微电子学系本科生课程设置Undergraduate Courses for Department of Microelectronics清华大学微电子所研究生课程一、简介我所研究生一级学科名称为电子科学与技术，二级学科名称为微电子学与固体电子学。
研究方向有以下四个方面：微/纳电子器件及微系统；系统的芯片集成；微/纳米工艺学；微/纳器件和系统的CAD方法。
我所现有博士生导师13名；研究生课程共设置19门；目前在校学生数：博士生77人；硕士生:235人（包括工程硕士125人）。
2005年度录取人数：博士生14人；硕士生102人。
2005年度毕业人数：博士生8人；硕士生33人。
二、博士生导师情况介绍姓名 职称 研究方向李志坚 院士教授 半导体新器件、器件物理和器件模型、微电子机械系统陈弘毅 教授 超大规模集成电路设计技术(多媒体数字信号处理、算法的VLSI实现和系统的芯片集成技术)周润德 教授 超大规模集成电路设计技术(微处理器与嵌埋式系统设计，加密算法，低压,低功耗电路设计)许 军 教授 SiGe/Si微波功率HBT器件与集成电路以及超高速应变硅MOS器件刘理天 教授 半导体新器件、器件物理和器件模型、微电子机械系统魏少军 教授 超大规模集成电路设计技术(多媒体数字信号处理、算法的VLSI实现和系统的芯片集成技术)陈 炜 教授 纳米加工、纳米电子器件、超导量子器件和量子计算实现孙义和 教授 超大规模集成电路设计技术（多媒体DSP技术、VLSI 测试方法和可测性设计、网络安全）陈培毅 教授 半导体新器件、器件物理和器件模型、新型半导体材料余志平 教授 半导体器件和电路计算机模拟(包括亚100nm硅CMOS 器件模型；纳电子器件量子输运模型；基于版图和衬底耦合的RF(射频)电路分析，验证软件和电路单元自动生成。
王志华 教授 模拟与数模混合集成电路设计，生物与医疗微系统芯片设计，射频电子标签电路技术，集成电路设计方法学任天令 教授 新型微电子器件、微电子机械系统 (MEMS)、新型半导体存储器、纳电子与自旋电子学王 燕 教授 纳电子器件的量子输运模型，化合物半导体器件和电路计算机模拟三、课程设置本年度共开设研究生课程23门，新开课4门。
具体情况介绍如下：• 课程编号： 71020013 课程名称：半导体器件物理进展学分： 3 学分总学时： 48 学时开课学期：秋季任课教师：许军• 课程编号： 71020023 课程名称：数字大规模集成电路学分： 3 学分总学时： 48 学时开课学期：秋季任课教师：周润德• 课程编号： 71020033 课程名称：模拟大规模集成电路学分： 3 学分总学时： 48 学时开课学期：秋季任课教师：李福乐王自强王志华• 课程编号： 71020053 课程名称：集成电路的计算机辅助设计学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：余志平• 课程编号： 71020062 课程名称：集成电路制造工艺与设备学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：王水弟• 课程编号： 80260032 课程名称：新型微纳电子材料与器件学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：任天令• 课程编号： 81020012 课程名称：超大规模集成网络学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：陈志良刘伯安• 课程编号： 81020132 课程名称：集成电路制造与生产管理学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：向采兰张志刚• 课程编号： 81020112 课程名称：纳米电子器件学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：王燕• 课程编号： 81020142 课程名称： IC 设计与方法学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：张春• 课程编号： 91020012 课程名称：微电子学最新进展学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：秋季任课教师：李志坚等• 课程编号： 70260013 课程名称：数字集成系统设计学分： 3 学分总学时： 48 学时开课学期：春季任课教师：张春王志华• 课程编号： 71020043 课程名称：数字 VLSI 系统的高层次综合学分： 3 学分总学时： 48 学时开课学期：春季任课教师：魏少军• 课程编号： 71020073 课程名称：射频 CMOS 集成电路设计学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：池保勇余志平• 课程编号： 80260042 课程名称： PLL 设计与时钟 / 频率产生学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：李宇根• 课程编号： 81020022 课程名称：微处理器结构及设计学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：李树国齐家月• 课程编号： 81020032 课程名称：大规模集成电路测试方法学概论学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：孙义和• 课程编号： 81020042 课程名称：微电子封装技术学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：蔡坚• 