5.5静电环保管: 5.5.1需使用到手環的人员下班后全部转交领班(或领班代理人)保管. 5.5.2上班前由领班或领班代理人将静电手環发放到相关人员. 5.5.3领班每天进行静电手環数量的确认,防止丢失.
6.0 注意事项
无
7.0 参考数据
无
8.0 附件
8.1 附件一:【靜電手環測試方式】 8.2 附件二：【各站靜電防護用具一覽表】 8.3 附件三：【靜電手環每日測試記錄表】 8.4 附件四：【ESD 檢測記錄表】
主管確認
備注 : 凡進入車間接觸產品之人員按<各站靜電防護用具一覽表>佩戴並測試靜電手環,測試 OK 打“ˇ”NG 打“x”
QP-PE-03-02 QP-PE-03
审核:
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深圳市崇辉表面技术开发有限公司(二车间) TOP-PLATE TECH. CO., LTD (Factory II)
QP-PE-03
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深圳市崇辉表面技术开发有限公司(二车间) TOP-PLATE TECH. CO., LTD (Factory II)
文 件 名 稱 静电防护管理程序
文件編號
QP-PE-03
版本
0
總頁數
3
頁數
4
8.5 附件五:【各站靜電防護用具使用說明表】 8.6 附件六:【靜電防護稽查記錄表】 8.7 附件七:【導電地板電阻值量測記錄表】 8.8 附件八：【導電地板電阻值量測方式】 8.9 附件九:【工作臺,設備接地量測方式】
指示燈顯示綠燈與發‘B..’ 叫聲則表示正常．
靜電環夾子與測試儀夾 子必須相互夾好．
2.異常處置：
2.1 當靜電手環量測器出現紅、綠燈交替閃爍或紅燈時，表示接觸不良應先確認靜電手環是 否戴妥並進行複測.
2.2 當發現靜電手環故障時立即反映現場主管並更換新品.
3.記錄：
3.1 測試後需於【靜電手環每日測試記錄表】中記錄量測結果. 3.2 記錄之保存归檔处理.
1.1 萬用表
2. 量測程序
1.1 將萬用表調到電阻檔,一表筆接工作臺或設備地線端,另一表筆接工作臺表面或設備表面導電 處(如設備固定螺絲點),萬用表讀數穩定後記錄於【ESD 檢測記錄表】,工作臺接地阻抗小於 1 Ω判定為合格.設備接地阻抗小於 100Ω判定為合格
3.異常處置
3.1 量測結果如超出規格通知當站主管,並由當站主管要求廠務或工程協助改善.
4.3 研發單位負責 4.3.1 人員教育訓練. 4.3.2 靜電防護評估及防靜電設備導入.
4.4 工务單位負責: 4.4.1 設備及工作桌接地並協助接地檢測作業,以及接地系統對大地之阻抗檢測作業.
4.5 其他單位負責: 4.5.1 負責本區域靜電防治措施之查核
5.0 作业程序
5.1 使用儀器、設備： 5.1.1 靜電手環測試儀,靜電鞋測試儀(人體綜合測試儀). 5.1.2 用電表或高阻計,靜電電壓測試儀.
1.1 靜電手環量測器須完成接地. 1.2 測試者依一般作業時之要求戴上靜電手環(扣環扣緊，內側金屬環緊貼皮膚). 1.3 靜電手環之插頭接上與測試器之插座. 1.4 靜電手環測試時以手按下測試器面板中或左邊銀白色按鈕. 1.5 測試結果顯示綠燈與發‘B..’叫聲則表示正常，顯示紅燈表示阻值過小為不正常.
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文 件 名 稱 静电防护管理程序
文件編號
QP-PE-03
版本
0
總頁數
3
頁數
1
版本 ECN 編號 發行日期 0 2010091602 QP-PE-03 新建立
修訂內容
制(修)訂 劉衛中
QP-PE-03
QP-PE-03-04 QP-PE-03-05
QP-PE-03
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附件一: 【靜電手環測試方式】
靜電手環測試方式
E.S.D STRAP CHECK METHOD
1. 測試程序：
ˇ
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ˇ
防靜電手指套
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ˇ
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ˇ
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防靜電手套
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防靜電桌墊
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备注
QP-PE-03
文件標准用紙

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附件三: 【靜電手環每日測試記錄表】
靜電手環每日測試記錄表
年月
站班序
日期
別 別 號 姓名 工號 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
附件六: 【靜電防護稽查記錄表】
靜電防護稽查記錄表
日期
時間
部門
站別
工號
稽查結果
責任單位確認
QQP-PP-EP-E03-03-04
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附件七: 【導電地板電阻值量測記錄表】
導電地板電阻值量測記錄表
品繼續作業.(如圖示二)
2. 防靜電手套及防靜電指套使用說明:
2.1 作業員於作業時須先將防靜電手指套戴上(雙手)於大拇指/食指/無名指及中指戴上後始可作 業.(如圖示三)
2.2 防靜電手套須於每週清洗一次, 防靜電之效果於每週不定期由品保人員進行測試一次並紀錄, 如已無防靜電之效果即需進行更換,更換時須以舊品更換新品為原則.
