2. 关于输入输出关系的静态特性 (1)精度 表示测量结果与被测的“真值”的接近程度。一 般用“极限误差”或极限误差与满量程的比值按 百分数给出。 (2)重复性 反映传感器在工作条件不变的情况下，重复地输 入某一相同的输入值，其输出值的一致性，其意 义与精度类似。 (3)线性度 也称非线性，表示传感器输出与输入之间的关 系曲线与选定的工作曲线的靠近程度，采用工作 直线与实际工作曲线之间的最大偏差值与满量程 输出之比来表示。

n = 60N/Zt


n—转速 r/min t –测量时间 s N ---t内的脉冲个数 Z --- 圆盘上的缝隙个数

3. 力、力矩传感器
利用应变片可以制成应力传感器、力传感器和 力矩传感器，还可将应变片直接贴在被检测部分 来检测力、压力和力矩的大小，所使用的应变片 有电阻丝式、金属箔式和半导体式。



4.1.4 传感器的分类 传感器的分类方法有多种; 1、 按被测物理量的性质分；位移传感器、温
度传感器、压力传感器等等；

2、按工作机理分；电阻式、电感式、电容式、
光电式；

3、按照输出信号的性质分类；可分为开关型
(二值型) 、数字型和模拟型，如下图所示：

1 开关型
开关型传感器的二值就是 “1”和“0”或开(ON)和关 (OFF)。这种“l”和“0”数 字信号可直接传送到微机 进行处理，使用方便。



2 模数（A/D）转换器


模数转换器把输入的模拟信号经过量化和 编码后，转换成数字信号的器件。 根据比较的工作原理可分为直接比较型和 间接比较型两大类。


(1) 逐次逼近型A/D转换器
结构与工作原理

去留码规则， UI >= UF 保留 1 UI <UF 不保留 1, 置零 UF = UREF(2-1a1 + 2-1a2 ….. +2-nan)

3 模拟型 模拟型传感器的输出是与输入物理量变化相 对应的连续变化的电量。输入与输出可以是线 性的也可以是非线性的。



4.1.5 机电一体化系统对传感器的基本要求 1. 精度和灵敏度高、响应快、稳定性好、信噪比 高； 2. 体积小、重量轻、对整机的适应性好； 3. 安全可靠、寿命长； 4. 便于与计算机连接； 5. 不易受被测对象性(如电阻、导磁率)的影响，也 不影响外部环境； 6. 对环境条件适应能力强; 7. 现场处理简单、操作性能好； 8. 价格便宜。

12位逐次逼近式A/D转换器AD574与单片机8051的接口电路


(2) 双斜积分式A/D转换器
结构与工作原理
N1 N2 U1 U REF




ICL 7109是一种高精度、低噪声、低漂移、价格 低廉的双积分型12位A/D转换器。在要求转换速 度不太高的场合，如用于称重测力、测温度等各 种传感器信号的高精度测量系统中时，可采用廉 价的双积分式12位A/D转换器ICL 7109。 ICL 7109主要有如下特性： (1) 高精度(12位) (2) 低噪声(典型值为15μVP-P); (3)低漂移(＜1μV/℃)； (4)高输入阻抗(典型值1012Ω); (5)低功耗(＜20mW); (6)转换速度最快达30次/秒，当采用3.58MHz晶振 作振源时，速度为7.5次/秒；




2. 速度、加速度传感器 检测转速的传感器有测速发电机、光电、磁 电式转速传感器。 检测加速度可用电容式或压电式加速度传感 器。 检测直线运动速度时，可以将直线运动变换 成回转运动，然后再用转速传感器检测。采用数 字型传感器检测位移时，也可同时检测运动速度。 对于计数型传感器，可通过检测其脉冲频率 来得到运动速度的数据。代码型传感器，则可通 过检测其代码变换周期来确定运动的速度。


4.2 传感器与微机的接口技术
输入到微型机的信息必须是微型机能够处理的数字量信 息。传感器的输出形式可分为模拟量、数字量和开关量。与 此相应的有三种基本接口方式，见下表。


4.2.1 数字量、开关量的接口 可以通过缓冲器直接输入到计算机数据总线上。 4.2.2 模拟量的接口 1. 模拟量的数字化过程 (1) 时间断续



采样保持器的组成与工作原理
单片集成采样/保持电路LF198

在LF198中，采用了双极型与CMOS型混合工艺。当CH =0.01uF时，输出电压的下降率达到10-3 mv/s 以下.

