(200℃)
W/m•k
60 2.60
(900℃)
W/m•k
43.70 2.80
介电强度(室温)
KV/mm
56
耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。
抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。
电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。
在力学、热学、电学等等性能上有着明合成用的坩埚、基座：
原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。
热解氮化硼
■产品概述
热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制成。
■主要特点：
材料呈白色，无毒、无孔隙、易加工。
纯度高达99.99％，表面致密，气密性好。
耐高温，强度随温度升高，2200℃达到最大值。
显微硬度(Knoop)(ab平面)
N/mm2
691.88
体积电阻系数
Ω•cm
3.11×1011
抗张强度 (力|| “C”)
N/mm2
153.86
抗弯强度
(力|| “C”)
N/mm2
243.63
(力⊥ “C”)
N/mm2
197.76
弹性模量
N/mm2
235690
热传导率
W/m•k
“a”方向 “c”方向
分子束外延用的MBE系列坩埚。
VGF、VB法系列坩埚。
PBN／PG复合加热器涂层。
石墨加热器绝缘涂层。
高温绝缘流体喷嘴。
MOCVD绝缘板。
异形坩埚及异形石墨件涂层。
晶片退火工艺用复合加热器。
■规格：
类 型
类 别
最 大 尺 寸
坩埚类
LEC
8 inch
VGF
8 inch
MBE
8 inch
异形坩埚
板材类
圆形板材
8 inch
长舟
8 inch
绝缘板(MOCVD)
8 inch
涂层类
蒸发舟
石墨加热器
PBN/PG复合加热器
■主要参数:
性能
单位
数值
晶格常数
µm
a:2.504×10-10 c:6.692×10-10
表观密度
g/cm3
2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩锅)
氦透过率
cm3/s
1×10－10