2006AA04Z366
糖化血红蛋白微传感集成芯片系统
李元光
北京怡成生物电子技术有限公司
2006AA04Z367
微流体囊式阵列多光谱连续探测微小型生化分析系统研究
宣明
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2006AA04Z368
基于无线供能的微型胶囊内镜系统实用化研究
姜萍萍
上海交通大学
2006AA04Z369
胶囊内窥镜姿态控制和采样系统
李向东
重庆金山科技（集团）有限公司
2006AA04Z370
面向帕金森病治疗的MEMS脑电极研发
王珏
西安恒拓微电子装备有限公司
2006AA04Z371
汽车ESP（电子稳定系统）用系列微传感器
张威
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
2006AA04Z372
汽车胎压与防撞微传感器及其系统
2006AA04Z303
典型微器件的综合设计方法与模型的研究
王安麟
同济大学
2006AA04Z304
基于IP库的通用MEMS器件可视化仿真与验证工具
赵新
南开大学
2006AA04Z305
生物微纳流控系统设计软件开发
左春柽
吉林大学
2006AA04Z306
支持任意流程的MEMS设计工具关键技术研究
常洪龙
西北工业大学
郑小林
重庆大学
2006AA04Z344
工业级压电式喷头的开发与制造
倪济裕
杭州宏华数码科技股份有限公司
2006AA04Z345
光伏－温差混合微能源研究及其在无线传感器网络中应用
李艳秋
中国科学院电工研究所
2006AA04Z346
基于MEMS技术的微型原子钟研制
甘志银
华中科技大学
2006AA04Z347
基于表面工艺的交错振动式微型电场传感器及其系统
2006AA04Z314
基于金刚石超精密切削的三维微小结构表面加工技术
周明
哈尔滨工业大学
2006AA04Z315
基于新型聚合物的生物MEMS加工技术研究
金玉丰Biblioteka 北京大学2006AA04Z316
金属箔板的精密微冲压成形技术
郭斌
哈尔滨工业大学
2006AA04Z317
金属合金材料的交叉融合型高深宽比阵列微细加工技术
尹韶辉
湖南大学
2006AA04Z336
超高频体模式谐振器及其传感系统平台技术研究
于晓梅
北京大学
2006AA04Z337
电磁波和振动双供能微发电机
文玉梅
重庆大学
2006AA04Z338
复合结式微型放射性同位素电池
苑伟政
西北工业大学
2006AA04Z339
高Q值新型RF NEMS模块－滤波器的研制
宁瑾
中国科学院半导体研究所
王铀
哈尔滨工业大学
2006AA04Z325
高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备
刘世元
华中科技大学
2006AA04Z326
面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测试方法及设备
汪红
上海交通大学
2006AA04Z327
微结构的多尺度光学测试技术及系统
胡小唐
天津大学
2006AA04Z328
李勇
清华大学
2006AA04Z318
金属基亚微米结构紫外激光刻蚀技术与系统
陈林森
苏州苏大维格数码光学有限公司
2006AA04Z319
具有热净化功能双模块集成湿度传感器技术研究
金建东
中国电子科技集团公司第四十九研究所
2006AA04Z320
面向CNT-FET装配的纳米制造技术
朱枫
中国科学院沈阳自动化研究所
陈德勇
中国科学院电子学研究所
2006AA04Z348
基于玻璃上钛（Titanium On Glass, TOG）工艺的MEMS可重构机械逻辑
陈兢
北京大学
2006AA04Z349
基于卟啉分子阵列微纳传感器及系统研究
侯长军
重庆大学
2006AA04Z350
基于电致动聚合物驱动的大流量微流体系统研究
陈花玲
西安交通大学
2006AA04Z332
集成式桌面型微细电加工机床
赵万生
上海交通大学
2006AA04Z333
可控面形的非球面微透镜阵列制造技术
王克逸
中国科学技术大学
2006AA04Z334
六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究
刘品宽
上海交通大学
2006AA04Z335
微小非球面超精密复合加工机床原型样机研制
高云华
中国科学院理化技术研究所
2006AA04Z363
新一代石油勘探装备用高性能MEMS振动传感器
