1981年 水晶微机械 (Yokogawa Electric) 1982年“Silicon as a mechanical material” (K. Petersen)
1983年 集成化压力传感器 (Honeywell)
1985年 LIGA工艺 (W. Ehrfeld et al.) 1986年 硅键合技术 (M. Shimbo)
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在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫 星是证明空基防御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因 其飞行寿命短 ,所以 ,暴露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基 于硅的 RF开关在太空应用中表现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺
2、MEMS在军事国防上的应用
3、MEMS在汽车工业上的应用
4、MEMS在医疗和生物技术上的应用 5、MEMS在环境科学上的应用
6、MEMS在信息技术领域中的应用
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在汽车上的应用
MEMS传感器及其组成的微型惯性测量组合在汽车自动 驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统（ABS）、减震 系统、防盗系统等。GPS定位系统。 *在汽车里作为加速表来控制碰撞时安全气囊防护系统 的施用 * 在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态稳定 控制系统 * 在轮胎里作为压力传感器。
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影像工作站
OMOM胶囊内镜的工作原理是：患者像服药一样用水将智 能胶囊吞下后，它即随着胃肠肌肉的运动节奏沿着胃→十 二指肠→空肠与回肠→结肠→直肠的方向运行，同时对经 过的腔段连续摄像，并以数字信号传输图像给病人体外携 带的图像记录仪进行存储记录，工作时间达6～8小时，在 智能胶囊吞服8～72小时后就会随粪便排出体外。医生通过 影像工作站分析图像记录仪所记录的图像就可以了解病人 整个消化道的情况，从而对病情做出诊断。 优点: 操作简单:整个检查仅为吞服胶囊、记录与回放观察三个 过程。医生只需在回放观察过程中，通过拍摄到的图片即 可对病情做出准确判断。 安全卫生:胶囊为一次性使用，避免交叉感染 ;外壳采用不 能被消化液腐蚀的医用高分子材料，对人体无毒、无刺激 性 ,能够安全排出体外。 扩展视野:全小肠段真彩色图像清晰微观，突破了小肠检 查的盲区，大大提高了消化道疾病诊断检出率。 方便自如:患者无须麻醉、无须住院，行动自由，不耽误 正常的工作和生活。
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航空航天的应用
在 1995年的国际会议上已有人正式提出研制全硅卫星的概念 。 即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组 合而成 ,这样 ,可使整个卫星的质量缩小到以 kg计算 ,从而使卫 星的成本大幅度降低 。
美国提出的硅固态 卫星的概念图，这 个卫星除了蓄电池 外，全由硅片构成 ，直径仅15cm。
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MEMS的发展过程的重要历史事件
1939年 P-N结半导体 (W. Schottky)


1948年
1954年 1958年
晶体管 (J. Bardeen, W.H. Brattain, W. Shockley)
半导体压阻效应 (C.S. Smith) 集成电路（IC） (J.S. Kilby)
1987年 微型齿轮 (UC Berkeley)
1988年 压力传感器的批量生产 (Nova Sensor) 1988年 微静电电机 (UC Berkeley)
1992年 体硅加工工艺 (SCREAM process, Cornell)
1993年 数字微镜显示器件 (Texas Instruments) 1994年 商业化表面微机械加速度计 (Analog Devices)
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OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统
• 金山科技集团研制的胶囊内镜
“胶囊内镜”是集图像处理、信息通讯、光电工程、生 物医学等多学科技术为一体的典型的微机电系统 （MEMS）高科技产品，由智能胶囊、图像记录仪、手 持无线监视仪、影像分析处理软件等组成。
工作时间：8小时左右 视 角 度：140度 视 距：3cm 分 辨 力：0.1mm 体 积：13mm ×27.9mm 重 量：<6g 外 壳：无毒耐酸耐碱高分子材料 图象记录仪
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图1微机电系统的组成框图 微机电系统的组成框图如图1所示，它是将微机械、信息输 入的微型传感器、控制器、模拟或数字信号处理器、输出信号 接口、致动器 ( 驱动器 ) 、电源等都微型化并集成在一起，成为 一个微机电系统。微机电系统内部可分成几个独立的功能单元， 同时又集成为一个统一的系统。
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生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用 口服或皮下注射法送入人体,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物,除去体内的
胆固醇,可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机
1999年 光网络开关阵列 (Lucent)
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MEMS的应用领域
