1.何为纳米科技？纳米科技包含哪些主要科技领域？发展纳米科学与技术的底层基
本理论或者基础是什么，在本课程中涉及的量子力学的最基本理论？
2.SPM 的主要结构组成形式；各种SPM的基本工作原理和检测方法、扫描模式；SPM
进行原子操纵的机理；SPM进行纳米级加工的机理及方法；SPM的微动及纳米级驱动方式及实现手段；SPM针尖—试件间作用力和距离的关系。

3.何为纳米材料、纳米材料的分类；0维、1维、2维纳米材料的主要特性是什么？纳
米颗粒、纳米薄膜、纳米块体材料的特性，简述碳纳米管的结构、特性、优异性能和应用前景；纳米颗粒材料、薄膜材料的制备方法。

4.纳米级摩擦润滑、边界润滑和薄膜润滑的特征和原理；纳米级润滑膜厚度的测量原
理、方法及装置？
5.纳米级测量应用的物理原理和实现方法；简述激光干涉测量法、双频激光干涉测量
法、X射线测量原理以及实现手段；各种SPM接触测量方法以及测量横纵垂直方向分辨率；三维精密测量系统要提高测量精度须注意哪些问题?
6.纳米级加工方法有哪些？纳米级加工精度？原子操纵的机理及操作模式。

7.微电子学发展遵循的基本定律？纳米电子学发展现状及面临主要问题以及目前的
解决手段；纳米电器件的特征；量子电器件的主要特征。

8.何为纳米生物技术？纳米生物的应用范围简介；研究纳米生物所需的基本理论及涉
及学科。

9.简述发展微机械和微机电系统的理论基础；微机电系统涉及的基本技术有哪些？简
述大规模集成电路的制造技术；微机械和微机电系统的制造技术有哪些？。