QP-PE-03
文件標准用紙
圖示一
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图示二:
圖示三
QP-PE-03
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深圳市崇辉表面技术开发有限公司(二车间) TOP-PLATE TECH. CO., LTD (Factory II)
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深圳市崇辉表面技术开发有限公司(二车间) TOP-PLATE TECH. CO., LTD (Factory II)
文 件 名 稱 静电防护管理程序
文件編號
QP-PE-03
版本
0
總頁數
3
頁數
2
1.0 目的
制定 IC 产品在电镀制程中各项静电防护之要求,以保护产品的效能。
2.0 适用范围
适用于各站接触到 IC 产品的所有人员.
3.0 定义
ESD－靜電放電,兩物體間不等之靜電位差,經由直接接觸或感應而產生放電之現象.
4.0 权责
4.1 生产单位： 4.1.1 人员静电防护要求与执行.
4.2 品管单位： 4.2.1 静电接地、测试导电板地板及设备接地检测作业. 4.2.2 人员稽查及记录.
導電地板電阻值量測方式 1.量測儀器
1.1 表面阻抗計或高阻計
2.量測程序：
2.1 用表面阻抗測試儀檢測導電地板表面測量值為LED指示燈亮所顯示是否在規格 2.5x104 ～ 1.0x106Ω的阻抗內,量測點為取面積的平均 40 個點以上.
3.異常處置：
3.1 量測結果如超出規格通知當站主管,並由當站主管要求廠務改善協助改善.
QP-PE-03
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附件二：【各站靜電防護用具一覽表】
项目
站别 IQC 进料 受入站
各站靜電防護用具一覽表
软胶站
电镀站 水刀站
上料 下料
品检
OQC 抽 出货点数
检
防靜電手環
ˇ
附件五：【各站靜電防護用具使用說明表】
各站靜電防護用具使用說明表 因各站使用之相關靜電防護之用具不同,以下依各使用之用具狀況為依據說明及 要求: 1.防靜電手環使用說明：
1.1 靜電手環應夾於導靜電線上,佩戴使用時需將防靜電手環戴於左手並扣緊扣環，內側金屬環緊 貼皮膚.(如圖示一)
1.2 生產作業員依一般作業時之要求戴上靜電手環. 1.3 作業員於離崗時即將扣環拔除即可,不得將手環拔除,回崗時再將扣環扣上後才可拿取產
任何之稽查缺失，亦須立即改善後始可繼續生產. 5.4.2由需用靜電手環單位,每日上班前及用餐后在靜電手環測試儀上作靜電手環正常與否之檢查.
(每人每日量測一次) , 並將測試結果記錄在【靜電手環每日測試記錄表】(附件三) 【靜電手環測試方式】如(附件一) 5.4.3由工务單位對靜電接地點,工作臺及設備接地作量測，將量測結果記錄於【ESD檢測記錄表】 5.4.4由工务單位對導電地板阻抗量測,將量測結果記錄於【導電地板電阻值量測記錄表】 (附件八)上.【導電地板阻抗量測方式】如(附件九)
4.記錄
4.1 記錄之保存归檔处理.
QP-PE-03
文件標准用紙
5.3 作業人員配戴操作： 5.3.1使用靜電手環，並須直接與皮膚緊密接觸。靜電手環之插頭須連接到接地端子. 5.3.2各作業站使用之靜電防護需參照：【各站靜電防護用具一覽表】(附件二) 5.3.3各作業站使用之靜電防護作業須知及要求需參照：【各站靜電防護用具使用說明表】 (附件五).
5.4稽查、巡檢： 5.4.1定期之靜電稽查巡檢，應依以下最低要求之頻率執行，將稽查結果填入各檢查表中，
附件四: 【ESD 檢測記錄表】