1.2.1 质谱室............................................. 1-2 1.2.1.1 离子源.........................................1-3 1.2.1.2 磁分析器.......................................1-3 1.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-4 1.2.1.4 全离子检测极...................................1-4
第四部分 常见故障及处理.............................4-1
附录 A ZQJ-530 氦质谱检漏仪的工作原理................A-1
A.1 质谱原理.................................................A-1 A.2 真空系统原理.............................................A-2 A.3 电子学线路的原理.........................................A-4
1.2.3 电气系统............................................1-7 1.2.3.1 开关电源.......................................1-7 1.2.3.2 主板................. ........................ 1-8 1.2.3.3 离子源板................. .................... 1-8 1.2.3.4 显示板................. ........... ...........1-8
在维护该设备时，如果需要分离设备的任何部分，首先要确保关机，并 拔下检漏仪供电插头。
所有检漏仪的真空机械部件应该使用丙酮、汽油或无水酒精等有机溶剂 清洗。 当这些溶剂被加热或喷射到较高温度的设备时会导致燃烧或爆炸。 大量的通过呼吸道吸入或皮肤接触吸收会对身体产生一定的负面效应。 故在使用该类型有机溶剂时要远离高温源，且工作场所要通风良好。
1.1 外观尺寸
仪器的外观尺寸如下：
图 1-1 外观尺寸（带小车）
第一部分 仪器介绍
1-1
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
图 1-2 机身尺寸（不带小车）
1.2 仪器结构
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪由真空系统、质谱室、电气系统、机架、外壳和小车五 部分组成。其中，真空系统包括涡轮分子泵、机械泵和组合阀体。 小车底部有四个轮子，可移动；机械泵在小车的底部，机身在小车的上部，中间通过 加强管相连，分子泵、组合阀和质谱室装在架子内；分子泵电源在机架的底板上；电 子部件集中在机架的前侧和右侧；检漏口朝上，位于机身的左前侧。 1.2.1 质谱室
B.2.1 喷吹法－－确定漏孔位置..............................B-2 B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2 B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3 B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3
2.4.3.1 正常检漏操作............... .. .. .. .........2-3 2.4.3.2 延长预抽时间..................................2-4 2.4.3.3 超高压检漏（>20Pa）...........................2-4 2.4.4 吸枪检漏...........................................2-4 2.5 停机....................................................2-5 2.5.1 维持备用..........................................2-6 2.5.2 完全停机............................... ..........2-6
质谱室（图 1-3、图 1-4）是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁分析器、接收极、 前置放大器、全离子检测极和壳体等部分。其中每个部件都有不可替代的功能。
质谱室
图 1-3 质谱室
1-2
第一部分 仪器介绍
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
图 1-4 质谱室剖面图
1.2.1.1 离子源 离子源（图 1-4、图 1-5）的作用是由灯丝产生的电子轰击气体分子，再通过电场
该检漏仪在运输过程机械泵出气口需要加上保护盖，防止机械泵油溢 出；在运输过程中该仪器切勿倒置。
该仪器的性能只能在设备要求的环境下才能得到保证。
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用手取下真空连接部分的 O 圈，千万不要使用金属工具完成此项工作， 否则会损伤密封面。
在 O 圈上轻抹少量真空脂，至发亮即可。过多的真空脂会对真空系统 造成污染。
目录
第一部分 仪器介绍...................................1-1
1.1 外观尺寸.................................................1-1 1.2 仪器结构.................................................1-2
2.4.1 首次开机..........................................2-2 2.4.2 漏率校准与氦峰调试................................2-3 2.4.3 喷吹法检漏........................................2-3
目录
III
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-2 3.2.5 清洗质谱室.........................................3-2 3.2.6 更换离子源........................................3-10 3.2.7 清洗组合阀........................................3-11 3.3 仪器泄漏自检...........................................3-11
第三部分 维 护.......................................3-1
3.1 日常检查...............................................3-1 3.2 真空维护与清洗.........................................3-1
附录 C 压强和漏率单位换算.................................C-1
IV
目录
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
第一部分 仪器介绍
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪 器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理 不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量 轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。
+86-10-82548198 +86-10-82548998 客服中心：800-810-62617951 010-62565812 传真：010-62617951 邮箱：sales@ 网址：
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附录 B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1
B.1 检漏方式................................................B-1 B.2 检漏方法................................................B-2
1.2.2 真空系统............................................1-4 1.2.2.1 机械泵.........................................1-4 1.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-6 1.2.2.3 组合阀.........................................1-6 1.2.2.4 真空测量.......................................1-7
加速、聚焦形成离子束。
接收极与前 置放大器
全离子检测极
离子源Βιβλιοθήκη 图 1-5 质谱室中的若干部件
1.2.1.2 磁分析器
磁分析器（图 1-6）包括磁钢组件、偏转极靴、小极靴和偏心极靴。他们组成特定 的磁场。对从离子源引出的带电离子进行偏转，使不同质荷比的离子分离、聚焦。