单晶制绒
单晶制绒
1 2 3 4 目的 原理 方法 检测
单晶的各种形貌
单晶原始形貌(500倍)
单晶绒面 (500倍)
单晶粗抛(500倍)
单晶绒面(SEM)
反射率
原始硅片的反射率
0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0
单晶绒面的反射率
由此我们可以看出绒面对光吸收的影响,增加 %的光吸收
1010 1080380 450Fra bibliotek520
590
660
730
800
870
940
WL
单晶制绒的原理:
硅的各向异性腐蚀,在不同的晶向上的腐 蚀速度不一致,在100面上的腐蚀速率与 111面上的腐蚀速率R111的比值 R100: R111在一定的弱碱溶液中可以达到500
反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑
制绒过程
清洗槽,去除槽内的碎硅片及其它有机物, 新使用的槽需要洗洁精清洗槽内的有机物 清洗后加水到指定位置:
配液: NaOH
(g)
参考值 范围
2500 2000-4000 10 8-12 1500 1000-2000
异丙醇 参考值 (L) 范围 硅酸钠 参考值 范围
加温至80度