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2006AA04Z364
直接输出频率的谐振式硅微机械陀螺
樊尚春
北京航空航天大学
2006AA04Z365
痕量爆炸物现场快速检测微纳机电传感器技术
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2006AA04Z307
飞秒激光生物分子微纳加工技术与系统装备研发
周明
江苏大学
2006AA04Z308
非硅表面微加工与柔性衬底技术
丁桂甫
上海交通大学
2006AA04Z309
基于DPN（Dip-pen Nanolithography）的纳米锡焊技术研究
郭守武
华东理工大学
2006AA04Z310
基于Super Lens的纳米光刻技术
2006AA04Z351
基于光诱导介电泳的微纳米生物粒子操纵机理与平台实现方法的研究
倪中华
东南大学
2006AA04Z352
基于柔性衬底三维金属微电极阵列的人造视网膜芯片研究
李志宏
北京大学
2006AA04Z353
基于微纳米技术的微型直接甲醇燃料电池系统
刘晓为
哈尔滨工业大学
2006AA04Z354
集成低电压电泳生化分析系统芯片
2006AA04Z321
摩擦副表面微小凹坑阵列的微细电化学制造技术研究
王晓雷
南京航空航天大学
2006AA04Z322
柔性基宏电子制造中微结构的大面积逆压印技术
丁玉成
西安交通大学
2006AA04Z323
微小零件的微细电火花-电解组合加工技术研究
王振龙
哈尔滨工业大学
2006AA04Z324
温度场设计嵌段共聚物模板纳米加工技术
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
2006AA04Z311
基于超快激光的非硅三维微纳米加工技术
王翔
中国科学技术大学
2006AA04Z312
基于多孔硅的CMOS兼容体硅MEMS集成制造技术研究
焦继伟
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2006AA04Z313
基于激光微熔覆的MEMS集成制造技术研究
胡乾午
华中科技大学
MEMS感应局部加热封装设备研制
陈明祥
华中科技大学
2006AA04Z329
基于超声辐射力的微纳构件三维遥操纵关键技术研究
杨克己
浙江大学
2006AA04Z330
基于生物可降解材料的微结构制造系统关键技术研究
陈天宁
西安交通大学
2006AA04Z331
基于微塑性成形技术的微型零件批量制造系统
单德彬
哈尔滨工业大学
任天令
清华大学
徐溢
重庆大学
2006AA04Z355
面向床边诊断(POCT)的微流控传感芯片系统研究
刘长春
中国科学院电子学研究所
2006AA04Z356
人造视网膜关键技术研究
陈迪
上海交通大学
2006AA04Z357
三轴MEMS热对流加速度传感器研究
杨拥军
中国电子科技集团公司第十三研究所
2006AA04Z358
声光互补多信息微纳生物亲和传感技术研究
863计划先进制造技术领域极端制造技术专题2006年度立项课题清单
课题编号
课题名称
课题负责人
课题依托单位
2006AA04Z301
CMOS兼容MEMS设计工具框架与设计流程开发及其在RF MEMS设计中的应用
郝一龙
北京大学
2006AA04Z302
MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究
李伟华
东南大学
吴一辉
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2006AA04Z359
适用于植入式系统的无线能量和信号传输系统
张海霞
北京大学
2006AA04Z360
微型化通讯继电器设计与集成制造技术研究
戴旭涵
上海交通大学
2006AA04Z361
相干布居数囚禁微型原子钟的研究
汪中
北京大学
2006AA04Z362
新型CMOS生物传感器集成技术研究
2006AA04Z340
高精度微型固态三维方向传感器
林新华
中国科学院合肥物质科学研究院
2006AA04Z341
高精度微型谐振式磁敏感器研究
任大海
清华大学
2006AA04Z342
高能量密度MEMS微型直接醇燃料电池
夏保佳
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2006AA04Z343
高通量细胞电融合微系统