3.2.2与其它测量仪器一起使用
4运行
4.1测量原理，测量特性
4.2真空计工作原理
4.3除气
4.4显示器
4.5RS232C接口
4.5.1功能说明
4.5.1.1IR090输出
4.5.1.2IR090输入
5维护
5.1维护
5.2真空计调整
5.3真空计清洗
5.4安装障板
5.5更换障板
5.6更换规管
5.7故障查找
1.4赔偿与保修责任如最终用户或第三方有以下情况，Leybold Inficon将不承担赔偿
与保修责任。
•不理会本说明书中的要求
•在不适当的状态下使用本产品
•对产品作任何变动（修改，更改等）
•使用不是相应产品文件中所列的附件
对所使用的过程介质，由最终用户负责。
2技术参数
测量测量范围（空气，氮，氧）5×10-10至1000毫巴,连续
毫巴至p＞5.5×10-3毫巴的交叉压强范围内，输出两个测量系统
的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于2.4×10-2毫巴
的阈值时，才能转换至热阴极测量系统（防止灯丝烧断）。当压
强超过3.2×10-2毫巴时切断电源。
注册商标CombivacLeybold
SKYLeybold Inficon
1安全
25微安5毫安7.2×10-6毫巴
5毫安25微安3.2×10-5毫巴
除气电流约16毫安/约4.0瓦
（p＜7.2×10-6毫巴）
控制输入讯号0伏/24伏，PLC-值，高动态
时长至多3分，接着自动停止
在除气模式中，IR090保持提供测量值，误差大于正常运行。
输出讯号输出讯号0至10伏
测量范围0.774伏5×10-10毫巴
显示器平板型LCD-点阵，32×16象素
带有本底照明
尺寸16.0×11.2毫米2
压强单位毫巴（缺省），乇，帕
电源
危险
真空计必须连接符合超低电压接地保护（SELV-E，按照EN 61010）要求的电源和测量仪器。连接真空计必须有保险丝。
真空计电压24伏直流（20至28伏）2）
最大纹波2 Vpp
功率损耗
烘烤+150℃（无电子学单元或
带延伸件→第28页）
相对湿度
（年平均/在60天中）≤65 / 85%（无凝聚）
使用仅室内
海拔高至2000米NN
保护类型IP 30
1）COMBIVAC IT23满足这些要求
2）电源的最低电压必须随测量电缆的长度等比增加
尺寸法兰DN 25 ISO-KF
6拆卸
7产品返修
8附件
9备件
10废物处理
附录
A.测量讯ห้องสมุดไป่ตู้与压强的关系
B.气体种类与压强的关系
污染申报表
参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。
产品标识与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。将信
息复制在标牌的复印件上。
有效范围本说明书适用于下列件号的产品
1.1使用符号
危险
有关防止任何人身伤害的信息。
警告
有关防止设备和环境损伤的信息。
注
有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。
提示，建议
1.2人员素质
技术熟练的人员
本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、有经验的或由产品的最终用户委派的人员执行。
1.3一般安全规则•遵守安全使用规则，对过程介质采取必要的预防措施。
注意材料（→第7页）与过程介质之间可能的反应。
注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。
•全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进
行。注意本说明书中的安全要点。
•在开始工作前，检查是否有被污染的真空元件。当处理被污
染的元件时，遵守有关的规程和采取必要的预防措施。
与其它用户交流安全方面的经验。
精度15%读值
（10-8至10-2毫巴）（5分钟后稳定）
重复性5%读值
（10-8至10-2毫巴）（5分钟后稳定）
与气体种类的关系附录B
发射发射on阈值2.4×10-2毫巴
发射off阈值3.2×10-2毫巴
发射电流
p≤7.2×10-6毫巴5毫安
7.2×10-6＜p＜3.2×10-2毫巴25微安
发射电流转换
50毫米（0.34毫米2导线）100毫米（1.0毫米2导线）用于RS232C工作≤30米
真空真空侧的材料不锈钢，铱，氧化钇，玻璃，
NiFe，NiCr，钨，钼，铜
内容积
DN 25 ISO-KF≤24毫升
DN 40 CF-R≤34毫升
压强，最大2巴（绝对）
环境允许温度
储存-20℃至70℃
工作0℃至50℃
IR 090
热阴极电离复合真空计
使用说明书
BG 804 171 BE
产品标识
有效范围
使用范围
工作原理
注册商标
1安全
1.1使用符号
1.2人员素质
1.3一般安全规则
1.4赔偿责任与保修
2技术参数
3安装
3.1真空连接
3.1.1拆卸和安装电子学单元
3.1.2安装延伸件
3.2电源连接
3.2.1与COMBIVAC IT23一起使用
真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。可
与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。
工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。
它的测量讯号是对数压强输出。
真空计的功能包括BA规热阴极电离测量系统（用于p＜2.0×10-2
毫巴）和皮拉尼测量系统（用于p＞5.5×10-3毫巴）。在2.0×10-2
标准≤0.5安
除气≤0.8安
发射起始（＜200毫安）≤1.4安
功率损耗≤16瓦
保险丝1）≤1.25 AT
规管电缆电连接件D Sub连接件，15脚，插头
电缆
仅用于模拟值
无除气功能4极加屏蔽
用于模拟值
有除气功能5极加屏蔽
全部功能
包括RS232C接口7极加屏蔽
电缆长度，最长（24伏直流）35毫米（0.25毫米2导线）
不带显示器
120 90（法兰DN 25 ISO-KF）
120 92（法兰DN 40 CF-R）
带显示器
120 91（法兰DN 25 ISO-KF）
120 94（法兰DN 40 CF-R）
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
使用范围IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。
10伏1000毫巴
电压与压强的关系对数，0.75伏/量级
误差讯号＜0.3伏/0.5伏（→第25页）
最小负荷10仟欧
RS232C接口波特率9000波特
数据格式二进位数据组
8数据位
1停止位
无奇偶位
无同步交换
讯号值≈±8伏
连接件
T×D（传送数据）接脚13
R×D（接收数据）接脚14
GND（外壳接地）接脚15