课程编号： 81020052 课程名称：微米 / 纳米技术物理学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：刘泽文• 课程编号： 81020062 课程名称：微机电系统（ MEMS ）学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：刘理天• 课程编号： 81020082 课程名称： VLSI 数字信号处理学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：陈弘毅刘雷波• 课程编号： 80260012 课程名称：集成电路设计实践学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：李福乐• 课程编号： 80260023 课程名称：密码学与网络安全学分： 2 学分总学时： 32 学时开课学期：春季任课教师：白国强四、学位论文2005年度博士学位论文吴行军指导教师：陈弘毅论文题目：高效模运算处理器VLSI架构与实现研究雷啸锋指导教师：李志坚论文题目：高性能并联电容式RFMEMS开关研究杨骞指导教师：周润德论文题目：部分绝热能量回收电路的设计研究冯东指导教师：石秉学论文题目： CMOS射频前端中关键拈的研究及应用粟雅娟指导教师：魏少军论文题目：面向能耗的软硬件协同综合方法研究徐志浩指导教师：李志坚论文题目：自适应模糊控制器的VLSU实现研究涂春江指导教师：陈弘毅论文题目：超宽带通信收发机研究李翔宇指导教师：孙义和论文题目：密码集成电路的非算法抗功耗分析设计方法研究五、研究生课程进修班举办研究生进修班－北京集成电路设计园研究生课程三期进修班。
学员人数：30人。
六、获奖情况曾雪锋指导导师：岳瑞峰获清华大学校优秀硕士论文欧阳可青指导导师：刘理天获清华大学校优秀硕士论文清华大学微电子所17门本科生课程一、简介 2006年，微电子所开设了17门本科生课程，其中专业核心课6门，专业限选课5门，专业任选课3门，平台课1门，新生研讨课2门。
二、课程设置课程名称：固体物理学课程属性：专业核心课任课教师：王燕邹建平内容简介：固体物理学是固体材料和固体器件的基础。
该课程主要研究晶体的结构及对称性，晶体中缺陷的形成及特征，晶格动力学，能带理论的基础知识以及晶体中的载流子输运现象等。
是微纳电子专业的核心课。
课程名称：数字集成电路分析与设计课程属性：专业核心课任课教师：刘雷波内容简介：本课程讲授数字集成电路的分析与设计，以CMOS集成电路为主，在回顾集成电路器件的基础上讲授CMOS反相器、组合逻辑电路和时序逻辑电路的工作原理，互连线的寄生参数和延时模型，算术运算逻辑功能单元以及半导体存储器的结构与实现，并介绍数字集成电路与系统的分析方法和设计流程。
针对数字集成电路的各种类型和基本单元，通过课堂授课、答疑讨论、作业、模拟实验和课程设计等环节，培养学生分析和设计数字集成电路与系统以及优化电路结构、面积、速度和功耗等方面的能力。
课程名称：微电子工艺技术课程属性：专业核心课任课教师：岳瑞峰向采兰内容简介：本课程主要讲授硅集成电路制造的工艺。
首先，在介绍单晶硅的生长、晶园的制备以及集成电路制造污染控制方法和制造环境后，重点学习微电子制造工艺各单项工艺的基本原理（包括氧化、扩散、离子注入、薄膜淀积、快速退火、光刻、刻蚀、金属化工艺等），并了解常用的工艺检测方法、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等。
其次，课外通过计算机模拟试验，学习氧化、扩散、离子注入等工艺设备的简单操作和模拟方法。
第三，课外组织观看工艺录像，并到微电子学研究所集成电路试验线参观进行现场讲解。
课程名称：模拟集成电路分析与设计课程属性：专业核心课任课教师：池保勇课程名称：半导体物理与器件课程属性：专业核心课任课教师：邓宁田立林内容简介：主要讲授半导体材料的基本物理知识，半导体器件的工作原理以及现代半导体器件的新进展。
主要内容包括：半导体中的电子态和平衡载流子统计，载流子的输运（非平衡载流子，产生和复合，载流子的漂移、扩散，电流连续性方程），PN结二极管和双极型晶体管，场效应晶体管，半导体存储器，半导体光电器件和功率器件，纳电子器件和物理基础。
课程名：微纳电子实验课程属性：专业核心任课教师：高力立内容简介：微、纳电子实验课程基本含盖微纳电子学的半导体物理，半导体器件，集成电路和纳电子4个方向，有6个实验，分别为C-V特性测量；低温霍尔效应；不同尺寸MOS器件特性分析；工艺与器件模拟；集成电路功能与各种参数测试与分析；量子点红外探测器参数测试。
目的是通过这些专业实验课的训练，使同学们对微纳电子学有一个实际的认识与理解，培养学生的动手能力以及分析和解决实际问题的能力。
使我们的学生毕业后能尽快适应工作，在工业及研究领域中发挥主导作用。
课程名：微电子器件与电路课程属性：专业核心任课教师：许军张莉内容简介：本课程内容涵盖微电子学专业所需掌握的主要基础知识，包括半导体材料与集成电路制造工艺的简单介绍，半导体物理的基本知识，重点讨论pn结二极管、双极型晶体管和MOS场效应晶体管等半导体器件的结构、制备与工作原理，最后还将介绍微电子器件的最新进展以及集成电路的分析与设计技术。
通过本课程的学习，学生将对微电子专业从物理到电路有一个全面的了解，重点在掌握半导体器件的工作原理及在集成电路中的应用。
课程名称：量子信息学引论课程属性：专业限选课任课教师：刘建设内容简介：量子信息学是运用量子力学基本原理进行信息的编码、通信与处理的新兴交叉学科。
本课程讲解量子信息科学的主要思想与方法，一方面提供所需的物理、数学、计算机科学的知识背景，另一方面使大家理解并掌握本领域的基本工具与结果。