半导体行业常用名词解释
系統
設備/材料
其他
常用名詞解釋
項次 簡稱 PCW DIWS DIWR CW GEX SEX VEX AEX PV CV GIS GDS GMS SCADA HPCDA C/R L/C EFS DPS DPG EMO GALV AP BA BAS EP EPS V+V C-22 SS MSDS SL1/SL2 NO NC CQC SPEC 英文名稱 Process Cooling Water Deionized Water Supply Deionized Water Return City Water General Exhaust Scrubber Exhaust Solvent Exhaust Ammonia Exhaust Process Vacuum Clean Vacuum Gas Information System Gas Detector System Gas Monitoring System Supervisory Control And Data Acquisiton High Pressure Compress Dry Air Clean Booth Clean Room Load Cell(Scale) Excel Flow Sensor Differential Pressure Switch Differential Pressure Gauge Emergency Menual Shut-Off Galvanized Acid Pickled Bright Annealing Bright Annealing+Super Micro Cleaning Electro Polishing Electro Polishing+Super Micro Cleaning Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum Arc Remelting) Hastelloy Stainless Steel Material Safety Data Sheet Safety Level 1/2 Normally Open Normally Close Continue Quality Control Specification 中文說明 製程冷卻水 純水(去離子水)供應端 純水(去離子水)回水端 自來水 一般排 酸鹼排 有機排 氨排 製程真空 清潔用真空 氣體監控系統 電力遙控系統 高壓壓縮乾燥空氣 無塵隔間 無塵室 磅秤 過流量計 差壓計 差壓表 緊急開斷裝置 鍍鋅管材 化學酸洗 鈍化處理 鈍化處理+精密洗淨 電解拋光 電解拋光+精密洗淨 真空二重溶解超清淨鋼 耐腐蝕性(材料) 不銹鋼 物質安全資料表 安全等級1/2 常開 常關(閉) 連續品質控制 規範 備註