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第３ ４卷 第 ２期 ２１ ００年 ４月
南京 理工大 学学报 （ 自然科 学版 ）
Ｊ ｒ ｌ ｆ ａ ｉ ｎ ｅ ｉ ｉ ｃ ａｄ ｅｈｏ ｇ Ｎ ｔａ Ｓｉ ｃ） ｏ ｎ ｍｎ Ｕ ｉ ｒｔ ｏＳ ｅ ｅ ｎ ｃｎｌ ｙ（ ａ ｒ ｃ ｎｅ ｕ ａｏ Ｎ ｇ ｖ ｓｙ ｆ ｃ ｎ Ｔ ｏ ｕｌ ｅ
表 明， 该机构 能够在 应力允许 范围达到运 动位移要 求。
关键 词 ： 微机 电系统 ； 引信 ； 险机 构 ； 保 仿真
中图分 类号 ：Ｊ ３ ． Ｔ ０ １ ４
文章编 号 ：０５— ８０ ２ １ ）２— １６— ４ １０ ９３ （００ ０ ０６ ０
Ｐ ｏ ｅ ｓｓｍ ｕ ａ ｉｎ ａ ｄ Ｓ ａ ｃ Ｃｈ ｒ ｃｅ ｉｔｃ Ｓｍ ｕｌｔｏ ａｙ ｉ ｒ ｃ ｓ －ｉ ｌｔｏ ｎ ｔ ｔ ａ ａ ｔ ｒｓ ｉ ｉ ｉ ａ ｉｎ Ａｎ ｌｓｓ ｏ ＥＭ Ｓ－ ａ ｅ ａ ｅｙ ａ ｄ Ａｒ ｉ ｇ Ｄｅ ｉｅ ｆＭ ｂ ｓ ｄ Ｓ ｆ ｔ ｎ ｍ ｎ ｖｃ
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收 稿 日期 ：０ ８ １ ０ ２ ０ —１ ～ ７
Ｖｏ． ４ １ ３ Ｎｏ ２ ．
ＡＤｒ ０１ ．２ ０
一

种 ＭＥ ＭＳ保 险 机 构 的 工 艺 模 拟 和 静 态 特 性
仿 真 分 析
聂伟荣 ， 占稳 ， 席 李启磊
（ 南京理工大学 机械工程学 院， 江苏 南京 ２０ ９ ） １０ ４
摘
要 ： 文依据 引信安 全 系统设 计准 则 ， 该 设计 了一种 引信 用 ＭＥ ＭＳ保 险机 构 。通 过 分析 该机
构 的工作 原理和作 用过程 可知 ， 机构 可 以满足 引信依 据双环 境信 息解 除保 险的安 全性设 计要 该 求。采 用仿 真软件 Ｃ ｖ ｎ ｒ ｒ ｏｅ ｔ Ｗａｅ对该 ＭＥ ｏ ＭＳ机 构进 行 了工 艺模拟 和 仿 真 ， 出该 ＭＥ 给 ＭＳ保 险
机构 的 Ｕ ．ＩＡ加 工工艺过程 。Ｕ ．ＩＡ加 工 工 艺 中分别 采 用 ２次微 电铸 过程 。 到 固连 在 ＶＬＧ Ｖ ＬＧ 得 基板 上的运 动机构 。最后借 助 Ａ Ｓ Ｓ对该保 险机 构的 力 学性 能进 行 了有 限元 分析 ， 析 结果 ＮＹ 分
Ａ ｓ ａ ｔ Ａ ｃ ｒｉｇｔ ｔｅｃ ｔｒ ｎｏ ｅ ｕｅｓｆ ｙａｄａｍｉｇ（ ＆Ａ）ｓｓ ｍ， ｅ ＭＳｄ — ｂｔ ｃ ： ｃｏｄｎ ｒｅ ｏ ｆｈ ｚ ａ ｔ ｎ ｒ ｎ Ｓ ｒ ｏｈ ｉ ｉ ｔ ｆ ｅ ｙｔ ａ ｗＭＥ ｅ ｅ ｎ
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