本文中将介绍可靠性的定义,测试方法和标准, 失效机理以及失 效分析方法。
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可靠性测试与失效分析
质量与可靠性
2.质量与可靠性
➢ 质量是一组固有特性满足要求的程度 质量是对满足程度的描述，满足要求的程度的高低反映为质量的好坏， 在比较质量的优劣时，应注意在同一等级上进行比较。
➢ 可靠性: 产品在规定条件下和规定时间内，完成规定功能的能力 可靠性的概率度量称可靠度(即完成规定功能的概率)。 产品或产品的一部分不能或将不能完成规定功能(Spec)的事件或 状态称故障，对电子元器件来说亦称失效。
失效机理：高温下芯片表面和内部的杂质加速反应，缺陷进一步生 长，使器件性能退化。可动离子富集导致的表面沟道漏电，结特性退 化，电场加速介质击穿，高温加速电迁移等。
对大功率器件，可采用常温功率负荷的方式使结温达到额定值。检 验电迁移问题，采用大电流高温加速。
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可靠性测试与失效分析
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可靠性测试与失效分析
高温蒸煮
§5.2 高温蒸煮(PCT/PTH/Autoclave)
目的：检验器件抵抗水汽侵入及腐蚀的能力，不包括外部腐蚀。 条件： 121oC/100%RH，205kPa（2atm），168hrs。 失效机理：湿气通过塑封体及各界面被吸入并到达芯片表面,在键合
区形成原电池而加速铝的腐蚀。另外，水汽带入的杂质在器件表面形 成漏电通道。 试验后因管脚腐蚀引起的开路或塑封体表面漏电等失效不计。
time
requirements
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可靠性测试与失效分析
失效机理
5.失效机理
热效应 金线热疲劳而断开、塑封体裂纹引起密封性失效、粘片层空洞引起热 阻增大、钝化层开裂、芯片开裂、铝再结构造成开/短路、键合处出 现紫斑开路等
化学效应 引脚腐蚀、塑封/界面/裂纹吸湿引起铝线腐蚀/键合区电化学腐蚀、 水汽带入的离子引起漏电、塑封体中的杂质离子引起漏电等
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可靠性测试与失效分析
高温工作寿命
4.圆片工艺相关的可靠性试验
§4.1 高温工作寿命(HTOL/Burn-in)
目的：考核产品在规定条件下全工作时间内的可靠性，发现热/电压 加速失效机理，预估长期工作的失效率。
条件：125oC（或使结温等于额定值），Vddmax,168hrs（消除早期 失效元件，把元件带到随机失效区）1000hrs （进入有用寿命期，试 验时间长短对应有用寿命期长短）。
Automotive 10-20 years
Custom
Various
Part time / Full time
“under the hood”, drive train control, or safety equipment
Part time / Full Applications with specific customer
失效机理：因富集在塑封体内各界面的水汽在表贴过程中迅速膨胀及 材料的不匹配而导致界面分层或塑封体开裂，影响产品可靠性，严重 时可导致开路。
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可靠性测试与失效分析
表面贴装器件的预处理
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可靠性测试与失效分析
表面贴装器件的预处理
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可靠性测试与失效分析
新的可靠性评估方法是改评估产品为评估生产线，相信合格的生 产线能把可靠性做到产品中去。
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可靠性测试与失效分析
失效率
4.失效率(Failure rate)
失效率是可靠性测试中最关键的参数。 失效率某时刻尚未失效的器件继续工作下去时在单位时间内失效的几
率。 通常以 FIT（Failure In Time）作单位，1FIT=10亿个产品1小时
高温工作寿命
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早期失效实例
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可靠性测试与失效分析
高温工作寿命
Confidence Level=60%,Sample size=77,Failure allowed: 1 ,Ea=0.7 eV
125℃→55℃
150℃→55℃
Test Time 168 hours 500 hours 1000 hours 2000 hours
偶然失效：失效率低且稳定，不当应用是失效主要原因
耗损失效：磨损、老化、疲劳等引起产品性能恶化。如缓慢的化学变 化使材料退化，压焊点氧化等
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可靠性测试与失效分析
失效率
Tier
Typical
Power-On
Examples of Typical Applications
Application Use- Hours
Failure Rate 2020 FIT 674 FIT 337 FIT 169 FIT
Life Ttme Test Time
0.7 years 168 hours
2 years 500 hours