4 模拟多路开关
在机电一体化系统中，经常对许多传感器信 号进行采集和控制。如果每一路都单独采用各自 的输入回路，即每一路都采用放大、采样/保持、 A/D等环节，不仅成本比单路成倍的增加，还会 导致系统体积庞大，且由于模拟器件，阻容元件 参数和特性不一致，对系统的校准带来很多困难。 因此除特殊情况下，多采用公共的采样/保持及 A/D转换电路。要实现这种设计，往往需要采用 模拟多路开关，将各路信号按照一定的顺序切换 到后续电路中。




4.1.6 机电一体化系统常用传感器 1. 位移检测传感器 位移测量是直线位移测量和角位移测量的总称， 位移测量在机电一体化领域中应用十分广泛，这 不仅因为在各种机电一体化产品户常需位移测量， 而且还因为速度、加速度力、压力、扭矩等参数 的测量都是以位移测量位移为基础的。 直线位移传感器主要有：电感传感器、差动变 压器传感器、电容传感器、感应同步器和光栅传 感器。 角位移传感器主要有：电容传感器、旋转变压 器和光电编不一样，它所测量 的不是一段距离的变化量，而是通过检测，确定 是否已到某一位置。因此，它只需要产生能反映 某种状态的开关量就可以了。 位置传感器分接触式和接近式两种。所谓接 触式传感器就是能获取两个物体是否己接触的信 息的一种传感器；而接近式传感器是用来判别在 某一范围内是否有某—物体的一种传感器。


(1) 接触式位置传感器
这类传感器用微动开关之类的触点器件便可构成， 它分以下两种 a. 由微动开关制成的位置传感器



二维矩阵式配置的位置传感器

1、柔软电极 2、柔软绝缘体

(2) 接近式位置传感器 接近式位置传感器按其工作原理主要分：①电磁 式；②光电式；③静电容式；④超声波式；⑤气 压式等。其基本工作原理可用下图表示出来。

接近式位置传感器的工作原理

5 视觉传感器
视觉传感器在机电一体化系统中的作用有：1、 确定对象物的位置与姿势； 2、图像识别：确定对象物的特征(识别符号、读出 文字、识别物体)； 3、形状、尺寸检验：检查零件形状和尺寸方面的 缺陷。 在机电一体化系统中采用的视觉传感器有光导 摄像管摄像机、固体半导体摄像机、激光视觉传感 器等。固体半导体摄像器件有CMOS型(金属氧化 物集成电路)、CCD型(电荷耦合器件)以及CMOS和 CCD混合型等。

4.1.1 传感器的定义 传感器： 传感器是一种以一定的精确度将 被测量(如位移、力、加速度等)转换为与之有确 定对应关系的、易于精确处理和测量的某 种物理量(如电量)的测量部件或装置。



4.1.2 组成 组成：敏感元件、转换元件、电子线路等 组成。
1 敏感元件 直接感受被测量、并以确定关系输出 物理量。如弹性敏元件将力转换为位移或应变输出。 2 转换元件 将敏感元件输出的非电物理量(如位 移、应变、光强等)转换成电量参数(如电阻、电感、 电容等)等。 3 基本转换电路 将电路参数量转换成便于测量的 电量，如电压、电流、频率等。 直接转换与间接转换

AD574A是美国模拟数字公司（Analog）推出的单 片高速12位逐次比较型A/D转换器，内置双极性 电路构成的混合集成转换芯片，具有外接元件少， 功耗低，精度高等特点，并且具有自动校零和自 动极性转换功能，只需外接少量的阻容件即可构 成一个完整的A/D转换器，其主要功能特性如下： 分辨率：12位 非线性误差：小于±1/2LBS或±1LBS 转换速率：25us 模拟电压输入范围：0—10V和0—20V，0— ±5V和0—±10V两档四种 电源电压：±15V和5V 数据输出格式：12位/8位


特性曲线中如果设输出状态 从断到通时的输入值为INon， 而从通到断时的输入值为 INoff，则特性满足 INoff＜INon INoff与INon的差称为磁滞 宽度或瞬动(snap)宽度。
二值型传感器的实用特性


2 数字型 数字型传感器有计数型和代码型两大类。 其中计数型又称脉冲数字型；




传感器的组成
4.1.3 传感器的特性


传感器比较常用的性能指标有以下几种 1. 关于输入量的特性： (1) 量程或测量范围 传感器预期要测量的被测量值的范围，一般 用传感器允许测量的上下极限值来表示，其中上 限值也称为满量程FS。 (2) 过载能力 传感器允许承受的最大输入量(被测量),通常用 一个最大允许值或满量程的百分比来表示。
max 1 100% YFS
1
YFS
非线性误差(线性度) 输出满量程
max 最大非线性绝对误差


(4) 灵敏度 传感器输入增量与输出增量之比；
(5) 稳定性(温度漂移，时间零漂) 时间零漂: 在规定的时间内，在温度不变的条件下， 零输出的变化； 温度漂移:当温度发生变化时，其输出特性的变化， 通常用零点输出变化值表示，也可以用它与满量 程的比值来表示。




3. 动态响应特性 在被测量的物理量随时间变化的情况下，传感器的输 出能否很好地追随输入量的变化是一个很重要的问题。有 的传感器尽管其静态持性非常好，但由于不能很好追随输 入量的快速变化而导致严重误差，这种动态误差若不注意 加以控制，可以高达百分之几十其至百分之百。在被测信 号变化速度较快的情况下要求我们要认真注意传感器的动 态响应持性。 频率响应特性 幅频特性 相频特性 阶跃响应特性 时间常数 上升时间 过冲量(超调量) 固有频率 阻尼比(对数减缩)