多晶硅的主要生产方法和工艺
现在主要的生产高纯多晶硅方法有以下两种： 1、三氯氢硅还原法（SIMENS法） 2、硅烷热分解法 3、流化床法

硅的提纯

为了将粗硅提纯到太阳能级电子级硅所需的纯度， 硅必须经过化学提纯或者物理提纯。所谓硅的化 学提纯是把低纯度硅用化学方法转化为硅的中间 化合物，再将中间化合物提纯至所需的高纯度， 然后再还原、分解成为高纯硅单质。中间化合物 一般选择易于合成、化学分离和提纯的中间产物。 曾被研究过的中间化合物有四氯化硅、四碘化硅、 硅烷等，现在通用的是三氯氢硅还原法（即西门 子法），硅烷法。
多晶硅的定义

多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过 冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列 成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶 粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
多晶硅国外情况

当前，晶体硅材料（包括多晶硅和单晶硅）是最 主要的光伏材料，其市场占有率在90％以上,而且 在今后的一段时期也依然是太阳电池的主流材料。 多晶硅材料的生产技术长期以来掌握在美、日、 德等3个国家7个公司的10家工厂手中，形成技术 封锁、市场垄断的状况。

中间化合物提纯到所需要的纯度后，在后续的还 原工艺中应特别注意，因为在还原过程中如果工 艺技术不恰当，将会造成污染而降低产品的纯度。 因此，还原也是重要的工艺过程。化学法提纯高 纯多晶硅的生产方法大多数分为三个步：①中间 化合物的合成；②中间化合物的分离提纯；③中 间产物被还原或者是分解成高纯硅还原成高纯硅。

（2）新一代低成本多晶硅工艺技术研究空前活跃。 除了传统工艺（电子级和太阳能级兼容）及技术 升级外，还涌现出了几种专门生产太阳能级多晶 硅的新工艺技术，主要有：改良西门子法的低价 格工艺；冶金法从金属硅中提取高纯度硅；高纯 度SiO2直接制取；熔融析出法（VLD：Vaper to liquid deposition）；还原或热分解工艺；无 氯工艺技术，Al－Si熔体低温制备太阳能级硅； 熔盐电解法等。 （新工艺）

其次，多晶硅提纯需要经过专门训练的技术人员 和产业工人，国内这么多的多晶硅项目是否有充 沛的人力资源供应也是颇令人怀疑。综合而言， 只有那些有可靠技术来源或长久技术积累的项目 才会最后投产成功。这其实还是回到了上面的第 一点，自己缺乏技术的来源。正是因为存在技术 这个壁垒，现在正在号称要上的大部分多晶硅项 目都会胎死腹中。

多晶硅的需求主要来自于半导体和太阳电池，按 纯度要求不同，分为电子级和太阳能级。其中， 电子级多晶硅占55％左右，太阳能级多晶硅占45 ％，随着光伏产业的迅猛发展，太阳电池对多晶 硅需求量的增长速度高于半导体多晶硅的发展， 预计到2009年太阳能多晶硅的需求量将超过电子 级多晶硅。
1994年全世界太阳电池的总产量只有69MW，而 2004年就接近1200MW，在短短的10年里就增 长了17倍。专家预测太阳能光伏产业在二十一世 纪前半期将超过核电成为最重要的基础能源之一。 据悉，美国能源部计划到2010年累计安装容量 4600MW，日本计划2010年达到5000MW，欧 盟计划达到6900MW，预计2010年世界累计安 装量至少18000MW。

那么成本呢？即便是用成本较高的化学法，洛阳 中硅的成本也声称只有不到40万元，当然，这是 在没有进行任何污染回收、而将有毒气体直接排 放到了大气中的情况下的成本，如果加上环保回 收投资，每吨成本大约为60万元，而这意味着依 然有80%以上的暴利！而如果采用物理法的话， 河南迅天宇声称，成本只有不到15万元，利润率 可以达到97%！（暴利行业）
硅材料科学与技术
授课老师：刘仪柯
单位： 新余高等专科学校太阳能 科学与工程系

工业硅的生产 高纯多晶硅的生产

太阳电池分类
太阳电池按其材料主要可分为四种类型： (1)硅太阳电池；(2)多元化合物薄膜太阳电池； (3)有机物太阳电池；(4)纳米晶太阳电池。而硅 太阳电池又分为单晶硅、多晶硅、带晶及硅基薄 膜太阳电池等等。
表1-2
近年来世界多晶硅生产能力、供求关系一览表 （单位：吨）
1999 2000 2001 2002 2003 2004 2005
生产能力
22600
23300
26100
26700
26700
28800
35500
需求量
16700
18380
17650
20350
23100
27000
38000
供求平衡
+5900
由此可见，在未来5~10年内，我国多晶硅尚存 在3000吨以上的供应缺口。 2005年中国太阳电池用单晶硅企业开工率在20 ％－30％，半导体用单晶硅企业开工率在80％－ 90％，都不能满负荷生产，主要原因是多晶硅供 给量不足所造成的。预计多晶硅生产企业扩产后 的产量，仍然满足不了快速增长的需要。


