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LOGO微纳技术研讨
组员：张勇丁月曹世进
指导老师：张胜文
微纳技术
概念由来及发展过程
应用领域
发展意义
未来发展前景
微纳技术一般指微米、纳米级(0.1---100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术。

在基础科研以及制造行业中，微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的尖端位置。

Company Logo 应用领域
微纳技术能源
生物医学
机械
制造光电
技术
机械制造微／纳制造领域已经成为衡量一个国家科技水平的重要标志之一。

微／纳结构加工技术的发展和应用将给先进制造技术和超精密加工领域带来革命性的变革。

超精密加工及特种加工
硅微机械加工LIGA 技术隧道式近场放电加工生物制造
光电技术提高光电信号传输效率
有色金属及镀镍等材
料的反射镜
Text
透镜，棱镜
及反射镜光通讯耦合器件及微型槽阵列Text 激光系统中球面、非球面、柱面等特
殊曲面透镜阵列
MEMS器件和系统具有以下几个特征
体积小,尺寸在毫米与微米之间格
基于(但不限于)硅微加工技术制造
MEMS中的机械不限于狭义的机械力学中的机械,包括力、声、
光、磁乃至化学、生物等具有能量转化、传输等功能的效应
与微电子芯片类同,可以大批量、低成本生产，使其
性能价格比相对于传统机械性能价比有大幅度提高
MEMS的目标是微/纳机械与IC集成的具有智能的微系统
MEMS 汽车传感器分类
1.发动机控制系统用传感器：温度、压力、位置和转速、流量、气体浓度和爆震等传感器
2.底盘控制用传感器：车速、加速度、节气门位置、发动机转速、水和油温传感器、转矩、油压传感器
3.车身控制用传感器：安全气囊系统中的加速度传感器，倒车控制中的超声波传感器或激光传感器和保持车距的距离传感器等
4.电气设备中的传感器：确定汽车行驶方向的罗盘传感器、陀螺仪和车速传感器、方向盘转角传感器等
生物医学纳米药物
医学检查生物医学方面的微纳技术将在不断提高医疗技术、减少医疗事故、延长人类寿命发挥越来越
重要的作用。

人造器官植入式电子装置医疗器械
拉曼散射效应定向药物投放
应用
能
燃料电池黑硅（光伏材料）
源
微纳制造一旦成熟，将会消耗更少的能源与资源
前景
微纳技术是继IT、生物之后21世纪最具发展潜力的高新技术，是未来十年高增长的新兴产业。

也是高新技术产业发展新的增长点，同样也是当今高科技发展的重要领域之一。

在不久的未来，微纳技术定会广泛应用在机械、医疗、能源、环境等方方面面，满足人们不断追求条件更好且可负担的医疗保健服务、更高的生活品质和质量更好的日用消费品，并应对由能源成本上涨和资源枯竭所带来的风险。

而且微纳技术的发展将会为维持强劲的社会经济提供动力以满足社会需求。

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