由于MEMS器件和系统具有体积小、重量 轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、 功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比 拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医 学、环境监测、军事以及几乎人们接触到的所 有领域中都有着十分广阔的应用前景。
微机电系统-MEMS简介
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MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发 明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好 的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行 器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片 上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。 由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微 电子电路比作人的大脑，微机械比作人的五官（传感 器）和手脚（执行器），两者的紧密结合，就是一个 功能齐全而强大的微系统。
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国外MEMS 技术在引信中的应用
• MEMS 技术在精确打击弹药引信中的应用
美国FMU2159/ B 硬目标侵彻灵巧引信及加速度计
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采用MEMS 技术的弹道修正引信
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装有弹道修正引信的MK64 制导炮弹
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单兵20 mm 高 爆榴弹微机电引信
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器人放入眼球内,在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送 药等方面应用甚广。
MEMS的微小可进入很小的器官和组织和能自动地进行细微精确的操作的特
点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风 险。同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时,可进行基因 分析和遗传诊断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、 微器皿和微流量计的器件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以,微机械 在现代医疗技术中的应用潜力巨大,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来 了希望。
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微电子机械系统是以微电子、微机械及材料科学为基础， 研究、设计和制造具有特定功能的微型装置（包括微结构器件、 微传感器、微执行器和微系统等方面）的一门科学。
• 1959年就有科学家提出微型机械的设想，但直到1962年 才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其 后尺寸为50～500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及联 接件等微型机构相继问世。而1987年由华裔留美学生冯 龙生等人研制出转子直径为60微米和100微米的硅微型 静电电机，显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构 并与集成电路兼容制造微小系统的潜力，在国际上引起 轰动，科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居 室或心脏中去的场景将要成为现实展现在人们面前。同 时，也标志着微电子机械系统(MEMS)的诞生。
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MEMS的应用领域
1、MEMS在空间科学上的应用
MEMS在导航、飞行器设计和 微型卫星等方面有着重要应用。 如：基于航天领域里的小卫星、 采用体微加工技术制作的各种 微卫星、纳米卫星和皮米卫星 用 MEMS 技术制造的微型飞行 微泵、微阀、微镊子、微沟槽 的概念，提出了全硅卫星的设 器、战场侦察传感器、智能军 和微流量计等器件适合于操作 计方案 ，整个卫星的重量缩小 用机器人和其他 MEMS器件， 汽车发动机控制模块是最早使 生物细胞和生物大分子。由于 到以千克计算，进而大幅度降 在军事上的无人技术领域发挥 用MEMS 技术的汽车装备，在 MEMS 器件的体积小，能够进 利用 MEMS 技术制造的微型仪 低成本，使较密集的分布式卫 着重要作用。美国采用 MEMS 汽车领域应用最多的是微加速 入很小的器官和组织，同时又 器在环境检测、分析和处理方 星系统成为现实。 技术已制成尺寸只有 10cm×10 MEMS 技术的发展对信息技术 度计和微压力传感器，并且以 能进行细微精细的操作，因此 面大有作为，它们主要是由化 cm 的微型侦察机。 每年 20%的比例在迅速增长。 产生了深远的影响。近年来， 可以大大提高介入治疗的精度， 学传感器、生物传感器和数据 MEMS 又逐渐向光通讯领域渗 此外，角速度计也是应用于汽 降低医疗风险。 处理系统组成的微型测量和分 车行业的重要 MEMS传感器， 透，形成了由微光学、微电子 析设备 ,其优势在于体积小、价 它可用于车轮的侧滑控制。 学、微机械学和材料科学相结 格低、功耗小和易于携带。 合的全新研究领域，即微光电 子机械系统（MOEMS）。


1959年
1962年 1965年
“There is plenty of room at the bottom” (R. Feynman)