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辉光放电


模型中的反应
结果与讨论
电势和电场分布
由流体模 型计算得 到
平均电子能
由Monte Carlo 模拟计算得到
电子碰撞速率
由Monte Carlo 模拟 计算得到
等离子体物质数密度
由Monte Monte Carlo 模拟 和流体模 型共同得 到
He+ (a), He2+ (b), N2+ (c), 和N4+ (d)离子的二维数密度图
流体模型
适用于高压下高密度和有大量碰撞的各种等离子 体物质 能用电场能来弥补由碰撞引起的能量损失,得到 准确的表征结果 模型中用的方程:
∂ni + ∇ ⋅ Ji = Si ∂t J i = ± µ in iE − D i∇ n i ∇ ⋅(Eε ) = ρ
连续方程 传质方程 泊松方程
产率, 产率,损失率 扩散, 扩散,混合 均匀的电场分布
总结
用流体模型和Monte Carlo模拟,对两种常用 用流体模型和Monte Carlo模拟,对两种常用 的APGDs设计进行研究,可以得到等离子 APGDs设计进行研究,可以得到等离子 体的电势和电场分布,等离子体的密度和 平均电子能等结果,另外,讨论了APGDs 平均电子能等结果,另外,讨论了APGDs 与减压辉光放电的差别 该方法可用于所有的APGDs模式 该方法可用于所有的APGDs模式
APGDs等离子体的性能表征 APGDs等离子体的性能表征
全面了解APGDs等离子体的性能对于 全面了解APGDs等离子体的性能对于 APGDs的应用具有重要的意义 APGDs的应用具有重要的意义 常用方法:电化学表征,光发射光谱, Langmuir探针,激光解吸和切割技术等 Langmuir探针,激光解吸和切割技术等 计算机建模:使用了流体模型和 计算机建模:使用了流体模型和离子模拟 Monte Carlo技术,可用于等离子体的内部测 Carlo技术,可用于等离子体的内部测 量和其中各类物质密度的测量,可得到较 全面的信息
Monte Carlo 模型
一种动力学模型,以大量独立电子的行为 为基础,运用超电子代替真实电子,可以 得到很好的数据,详细的描述电子行为 超电子的轨迹是时介函数,可用牛顿定律 计算 时阶内的电子的碰撞概率可由下列方程和 时阶内的电子的碰撞概率可由下列方程和 随机数字处理得到
研究操作条件
对两个常用的APGDs设计进行研究 对两个常用的APGDs设计进行研究 1大气压的He气,10ppm的纯N2 ,650V直流 大气压的He气,10ppm的纯N 650V直流 放电电压,He和 放电电压,He和N2离子的二次电子发射系 数分别为0.092和0.01,气体温度为1350K 数分别为0.092和0.01,气体温度为1350K
创新点和发展方向
创新点:流体模型和Monte Carlo模拟两个模 创新点:流体模型和Monte Carlo模拟两个模 型互补使用,流体模型克服了能量损失和 型互补使用,流体模型克服了能量损失和 时间长的困难,而Monte Carlo模拟则互补了 时间长的困难,而Monte Carlo模拟则互补了 流体模型中电子能量不真实的弱点,使得 流体模型中电子能量不真实的弱点,使得 计算出来的结果更为全面和准确,能很好 的表征分析光谱中常压辉光放电的性能 发展方向:将该法用于描述流动余辉放电 和其他的辉光放电设计
常压辉光放电
Hieftje和Andrade等人在这方面研究的比较 Hieftje和Andrade等人在这方面研究的比较 多,也提出了很多的新设计 已被提出的类型:微型直流辉光放电 微空心阴极辉光放电 介电质放电等
APGDs等离子源 APGDs等离子源
流动常压余辉源:可用于气相化合物的离 子化和固相化合物的解吸— 子化和固相化合物的解吸—离子化,可作 为有机质谱的化学离子源 其他等离子源:直接实时分析,介电质放 电离子化,辅助等离子体解吸离子化等。 它们可以对大范围样品进行解吸和离子化, 它们可以对大范围样品进行解吸和离子化, 不需要预处理 优点:高输出,易操作,低消耗,价格便 宜
分析光谱中常压辉光 放电的理论表征
作者:Tom Martens等人 作者:Tom Martens等人 报告人:彭丽英
辉光放电
低压气体中显示辉光的气体放电现象,即 低压气体中显示辉光 现象,即 是稀薄气体中的自激导电现象 减压辉光放电:通常在50~500Pa的压力运 减压辉光放电:析 行,广泛用于固体样品的分析 常压辉光放电(APGDs):在大气压力下 常压辉光放电(APGDs):在大气压力下 运行,可用于气相和液相样品的测定,在 运行,可用于气相和液相样品的测定,在 分析应用,材料加工和环境,生物药物分 析应用上具有重要的意义。 目前,常压辉光放电的研究是一个热点
亚稳态Hem*和激发态He2*的二维数密度图
等离子体产率和损失过程
APGDs与减压辉光放电的比较 APGDs与减压辉光放电的比较
含有一个更薄更小的阴极暗区域CDs和一个 含有一个更薄更小的阴极暗区域CDs和一个 大的正柱区PC 大的正柱区PC 电子的平均能量更低只有50ev左右 电子的平均能量更低只有50ev左右 电子碰撞离子化速率高出几个数量级 两者有相似的等离子体物质数密度分布
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