4 years 8 years
1000 hours 2000 hours
Failure Rate 599 FIT 201 FIT 100 FIT 50 FIT
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可靠性测试与失效分析
PENETRATION THROUGH THE RESIN MATERIAL
高温蒸煮
INTERNAL WIRE INTERFACE PENETRATION
CHIP LEAD
RESIN MATERIAL
Penetration paths of water into a plastic encapsulated IC
电效应 强电场导致栅氧击穿/MOS电容击穿、 大电流发热导致多晶电阻烧毁 /PN结区硅烧熔/金属间电弧/铝烧熔/塑封碳化等。
机械应力 振动、加速度、应力等
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可靠性测试与失效分析
抽样数和可接受失效数
6.抽样数和可接受失效数
抽样数和可接受失效数由可接受的产品不合格质量水平及可信度推算。 通常的抽样77pcs允许1pc失效对应的可接受不合格质量水平的不合
Commercial Industrial Automotive Custom
5 years 10 years 10-20 years Various
Time
失效率曲线示意图 (Bathtub curve)
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可靠性测试与失效分析
失效率
早期失效：产品本身存在的缺陷（设计缺陷/工艺缺陷）造成，改进 设计/材料/工艺的质量管理，可明显改善早期失效率
失效机理：不同材料间热膨胀系数差异造成界面热匹配问题，造成金 线断裂、键合脱落（开路）、塑封开裂（密封性失效）、界面分层 （热阻增大） 、铝线再结构（开短路） 、钝化层开裂、硅铝接触开 路、芯片背面划痕继续长大导致芯片开裂。2020/1Fra bibliotek/226
可靠性测试与失效分析
温度循环/冲击
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环境试验 温度循环/冲击、高压蒸煮、加速湿热、盐雾、耐焊接热、高温储存
寿命试验 早期失效率、动态/静态/间歇高温寿命试验
机械试验 振动/冲击、加速度、可焊性、键合强度
ESD/Latch-up测试
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可靠性测试与失效分析
可靠性测试计算工作
3.可靠性测试计算工作
可靠性试验参照标准 加速试验加速因子的计算 加速环境应力与失效机理的对应关系 工艺/封装/设计变动与可靠性试验选择 样品数量/批次的选择
开路、金铝键合因形成合金而退化（紫斑） 、高温下钛阻挡层缺陷、 塑封料高温下加速老化导致绝缘/防护性能劣化或释放杂质、表面沾 污高温下加速腐蚀。 现在的半导体器件稳定性已很高，该试验已不足以暴露问题。
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可靠性测试与失效分析
表面贴装器件的预处理
5.封装可靠性试验
§5.1 表面贴装器件的预处理（Precondition）
λ(0）＝5/1000(100-0)=5×10－5/h＝50000 Fit λ(1000)＝38/(1010-1000)(100-5)＝0.4% h－1
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Failure Rate
早期失效
Infancy period
使用失效
Useful life period
有用寿命期
磨损失效
Wear-Out period
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Life Ttme 2 years 7 years 14 years 28 years
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可靠性测试与失效分析
高温储存
§4.2 高温储存(HTST)
目的：考核无电应力情况下，长期高温存储对产品的影响。 条件：150oC，1000hrs。 失效机理：因扩散导致硅铝共熔形成硅化物而使接触电阻增大直致
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可靠性测试与失效分析
质量与可靠性
➢质量与可靠性的相关性 质量提高，器件的一致性变好(如参数分布等) 器件的一致性更好，可靠性则更均匀(uniform)。 质量缺陷的问题被解决，则该缺陷引起的可靠性失效则不 会发生。 更进一步说，高质量等于高可靠性。
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可靠性测试与失效分析
可靠性测试 与
失效分析
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可靠性测试与失效分析
可靠性基本概念
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可靠性测试与失效分析
前言
1.前言
质量（Quality）和可靠性（Reliability）是IC产品的生命，好 的品质及使用的耐力是一颗优秀IC产品的竞争力所在。在做产品验 证时我们往往会遇到三个问题，验证什么，如何去验证，哪里去验 证，验证后的结果分析(Failure analysis), 如何进行提高 (Improvement). 解决了这些问题，质量和可靠性就有了保证，制造 商才可以大量地将产品推向市场，客户才可以放心地使用产品。