文献 标 识 码 ： Ａ
中 图分 类 号 ：４ ４ ４ ０ ８ ．
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求 。本 文分 别 利 用 电 子束 蒸 发 和 离 子 束 溅 射 方 法制 备 了用 于 紫 外 光 区 域 的 ＨＯ 薄 膜 ， 对 薄 膜 的材 料 和 光 学 特 性 进 行 ｆ 并
了表征 与比较 。通过对单层 ＨＯ 薄膜 的实测透射和反射光谱进行数值反演 ， ｆ 得到 了 ＨＯ 薄膜在 ２ ０— ０ ｉ ｆ ３ ８ ０Ｂ ｎ波段的折 射率和消光 系数色散曲线 ， 结果表明两种方法制备的 Ｈ ０ ｆ 薄膜在 ２０Ｂ Ｉ ５ Ｉ 的消光系数均小 于 ２×１ Ｔ ０～。在此基础上 ， 制
备 了两 种 典 型 的 紫外 光 学 薄 膜 元 件 （ 外 低 通 滤 波 器 和 ２ ０ｎ 高反 射 镜 ） 其 光 谱 性 能 测 试 结 果 表 明 ， 种 不 同 方 法 制 紫 ４ ｍ ， 两
备 的器 件 均 具 有 较好 的光 学 特 性 。
关
键
词： 薄膜光 学； 电子束蒸发 ； 离子束溅射 ； 高反射镜 ； Ｘ射 线衍射术 ； Ｘ射 线光电子能谱
Ａｂ ｔ ａ ｔ ｓ ｒ ｃ ：Ｈｆ ｉ ｌ ｉ ｏ ｅ ｏ ｈ ｓ ｉ ｏ ｔ ｎ ｌ ｏ ｐ ｉａ ｐ ｌ ａｉｎ ｎ ｕｔａ ｉｌｔｏ ｔ ｓ Ａｓ Ｏ２ｔ ｎ ｆ ｍ ｓ ｎ ｆｔ ｅ ｍｏ ｔ ｍｐ ｒ ｔｆ ｍｓ ｆ ｒｏ ｔ ｌ ａ ｐｉ ｔ ｓ ｉ ｌ ｖｏ ｅ ｐ ｉ ． ｈ ｉ ａ ｉ ｃ ｃ ｏ ｒ ｃ
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
１７ － １ （ ００ ０ －６００ ６ ４２ ５ ２ １ ）６０ ３ －７ ９
电 子 束 蒸 发 和 离 子 束 溅 射 Ｈ Ｏ 紫 外 光 学 薄 膜 ｆ２
邓文渊， 春， 李 金春水
（ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所， 吉林 长春 １０３ ） ３０３
摘要 ： ｆ Ｈ Ｏ 薄膜在紫外光学 中具有十分重要 的地 位 ， 同方法 制备 的 Ｈ Ｏ 薄膜特性 不 同， 以满足不 同的实际应用 需 不 ｆ： 可
第 ３卷
第 ６期
中 国光 学 与应 用 光 学
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Ｖｏ ． Ｎｏ ６ 】３ ．
Ｄｅ ． ０１ ｃ２ ０
２１ ０ ０年 １ ２月
文章编号
８０ｎ ０ ｍ． Ｏｂ ａｎｅ ｅ ｕｌ ｎ ｃ ｔ ｈ ｔｂ ｔ ｈ ｘｉ ｃ ｉｎ ｃ ｅ ｃ ｅ ｔ ｒ ｍ — ｅ ｍ ｖ ｐ ｒ ｔ ｎ ａ ｄ ｉｎ ｂｅ ｍ ｔ ｉ ｄ ｒ ｓ ｔ ｉｄｉａｅ ｔ ａ ｏｈ ｔ ｅ ｅ ｔｎ ｔ ｏ ｆ ｉｎ ｓ ｆｏ ｅ ｂ ａ ｅ ａ ｏ ａ ｉ ｎ ｏ ａ ｓ ｏ ｉ ｏ
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