０ 引言
用。
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电容式压力传感器是利用电容敏感元 件 ， 将被 测压力转 换
成与之成一定关 系的电量输 出的压力 传感器 ， 与压阻式压 力传 感器相 比具有 动态 响应 快 、 敏度 高等优 点 。另外 ， 灵 温度性 能 和分辨率较好 ， 具有低 温漂 和适 于批量加 工 的特点 。然 而 ， 测 压时电容变化量较 小 ， 特性 曲线有 较严重 的非线 性 ， 其 且受 温 度变化影响 ， 因此 ， 当环境温度变化较 大时 ， 除要进行 非线 性校 正外 ， 还须进行温度补偿 …。因此 ， 于每个电容传感器 ， 对 在使 用之前进行线性化校正与温度漂移补偿 ， 就变得非常重要 。
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（ ． 阳工业大学 ， １沈 辽宁沈阳 １０ ７ ２ 沈阳仪表 科学研究院 ， １ ８０；． 辽宁沈阳 １０４ ） １０ ３
摘要 ： 论述 了利用最小二乘法和牛顿插值 法对电容 式压 力传 感器的非 线性和 温度影 响进行校正和补偿 的方法。对 电 容式压力传感器信 号存在 非线性和 温漂问题的机 理进行 了分析 。采 用最 小二 乘法对传 感器输 出信号进 行非 线性校 正， 然后利用牛顿插值 法进行 温度补偿 。测试结果表明 ， 一 Ｏ一 ５℃温度范围 内实现 了０ ０ ％ 的测量精度。 在 ４ ８ ．４
变间隙式电容传感 器在结 构上有 单端式 和差 动式 ２种形 式， 因为差动式 的灵敏度较高 ， 线性误差 也较小 ， 以 电容式 非 所 压力传感器大都采 取差 动形式 。差 动式 电容压力 传感 器 主要
由一个膜 式 电极 和 ２个在 凹形玻璃 上 电镀 成的 固定 电极组成 差动电容器。由设计 和工艺保 证 了测 量膜片产 生 的位 移 （ ｄ △ ）
关键词 ： 电容 式 压 力 传 感 器 ； 小二 乘 法 ； 顿插 值 法 最 牛
中图分类号 ：Ｐ １ ． Ｔ ２ ２９
文献标识码 ： Ａ
文章编号 ：０２—１４ （ ００ １ ００ 一 ２ １０ ８ １ ２ １ ） １— ０ １ Ｏ
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仪 表 技 术 与 传 感 器
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２０１ ０ Ｎｏ ｌ ．１
第 １ 期 １
电 容 式 压 力 传 感 器 的 线 性 化 校 正 与 温 度 补 偿
刘 沁 ， 东旭 张治国 ， 石 ， 新 周 ， 匡 李