6.2 压电传感器测量电路
6.2.3 压电元件的连接
单片压电晶片难以产生足够的表面电荷，在压电式传感器中常采 用两片或两片以上压电晶片组合在一起使用。由于压电晶体是有极性 的，因而两片压电晶体构成的传感器有两种接法：串联和并联。
1、串联形式
Q’=Q，U’=2U，C’=C/2而串联接法输出 电压大，本身电容小。适宜用于以电压 作输出信号，且测量电路输入阻抗很高 的地方。
6.2 压电传感器测量电路
2、并联形式
Q’=2Q，U’=U，C’=2C并联接法输出 电荷大，本身电容大，时间常数大， 适宜用在测量慢变信号并且以电荷作 为输出量的地方。
6.2 压电传感器测量电路
6.2.3 压电元件的变形
f ＋
－ (a) 厚度变形
f －
(b) 长度变形
f
－
f
－
＋
f
ff
f
f
＋
f (c) 体积变形
前置放大器形式：
电压放大器:其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正 比；输出电压灵敏度受分布电容的影响；频限窄；但线路简单，成 本低，性能稳定。
电荷放大器：把压电元件高内阻的电荷源变为传感器低内阻的 电压源，使其输出电压与输入电荷成正比；灵敏度不受分布电容的 影响，频限宽；但线路复杂，成本高，调整难。
沿X方向(电轴)的力作用产生电荷的压电效应称”纵向压电 效应”；
沿Y方向的(机械轴)的力作用产生电荷的压电效应称”横向 压电效应”；
沿Z方向的(光轴)的力作用时不产生压电效应。
6.1 压电传感器工作原理
石英晶体有硅离子Si4+，和氧离子O2-组成，在每一个晶体 单元，硅离子和氧离子在xy平面上的投影等效为一个正六边形。
传感器与检测技术
压电式传感器
概述
压电传感器是一种典型的有源（发电型）传感器。 特点：
结构简单、体积小、重量轻； 工作频带宽；灵敏度高；信噪比高； 工作可靠；测量范围广等。 用途： 主要用于与力相关的动态参数测试，如动态力、机械 冲击、振动等，它可以把加速度、压力、位移、温度等许多 非电量转换为电量。
(a)未极化
电 场
(b)已极化
向量域
6.1 压电传感器工作原理
极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料 受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转， 从而引起 剩余极化强度的变化， 因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化 电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机 械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大 小与外力成如下的正比关系：
qy

