测试机
需测试每颗芯片的波长与亮度
分选机
将相同波长与亮度的芯片集中在一个Bin上。
成 品
客 户
公司
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
1、LED芯片的作用和结构 2、LED芯片的原料（外延片） 3、LED芯片的制作流程（前道及后道） 4、LED芯片制作过程中用到的主要设备
清洗：使用各种酸、碱及有机溶液实现对产品的去污、去胶及腐蚀作用； 常使用的溶液有：硫酸、盐酸、硝酸、KOH、去胶液、丙酮、乙醇等。 光刻：实现图形的转移。 通过的主要步骤有：匀胶、软烘、曝光、显影、后烘。 所有操作均在黄光区内完成。 薄膜：沉积各种薄膜，刻蚀薄膜。 通常使用的方法有真空蒸发、PECVD沉积及刻蚀。
什么是led芯片
也称为led发光芯片，是led灯的核心组件，也就是指的P-N结。其主要功能是： 把电能转化为光能，芯片的主要材料为GaN。半导体晶片由两部分组成，一部分是 P型半导体，在它里面空穴占主导地位，另一端是N型半导体，在这边主要是电子。 但这两种半导体连接起来的时候，它们之间就形成一个P-N结。当电流通过导线作用 于这个晶片的时候，电子就会被推向P区，在P区里电子跟空穴复合，然后就会以光 子的形式发出能量，这就是LED发光的原理。而光的波长也就是光的颜色，是由形成 P-N结的材料决定的。
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制作P电极
10、P电极光刻 11、P电极蒸发（TiAl） 12、P电极剥离去胶（NMP剥离液去胶）
制作钝化层
13、冲水 14、沉积钝化层（SiO2） 15、钝化层光刻 16、刻蚀SiO2 17、钝化层去胶（丙酮去胶） 18、等离子打胶（300W） 前道结束
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
我们的厂区环境
华灿光电的主要产品：蓝、绿光LED芯片
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
露出N区
3、N区光刻 （做出N区的图形）
4、一次ITO腐蚀（将N区上的ITO腐蚀干净） 采用HCL腐蚀
5、RIE刻蚀（将N区GaN刻蚀至N型GaN）
6、刻蚀后去胶
露出P区
7、二次ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱTO光刻 8、二次ITO腐蚀（HCL+HNO3） 9、腐蚀后去胶（丙酮去胶）
制作N电极
10、N电极光刻 11、N电极蒸发（TiAl） 12、N电极剥离去胶（NMP有机溶液去胶） 13、N电极退火合金（500度）
MOCVD
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五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
车间环境
无尘服
无尘室
净化级别：尘埃最大允许数/m3 前道车间：百级 后道车间：千级
前道车间
光刻
清洗
薄膜
检验
前道各工序的主要作用
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
外延片的形状与结构
LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于外延材料。 发光二极管对外延片的技术主要有以下四条： ①禁带宽度适合。 ②可获得电导率高的P型和N型材料。 ③可获得完整性好的优质晶体。 ④发光复合几率大。
外延片的生产设备
清洗主要生产工具
清洗台
甩干机
提把 超声波 清洗器 花篮
光刻工艺流程
光刻生产工具
手动
黄光生产环境
匀胶机 曝光机
自动
薄膜区生产工具
蒸发台
退火炉
沉积、刻蚀SiO2 刻蚀GaN
检验生产工具
金相显微镜
光学显微镜
前道工艺流程简介
ITO蒸镀
1、外延片清洗 （硫酸+双氧水） 清除外延片表面的有机杂质及颗粒。 2、ITO蒸镀 （蒸镀一层透明导电薄膜） ITO能导电并有较好的透过率使发出的光引出。
华灿LED芯片工艺介绍
芯片工艺部 曹歆
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片） 五、生产流程简介（前道） 六、生产流程简介（后道）
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
后道生产流程
减薄生产工具
上蜡 减薄机
减薄
研磨 下蜡 清洗
高度计 研磨盘
将芯片减薄至85µm并清洁干净
划裂生产工具
划片机
裂片机
将整片连在一起的芯片切分成一颗颗的小芯片。
划片示意图
裂片示意图
扩晶生产工具
扩晶环 使每一颗小芯片之间有一定的间距，便于分选。
七、小结
LED户外显示屏
LED户内显示屏
发光显示器件
光谱的组成
日用照明灯的分类
荧光灯
白炽灯
LED灯
一、华灿光电芯片的作用 二、什么叫LED芯片 三、认识我们的LED芯片 四、认识我们的原料（外延片）
五、生产流程简介（前道）
六、生产流程简介（后道）
七、小结
LED（Light Emitting Diode，发光二极管）芯片是一种固态的半导体器件， 它可以直接把电转化为光。LED的心脏是一个半导体的晶片，晶片的一端附 在一个支架上，一端是负极，另一端连接电源的正极，使整个晶片被环氧树 脂封装起来。