空气洁净度等级标准及规范
空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的
洁净度等级。

例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。

我国于1984年颁布《洁净厂房
设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。

目前，该规范在重新修订中。

国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦标准（系列）可以参考；
2ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（＞0.5 谁子，＜3•嗽/升，或100颗/ft3，或3530 颗/m3）
3洁净度等级在100级以下者（1000, 10000级等）通常用0.5 yn粒径考核的居多；
4随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对
粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用
一个粒径（如0.5卩讪而要用到更多的粒径，如0.3卩m 0.2 甚至0.1 ym。