d12

a b

fy

d11
a b

fy
d11为X方向压电系数，d12为Y方向压电系数
6.1 压电传感器工作原理
fx
x
-----------
y ++++++++ o
(a)X轴向受压力
fx
++++++++
++++++++
fy
-----------
-----------
-----------
压电加速度传感器
动态压力传感器
6.1 压电传感器工作原理
6.1.1 压电效应
正压电效应：是对某些电介质沿一定方向施以外力使其变形时， 其内部将产生极化现象而使其表面出现电荷集聚的现象。在外力去 除后又重新恢复到不带电状态，使机械能转变为电能。当作用力方 向改变时，电荷极性也随着改变。
（a）未极化
（b）电极化
目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT）系列， 它是 钛酸铅（PbTiO2）和锆酸铅（PbZrO3）组成的（Pb（ZrTi）O3）。 居里点在300℃以上，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数
6.1 压电传感器工作原理
（3）压电高分子材料 高分子材料属于有机分子半结晶或结晶聚合物，其压电效应较复
fy
++++++++
(b)X轴向受拉力
(c)Y轴向受压力
(d)Y轴向受拉力
6.1 压电传感器工作原理
（2）压电陶瓷（多晶体） 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许
多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 具有自发极化的晶体中存在一些自发极化取向一致的微小区域,
称为电畴. 两个畴之间的界面称为畴壁。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化
的影响并获得好的低频特性 – 温度、湿度稳定性好:具备较高的居里点，以获得宽的工作温
度范围 – 时间稳定性: 压电特性不随时间退化。
6.2 压电传感器测量电路
6.2.1 等效电路
当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的 两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一 个静电发生器，也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体 的电容器。
(b)x方向受压力或y方向受拉力作用
正离子
＋
－
－
＋
－
＋
＋
－
负离子 (a)未受力作用
＋ －
.
正离子
－
＋
＋
－ 负离子
(c)y方向受压力或x方向受拉力作用
－
负离子
(d)z方向受压力或拉力作用
6.1 压电传感器工作原理
z
o
x
y
x
z z
b o
o
y
x
cy
a
(a)晶体外形
(b)轴定义
(c)切割晶片
qx d11 f x
x
＋
－
－
y
o
＋
＋
－
Si4+
O2－
(a)不受力时
fx
-------
－
＋
－
+++++++ ＋
－
－
＋
＋
fy
－
+++++++
fx
(b)X轴向受压力时
fy
＋
＋
－ -------
(c)Y轴向受压力时
6.1 压电传感器工作原理
x y
o
正离子
＋
－
－
.
＋
＋
z
正离子
＋
－
－
－.
＋
＋
＋
－
负离子
杂，不仅要考虑晶格中均匀的内应变对压电效应的贡献，还要考虑高 分子材料中作非均匀内应变所产生的各种高次效应以及同整个体系平 均变形无关的电荷位移而表现出来的压电特性。
目前已发现的压电系数最高、且已进行应用开发的压电高分子材 料是聚偏氟乙烯，其压电效应可采用类似铁电体的机理来解释。这种 聚合物中碳原子的个数为奇数，经过机械滚压和拉伸制作成薄膜之后， 带负电的氟离子和带正电的氢离子分别排列在薄膜的对应上下两边上， 形成微晶偶极矩结构，经过一定时间的外电场和温度联合作用后，晶 体内部的偶极矩进一步旋转定向，形成垂直于薄膜平面的碳－氟偶极 矩固定结构。正是由于这种固定取向后的极化和外力作用时的剩余极 化的变化，引起了压电效应。
A. 串联时输出电压不变，电荷量与单片时相同
B. 串联时输出电压增大一倍，电荷量与单片时相同
C. 串联时电荷量增大一倍，电容量不变
D. 串联时电荷量增大一倍，电容量为单片时的一半
5、压电陶瓷传感器与压电石英晶体传感器的比较是（ A ）。
A．前者比后者灵敏度高
B．后者比前者灵敏度高
C．前者比后者性能稳定性好 D．前者机械强度比后者的好
检测技术
第6章 压电式传感器
习题
6、压电石英晶体表面上产生的电荷密度与（ C ）。
A．晶体厚度成反比
B．晶体面积成正比
C．作用在晶片上的压力成正比 D．剩余极化强调成正比
7、压电式传感器目前多用于测量（ B ）。
6.2 压电传感器测量电路
传感器接测量电路时，还要考虑电缆等效电容CC，放大器输入 电阻Ri，输入电容Ci,传感器泄露电阻Ra的影响。
6.2 压电传感器测量电路
由等效电路可见，只有在负载 无穷大，内部无漏电时，受力
产生的电压U才能长期保存,如果负载
，电路要以
因此，当测量变化频率较低时，必须保证 很大，才能
检测技术
第6章 压电式传感器
习题
一、单项选择题 1、对石英晶体，下列说法正确的是（ A ）。
A. 沿光轴方向施加作用力，不会产生压电效应，也没有电荷产生。 B. 沿光轴方向施加作用力，不会产生压电效应，但会有电荷产生。 C. 沿光轴方向施加作用力，会产生压电效应，但没有电荷产生。 D. 沿光轴方向施加作用力，会产生压电效应，也会有电荷产生。 2、石英晶体和压电陶瓷的压电效应对比正确的是（ B ） A. 压电陶瓷比石英晶体的压电效应明显，稳定性也比石英晶体好 B. 压电陶瓷比石英晶体的压电效应明显，稳定性不如石英晶体好 C. 石英晶体比压电陶瓷的压电效应明显，稳定性也比压电陶瓷好 D. 石英晶体比压电陶瓷的压电效应明显，稳定性不如压电陶瓷好
q d33F
式中： d33—— 压电陶瓷的压电系数； F——作用力。
6.1 压电传感器工作原理
压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷 制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的 剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化， 从而使 其压电特性减弱。