人机界面按键
在任何界面下激活目录条 回到主界面 在任何界面下进入报警和警告界面 关闭报警声
提高/减低所需值 在多个文档中切换
人机界面操作
按下 后出现的界面：
Restart：启动初纯化器，或者在 出现报警后取消报警并重启纯化器。 Details:深入显示当前系统的控制 点参数。 Alarms:激活报警界面，显示激活 的报警，警告及信息。 Events:激活历史事件表，显示最 多500条历史事件。
按下
人机界面操作
后的界面
人机界面操作
人机界面操作
故障处理
故障报警界面： 按下 后显示 的界面。
故障处理
当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的 Alarm、Warning信息。
ACCEPT:点击确认单个报警信息。
ALL：点击确认所有报警信息。 ACCEPT后的警报信息会显示为灰色 未ACCEPT得警报信息会显示为红色 信息代码：<A>表示Alarm
<W>表示Warning 气\Fault Reporting.xml
结束
感谢大家！！！
FIN！！
vampirctutor
Zeolites：
均质金属：球状、分子筛
纯化进程
Operation
1、催化氧化 2、物理吸收 3、化学吸收
物理吸收
分子筛 优点：
1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆 缺点： 1、常量普通
物理吸附
CO2
H2O
CO2
H2O H2O
气体纯化技术
技术基于：
Purification
基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、 O2、Ar、He、和CAD）
可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到 0.1ppb
产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。 对大量的特气也能纯化。
Pure Gas Technologies
H2O
N2/Ar O2 CO
CH4 H2
CO2
化学吸收
支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等 优点： 1、金属能化学吸附O2、CO、H2 2、金属网格能物理吸附H2O与CO2 3、筒室温度可控 4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O 5、局部压力不会造成重大影响
化学吸附——支撑性金属
N2
O2
Zr
O
CO2/ CO
Zr
N
Zr H CH4
Zr C
He/Ar
热扩散
表面杂质
扩散至大宗气体
300-400 0 C
ZrO ZrC ZrN
氧气纯化工艺
催化床 吸附床
H2O
H2
CH4
CO CO2
+O2 CO2+H2O
物理吸附
PS6装配图
仪表气体系统图
PS6
纯化器人机界面
STATUS 指示性的显示系统状态 TIME 为当前进行步骤计时 TEMP& PRESSURE 指示性的显示当前的压力 温度 FLOW 当前进程气体流量数
NiCO O2 H2O
Ni O
Ni O
Ni H2 Ni O CO2
N2/Ar
化学吸收
捕获器：锆、钒、钛、等 优点：
1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO2 2、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化 3、相对较高的产量 4、局部压力不会造成重大影响
化学吸附域纯化器 大型纯化器
Bulk Gas Purification Technologies
材料及操作原则 杂质去除 应用
Materials
Getters:
均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛
Supported Metals:
支撑性材料、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质