广义的碳氮共渗可以分为碳氮共渗和氮碳共渗，氮碳共渗以渗氮为主，即低温碳氮共渗；碳氮共渗以渗碳为主，有中高温碳氮共渗。

渗碳:渗碳后的工件经淬火和低温回火，使表面具有高硬度和耐磨性，而心部仍保持良好的塑性和韧性，从而满足工件外硬内韧的使用要求。

渗氮：零件渗氮后表面形成一层氮化物，不需要淬火就可以具有高的硬度、耐磨性、抗疲劳性和一定的腐蚀性，而且变形也很小。

碳氮共渗：又称氰化。

碳氮共渗是将钢件表面同时渗入碳原子和氮原子，形成碳氮共渗层，以提高工件的硬度、耐磨性和疲劳强度的处理方法。

等离子氮化由于其温度低、渗氮周期短（温度为500-520℃，时间为12至15小时）组织由ε相、γ相组成，基本不含有脆性ξ相，从而使热应力和组织应力大为降低，变形量小，不易开裂，可作为最终工序。

气体渗氮温度一般为500~560℃,时间一般为30至50小时,采用氨气(NH3) 作渗氮介质，可以看出温度虽然不高，但时间很长，其热应力就大。

组织由ε相、γ相组成，处理不好时有脆性ξ相。

气体软氮化（碳氮共渗）温度常用560-570℃，因该温度下氮化层硬度值最高。

氮化时间常为2-3小时，因为超过2.5小时，随时间延长，氮化层深度增加很慢。

可以看出碳氮共渗的温度最高，其组织由ε相、γ相和含氮的渗碳体Fe3（C，N）所组成，所以热应力和组织应力都较前两者大，再者渗层薄，所以不能承受重载。

但这种处理也有优点，由于软氮化层不存在脆性ξ相，故氮化层硬而具有一定的韧性，不容易剥落。

三者比较而言以等离子效果最佳，气体渗氮次之，碳氮共渗最差。