、优点
生长速度快，膜致密均匀，装片容量大
四、不足
1、内汗高密度微挛晶缺陷
2、晶粒尺寸小
3、载流子迁移率不够大
7.2.3等离子体增强化学反应气相沉积
一、基本原理
紫外线→原料气体→轻微电离→少量电子→碰撞中心粒子→二次电子→大量离子和电子
二、实质
利用辉光放电的电子来激活化学气相沉积系统
授课日期
授课节次
授课班级
7.2.2低压化学气相沉积法
7.2.3等离子体增强化学反应气相沉积
教学目的
1、掌握LPCVD法德要点，了解其优点
2、掌握PECVD法的原理
教学重点
掌握LPCVD法德要点，了解其优点
教学难点
掌握PECVD法的原理
教学准备
教材教案
教学方法
讨论法、比较法
教
学
过
程
Ⅰ、课堂组织：2分钟
组织纪律点名
Ⅱ、复习旧课，导入新课：4分钟
问题：1、制备多晶硅薄膜太阳电池的基本要求？
2、多晶硅薄膜太阳电池的特点？
3、衬底的要求？
Ⅲ、讲授新课：78分钟
第七章多晶硅薄膜太阳电池
7.2.2低压化学气相沉积法
一、原料
SiH4
二、要点
1、压强：13.3-26.6Pa太小，表面粗糙；太大，晶粒尺寸太小
2、温度：580-630只能用昂贵的石英
Ⅳ、归纳总结：2分钟
PECVD法的原理
LPCVD法的优点及要点
Ⅴ、布置作业：1分钟
课后习题：5
教学反思
教研组长签名教务科长签名
年月日