23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
பைடு நூலகம்8320
293
7
352000
83200
2930
8
3520000
832000
29300
9
35200000
8320000
293000
注：①每个采样点应至少采样3次。
②本标准不适合用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
国家标准GB50073-2001
表1：洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级(N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³）
0.1µm
0.2µm
0.3µm
0.5µm
1µm
5µm
1
10
2
2
100
24
10
4
3
1000
237
102
35
8
4
10000
2370
1020
352
83
5
100000
8
ISO Class 4
10000
2370
1020
352
83
ISO Class 5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO Class 6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO Class 7
352000
83200
2930
ISO Class 8
3520000
832000
29300
ISO Class 9
35200000
8320000
293000
注：由于涉及测量过程中的不确定性，故要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。
③根据工艺要求确定1-2种粒径。
④1 m³=35.314ft³(立方英尺)，1 ft³=0.02832 m³
⑤所谓100、10000、100000级，是在1立方英尺空气中微粒子个数，因此，100级换算成m³，则有：
100×35.314=3531.4个/ m³
10000级则为353140个/ m³
100000级则为3531400个/ m³
国际标准ISO14644-1
表1：洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
ISO等级序数（N）
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³）
0.1µm
0.2µm
0.3µm
0.5µm
1µm
5µm
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1000
237
102
35