharge);制作工艺不良。
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C-Sam和X射线透视仪的成像
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2. 半破坏性分析的基本途径(多余物,污染,缺陷,微区电特 性和电光热效应)
•可动微粒收集 •内部气氛检测 •开封:专用工具,研磨,观察研磨面塌陷区域;
湿法腐蚀(化学法):硫酸,硝酸; 干法腐蚀:在真空条件下,等离子体轰击 •不加电的内部检验:光学,SEM,微区成分; •加电的内部检验: 微探针,热像,光发射,电压衬度像,束感生电 流像,电子束探针。
质量问题技术归零 为彻底解决由于技术原因造成的产品质量问题,避免重复
发生,要“定位准确,机理清楚,问题复现,措施有效,举一ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ反三”,并形成文件。
质量问题管理归零 “过程清楚,责任明确,措施落实,严肃处理,完善规章

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Summary:
1. 可靠性的基本概念和新的观念; 2. 失效分析的概念,目的,作用,对象和分类; 3. 失效分析的8个步骤; 4. 与我们生产有关的例子; 5. 失效分析的新技术。
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一些分析途径简介
1. 非破坏性分析的基本途径(先实施易行的,低成本的) • 外观检查 •模式确认(测试和试验,对比分析) •检漏 •可动微粒检测(PIND) •X光照相 •C-sam •模拟试验
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1. C-Sam 和X射线透视仪
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失效分析的目的和作用
失效分析:是对已失效的器件进行的一种事后检查,使用电测 试和先进的物理,进行和化学分析技术,验证所报告的失效, 确定其失效模式,找出失效机理。
失效分析程序应得出相应结论,确定失效原因或相应关系,或 着在生产工艺,器件设计,试验或应用方面采取措施,以消除 失效模式或机理产生的原因,或防止其重新出现。
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T-Post
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四. 失效分析技术与设备
1. 基本思路:
信息分析(失效环境,标准,规范,经验) 失效模式确认(通过测试,试验,对比分析) 可能的失效机理(在前两项的基础上) 寻找证据(物理,化学,试验) 原因推演 必要的验证和结论
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信息类别: 基本信息:包括处于管理需要的信息,包括样品来源,型号,批次,
编号,时间,地点等。
技术信息:是判断可能的失效机理和失效分析方案设计的重要依据。
特定使用应用信息: 整机故障现象,异常环境,在整机中的状态,应用电路, 二次筛选应力,失效历史,失效比例,失效率及随时间的变化.
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