从上述的推测分析，至2010年太阳电池用多晶硅 至少在30000吨以上。据国外资料分析报道，世 界多晶硅的产量2005年为28750吨，其中半导 体级为20250吨，太阳能级为8500吨，半导体 级需求量约为19000吨，略有过剩；太阳能级的 需求量为15000吨，供不应求，从2006年开始 太阳能级和半导体级多晶硅需求的均有缺口，其 中太阳能级产能缺口更大。
多晶硅的生产有着许多方面的壁垒

多晶硅项目的壁垒：技术，还是技术 多晶硅的生产有着许多方面的壁垒： 首先，多晶硅提纯是有很高技术壁垒。如前文所述，目 前冶炼多晶硅最重要的技术是西门子法，基本被国际七大 公司垄断。中国项目大多是准备直接或间接地引进俄罗斯 的技术。但俄罗斯目前的能力也仅限于百吨级产量的技术， 到目前为止，连俄罗斯自己仍然没有达到1000 吨产能的 最小经济规模(最佳经济规模要达到2500 吨/年)。同时俄 罗斯的技术在电能消耗上明显高于国际同行，生产每公斤 硅材料耗电量300 度，而国际水准仅为100 度。

太阳电池用多晶硅按每生产1MW多晶硅太阳电池 需要11－12吨多晶硅计算，我国2004年多晶、 单晶太阳电池产量为48.45MW，多晶硅用量为 678吨左右，而实际产能已达70MW左右，多晶 硅缺口达250吨以上。 到2005年底国内太阳电 池 产 能 达 到 300MW ， 实 际 能 形 成 的 产 量 约 为 100MW ， 需 要 多 晶 硅 1400 吨 左 右 ， 预 测 到 2010年需要多晶硅保守估计约4200吨，太阳电 池的生产将大大带动国内多晶硅需求的增加。
国内多晶硅情况

我国多晶硅工业起步于五、六十年代中期，生产 厂多达20余家，由于生产技术难度大，生产规模 小，工艺技术落后，环境污染严重，耗能大，成 本高，绝大部分企业亏损而相继停产和转产，到 1996年仅剩下四家，即峨眉半导体材料厂（所）， 洛阳单晶硅厂、天原化工厂和棱光实业公司，合 计当年产量为102.2吨，产能与生产技术都与国 外有较大的差距。

世界多晶硅主要生产企业有日本的Tokuyama、 三 菱 、 住 友 公 司 、 美 国 的 Hemlock 、 Asimi 、 SGS、MEMC公司，德国的Wacker公司等，其 年 产 能 绝 大 部 分 在 1000 吨 以 上 ， 其 中 Tokuyama、Hemlock、Wacker三个公司生产 规模最大，年生产能力均在3000－8000吨，且 产能在不断扩展中。世界主要高纯多晶硅制造商 2004-2008年产量和生产能力如表所示：
1、三氯氢硅还原法（SIMENS法）

三氯氢硅还原法（SIMENS法）最早由西门子公 司研究成功，有的文献上称为西门子法。三氯氢 硅氢还原法可分为三个重要的过程：一是中间化 合物三氯氢硅的合成，二是三氯氢硅的提纯，三 是用氢还原三氯氢硅获得高纯硅多晶。

一般作为多晶硅生产的原始材料是冶金级硅。冶 金级硅是由石英石（SiO2）加焦碳在高温下还原 制成。三氯氢硅还原法以冶金级硅和氯化氢 （ HCl ） 为 起 点 ， 将 硅 粉 和 氯 化 氢 （ HCl ） 在 300℃和0.45MPa经催化合成反应后生成三氯氢 硅还原法的中间原料——三氯氢硅，这个过程称 为氯化粗硅。三氯氢硅又叫做三氯硅烷或硅氯仿。 在化工工业上，它是制取一系列有机硅材料的中 间体；在半导体工业上，它是生产多晶硅最重要 的原材料之一。
+4920
+8450
+6350
+3600
+1800
-2500
国际多晶硅主要技术特征有以下两点：

（1）多种生产工艺路线并存，产业化技术封锁、 垄断局面不会改变。由于各多晶硅生产工厂所用 主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进 而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指 标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存 在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说， 目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良 西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子 工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80％， 短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。



3、工艺设备落后，同类产品物料和电力消耗过大，三废 问题多，与国际水平相比，国内多晶硅生产物耗能耗高出 1倍以上，产品成本缺乏竞争力。 4、千吨级工艺和设备技术的可靠性、先进性、成熟性以 及各子系统的相互匹配性都有待生产运行验证，并需要进 一步完善和改进。 5、国内多晶硅生产企业技术创新能力不强，基础研究资 金投入太少，尤其是非标设备的研发制造能力差。 6、地方政府和企业项目投资多晶硅项目，存在低水平重 复建设的隐患。

国内外情况对比


同国际先进水平相比，国内多晶硅生产企业在产业化方面 的差距主要表现在以下几个方面： 1、产能低，供需矛盾突出。2005年中国太阳能用单晶硅 企业开工率在20％－30％，半导体用单晶硅企业开工率 在80％－90％，无法实现满负荷生产，多晶硅技术和市 场仍牢牢掌握在美、日、德国的少数几个生产厂商中，严 重制约我国多晶硅产业发展。 2、生产规模小、现在公认的最小经济规模为1000吨/年， 最佳经济规模在2500吨/年，而我国现阶段多晶硅生产企 业离此规模仍有较大的距离。