2.1 全球设备市场回暖，受益于制程进步、产能投放 ..........................................................................................6 2.2 前道设备占主要部分，测试需求增速最快 ..................................................................................................10 2.3 全球市场受海外厂商误导，前五大厂商市占率较高.....................................................................................12 2.4 国内需求爆发，国产替代进展加速 ............................................................................................................14 三、光刻机：半导体制程工艺核心环节，将掩膜板图形缩小.....................................................................................16 四、涂胶显影：与光刻机配合，实现图形转移.........................................................................................................19 五、刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加........................................................................................23 六、薄膜设备：用于沉积物质，在设备市场占比较高...............................................................................................28 七、清洗设备：去除晶圆片表面杂质，各制程前后均需使用.....................................................................................30 八、掺杂设备：改变表层电导率/形成 PN 结，实现器件...........................................................................................30 九、氧化形成器件，快速退火修复晶格...................................................................................................................32 十、过程控制：制造过程的准确性检测...................................................................................................................33 十一：测试设备：用于测试晶圆片及成品 ...............................................................................................................36 十二、分析建议....................................................................................................................................................38 十三、市场提示....................................................................................................................................................38
国产半导体市场分析报告 2020年7月
目录
一、中芯国际上市，加速设备国产替代进程..............................................................................................................5 二、设备市场：大陆需求快速增长，国产替代提速..................................................................................................万元） .....................................................................................................................5 图表 2：中芯国际重要的产业链地位.........................................................................................................................5 图表 3：中芯国际一站式的解决方案.........................................................................................................................5 图表 4：中国“芯”阵列 .............................................................................................................................................6 图表 5：全球半导体设备销售额（十亿美元） ...........................................................................................................7 图表 6：全球半导体设备销售额（十亿美元） ...........................................................................................................7 图表 7：半导体设备市场增速周期性.........................................................................................................................7 图表 8：海外半导体设备龙头营业收入增速跟踪........................................................................................................8 图表 9：海外半导体设备龙头 GAAP 净利润（百万美元）...........................................................................................8 图表 10：晶圆代工企业资本开支（百万美元） .........................................................................................................9 图表 11：全球半导体资本开资（百万美元）.............................................................................................................9 图表 12：100K 产能对应投资额要求（亿美元）......................................................................................................10 图表 13：半导体制造领域典型资本开支分布...........................................................................................................10 图表 14：全球半导体设备按工艺流程划分（百万美元） ..........................................................................................11 图表 15：全球半导体前道设备划分（百万美元） ....................................................................................................11 图表 16：全球半导体测试设备划分（百万美元） ....................................................................................................12 图表 17：集成电路前道工艺对应设备.....................................................................................................................12 图表 18：AMAT、LAM、TEL 主导大部分前道工艺 ...................................................................................................13 图表 19：全球半导体设备厂商排名（百万美元） ....................................................................................................13 图表 20：五大设备厂商行业格局（百万美元） .......................................................................................................13 图表 21：国内晶圆厂投资规模（亿元） .................................................................................................................14 图表 22：国产设备替代进程 ..................................................................................................................................15