面误差和交叉耦合
传统的原子力显微镜采用压电扫描管进行扫描成像，对样品 的水平扫描是通过压电扫描管的弯曲来实现的。管子的弯曲 不是一个正交直角运动，因而扫描结果会带有明显的球面误 差。用户最终得到的平直结果都是通过软件校正得到的，并 不是实际测量值。而且在很多情况下，通过软件校正也不能 获得平直的图像。
原子力显微镜基本工作原理
原子力显微镜是通过检测微细探针原子团和样品原子团间的 相互作用力来检测样品表面高低起伏，也即检测范德华力和 库伦斥力。
原子力显微镜典型结构
• 典型的原子力显微镜 采用XYZ管式扫描器进行 扫描，采用激光检测装 置测量微细探针的起伏， 通过计算机和控制电路 扫描样品表面微观形貌， 最终生成三维形貌。