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国家发改委、工信部及国家科技部是微电子化学品的主管部门，负责产业政策、行业规划、指导行业技术进步。在行业监管方面，国家安监局、公安部，根据其监管职责分别负责化工行业的安全生产、危险化学品生产经营、非药品类易制毒化学品生产经营等方面的监督管理。
国家安全生产监督管理总局负责全国非药品类易制毒化学品、危险化学品生产、经营的监督管理工作。县级以上地方人民政府安全生产监督管理部门负责本行政区域内的非药品类易制毒化学品、危险化学品生产、经营相关许可证照的颁发和监督管理工作。属于危险化学品或易制毒化学品范围内的化学品生产经营业务需接受安全生产监督管理部门的监管。
注2：*表示指标没有统一规定，由试剂制造商根据客户具体需求确定。随着集成电路的不断发展，超净高纯试剂必须与之同步发展，一代的微细加工技术需要一代的超净高纯试剂与之配套，不断的更新换代，才能适应集成电路生产化的需要。从国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际统一超净高纯试剂标准可以看出，随着集成电路制作要求的提高，工艺所需的试剂纯度不断提升。目前，国际上制备G1到G4级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟。随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的电子化学品纯度的要求也不断提高。从技术趋势上看，满足纳米级集Байду номын сангаас电路加工需求是超净高纯试剂今后发展方向之一。
2
（
1975年，国际半导体设备和材料组织（SEMI）制定了国际统一的超净高纯试剂标准，IC规模及与超净高纯试剂要求的关系如下：
SEMI 等级
G1
G2
G3
G4
G5
金属杂质/（µg/L）
≤100
≤10
≤1
≤0.1
≤0.01
控制粒径/µm
≤1.0
≤0.5
≤0.5
≤0.2
*
颗粒个数/（个/mL）
≤25
≤25
中华人民共和国消防法
全国人大
2009年5月1日
工业产品生产许可证管理条例
国务院
2005年9月1日
公共安全
易制毒化学品管理条例（2014年修订）
国务院
2014年7月29日
危险化学品环境管理登记办法（试行）
环境保护部
2013年3月1日
危险化学品经营许可证管理办法（2012）
国家安监总局
2012年9月1日
SEMI G1
资料来源：公开资料整理
（
光刻胶、功能性材料、锂电池粘结剂目前尚无相应的国家或者行业标准，参照《中国人民共和国标准化法》制定了相关产品的企业标准，作为组织生产和产品质量检验的依据：一是制定了光刻胶产品《企业标准》，对粘度、固体含量、水分、氯离子、微粒子浓度、金属离子含量、膜厚、感度等进行了规定；二是制定了功能性材料部分产品《企业标准》，对技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输及贮存等进行了规定；三是制定了《锂电池负极粘结剂产品标准》，对锂电池负极粘结剂的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等进行了规定。
≤5
*
*
适应IC线宽范围/µm
>1.2
0.8-1.2
0.2～0.6
0.09～0.2
<0.09
资料来源：公开资料整理
注1：线宽指IC生产工艺可达到的最小导线宽度，是IC工艺先进水平的主要指标。线宽越小，集成度就越高，在同一面积上就集成更多电路单元。≥1.2μm和0.8～1.2μm的硅片主要用于制作分立器件；0.2～0.6μm和0.09～0.2μm的硅片主要用于大规模集成电路和超大规模集成电路制造中。
2）平板显示和LED领域对于超净高纯试剂的等级要求为SEMI G2、G3水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求；
3）光伏太阳能电池领域一般只需要SEMI G1级水平，是目前我国国产超净高纯试剂的主要市场。
（
因为微电子化学品种类和规格极多，生产企业会在国内和国际标准的基础上，根据具体应用要求制定自己的产品分类标准和质量标准。发行人产品的分类标准如下：
公安部门负责危险化学品的公共安全管理，负责发放剧毒、易制毒化学品购买凭证和准购证，对危险化学品运输安全实施监督，并负责前述事项的监督检查。中国电子材料行业协会是微电子化学品行业的自律和服务机构，承担开展行业经济发展调研、行业统计、参与制定行业规划、加强行业自律、参与制定与修订国家标准与行业标准等方面的职能。
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国家尚未发布专门针对微电子化学品行业的法律法规，但是对化学品生产，尤其是危险化学品、易制毒化学品和剧毒化学品企业的生产经营实施了强制许可认证经营制度。
法律法规如下：
监管范围
法律法规
颁布机构
实施日期
安全生产
中华人民共和国安全生产法
全国人大
2014年12月1日
安全生产许可证条例
国务院
2014年7月29日
产品等级
规格
对应SEMI标准
UP-SSS
适合90纳米以下线宽集成电路加工工艺单项金属离子杂质含量≤0.01ppb经过0.02孔径过滤器过滤，控制0.1微米粒子
SEMI G5
UP-SS级
适合0.09-0.18微米线宽集成电路加工工艺单项金属离子杂质含量≤0.1ppb经过0.05孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子在100级净化环境中灌装
环境保护
SEMI G4
UP-S级
适用0.2-0.8微米集成电路加工工艺金属杂质含量≤1ppb经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子
SEMI G3
UP级
适用0.8微米以上集成电路及TFT-LCD制造工艺金属杂质含量≤10ppb经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子
SEMI G2
EL级
适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺金属杂质含量≤100ppb控制1微米粒径粒子
（
超净高纯试剂的应用市场半导体、光伏太阳能电池、LED和平板显示对微
电子化学品的纯度要求有所不同：
1）半导体领域中，集成电路用超净高纯试剂的纯度要求较高，基本集中在SEMI G3、G4水平，我国的研发水平与国际尚存在较大差距。分立器件对超净高纯试剂纯度的要求要低于集成电路，基本集中在SEMI G2级水平，国内企业的生产技术能够满足大部分的生产需求；
危险化学品登记管理办法
国家安监总局
2012年8月1日
危险化学品安全管理条例
国务院
2011年12月1日
危险化学品生产企业安全生产许可证实施办法
国家安监总局
2011年12月1日
易制毒化学品购销和运输管理办法
公安部
2006年10月1日
产品质量
中华人民共和国产品质量法（2009年修订）
全国人大
2009年8月7日