卢瑟福背散射谱法
英文名称：Rutherford back scattering spectroscopy
定义：以兆电子伏特级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射
入试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运
动方向而形成背散射。

测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含有元素、
含量和晶格的方法。

卢瑟福背散射光谱(RBS)是一种离子散射技术,用于薄膜成份分析。

RBS在量化而不需要参考标准方面是独一无二的。

在RBS测量中，高能量(MeV)He+离子指向样品，这样给定角度下背向散射He离子产生的能量及分布情况被记录下来。

因为每种元素的背向散射截面已知，就有可能从RBS谱内获得定量深度剖析(薄膜要小于1毫米厚).
1、RBS分析的理想用途
●薄膜组成成份/厚度
●区域浓度测定
●薄膜密度测的（已知厚度）
2、RBS分析的相关产业
●航天航空
●国防
●显示器
●半导体
●通信
3、RBS分析的优势
●非破坏性成分分析
●无标准定量分析
●整个晶圆分析（150, 200, 300 mm）以及非常规大样品
●导体和绝缘体分析
●氢元素测量
4、RBS分析的局限性
●大面积分析（~2 mm）
●有用信息局限于top ~1 μm。