忽悠人的，没啥东西，建议不用下载了。
原文内容如下：
MEMS公司企业和研究机构列表
研究机构 :
东南大学 MEMS教育部重点实验室
2, 北京大学微电子学研究院和微米 / 纳米加工技术国家级重点实验室
3, 北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所 , 北京海淀区
, 电子科技集团第 13 所-国家 '863'MEMS 专项基地 ,, 河北石家庄新华区合作路 , 加速度传感器 , 陀螺仪 , 碰撞传感器 , 倾角传感器 , 振动传感器 , 流量传感器 , 光开关 , 光衰减器 , 光反射镜 ,RF 开关 , 微波移相器 , 微波带通滤波器
5, 中国电子科技集团公司第 49 所, 哈尔滨南岗区一曼街 , 力 / 温/ 湿 / 气/ 磁 / 光 6 个方面 ,100 多种传感器 .20 余年
MEMS研究 , 服务国防及重点工程
公司企业
1. 华润半导体 (香港 )有限公司 , 香港 ,RF MEMS SWITCH,(为美国 TERAVICTA代工 ), 硅 microphone)
2. Memsic- 美新半导体 (无锡 ) 有限公司 , 无锡 , 麦克风
3. 楼氏声学公司 (Knowles Acoustics), 苏州 , 各类传感器
4, 山东歌尔电子有限公司 - 歌尔声学股份有限公司 , 潍坊总部 ,MEMS 部在北京 , 硅 microphone
5, 北京青鸟元芯微系统科技有限公司 , 压力传感器 , 加速度传感器 , 湿度传感器
6, 博世传感器公司 (Bosch Sensortec), 医疗 (加速度计 -- 药物释放 / 生物分析 , 步数计 ), 消费 (笔记本坠落感测 , 振动感测 ,3D 游戏杆 ), 安全工程
7, ST- 意法半导体
8, ADI2
9, 摩托罗拉
10, HP- 惠普 , 喷墨打印机头
`11. 英飞凌 ,TPMS 用 MEMS传感器 , 已经与 IC 完美集成 ! 很厉害 !
12. 苏州敏芯微电子技术有限公司 , 硅基 MEMS麦克风 (07 年 11 月发布 ,08 年批量
公司名录 主要产品类型 技术来源
无锡纳微电子有限公 硅压力传感器 是 2008 年 1 月由中国无锡留学人员创业园、中国爱
司 德基金会，和主要创业人员等共同出资，南京大学教
授都有为院士任公司董事长及首席科学家，海外留学
归国人员桂建明博士任公司总经理
北京广微积电科技有 压力传感器、非 公司主要设计研发人员均来自国外，尤其在集成电路
限公司 制冷红外探测器 设计及微传感器系统集成方面具有极其雄厚的科研实
力，与西安西岳电子合作非制冷红外探测器
西安中星测控有限公 MEMS 惯性传 成立于 2004 年 8 月，由原西安中星测控有限责任公
司 感器，压力传感 司（成立于 1996 年 4 月）与新加坡泛伟投资控股公
器 司（ Panweld Holdings Limited ）共同出资组建；设有
四个研究机构：惯性产品研究室、光电传感研究室、
汽车电子研究室和力与压力研究室
苏州敏芯微电子技术 MEMS 微型硅 公司的管理团队有着深厚的半导体封装和 MEMS 产业
有限公司 麦克风，硅压力 背景，并曾作为创始人实现过一家半导体封装公司及
传感器 一家 MEMS 公司的上市； 公司的技术核心团队有着在
国内外顶尖大学微电子实验室从事 MEMS 与集成电
路（ IC）技术研究的宝贵经验，拥有数项涉及 MEMS
关键技术的突破性发明和世界级科研成果
歌尔声学股份有限公 微型麦克风 、微 与中科院声学所、北京邮电大学等国内外多家知名高
司 型扬声器 校和科研机构有长期的战略合作伙伴关系重庆金山科技（集团）胶囊内窥镜，硅 其总经理为原宝鸡传感器研究所所长
有限公司 微型泵
北京青鸟元芯 微型湿度传感器 以 " 北京大学微电子学研究院 " 和"微米 /纳米加工技术
MEMS 压力传 国家级重点实验室 " 为技术依托
微系统科技有 感器、加速度传
限责任公司 感器
宝鸡秦明传感器有限公司
压力传感器
以中国第一个传感器专业研究所
所为其研究
开发中心
—— 宝鸡传感器研究
上海芯敏微系统技术
有限公司
以中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室
北京七星华创电子股 设备 前身是国家骨干电子企业
份有限公司
北京创威纳科技有限 设备 主要技术人员曾在中国科学院微电子中心、清华大学
公司 等单位长期
从事半导体设备及工艺研究工作
江苏英特神斯科技有 软件 IntelliSuite 总部在美国
限公司（ Intellisense ）
深迪半导体（上海） 微型陀螺仪 海外归国人员创业
有限公司
无锡美新半导体 加速度传感器， 母公司美国美新公司（ MEMSIC ）
地磁传感器
还有其它的， 例如上海巨哥电子科技有限公司， 深圳市卡默莱电子科技
有限公司，烟台睿创微纳技术有限公司 Raytron ，上海三鑫科技发展有
限公司 （Laseno 微型激光投影仪）
目前，国内 MEMS 产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现
高校和研究所：
北京大学、 1000m2 MEMS 洁净室
中科院上海微系统与信息技术研究所， 1600m2MEMS
河北半导体研究所（ 13 所） 1000m2MEMS 洁净室
洁净室
厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心 600m2 洁净室
中国工程物理研究院微系统中心 1000 m2 洁净室
中国科学院微电子研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所
其它的诸如：山东淄博国家高新区 MEMS 研究院、陕西省微型机械电子系统研究中心、西安 212/213 所、 618 所，航天 717/704 所等等，
大连理工王立鼎院士的分析是：
研发的分布地区和单位：
中国内地 MEMS 的研发单位主要集中在华北、华东和东北三个地区，
还有西南地区的重庆和西北地区的西安等。 初步统计，不同层次的内地
研发单位共有 60 余个。如：
华北地区：清华大学、北京大学、中科院电子所、石家庄 13 所，中科
院力学所等；
华东地区：中科院上海微系统与信息技术所、上海交大、上海大学、东
南大学、浙江大学、厦门大学、中国科大、南京 55 所等；
东北地区：大连理工大学、哈尔滨工业大学、哈尔滨 49 所、中科院长
春光机所、沈阳仪器仪表工艺所、东北大学等；
西南地区：重庆大学、重庆微系统科技股份有限公司等；西北地区：西安交大、航空 618 所等；
内地其它单位还有： 解放军总装备部、中科院半导体所、中科院高能物理所、北京理工大学、北京航空航天大学、南开大学、天津大学、华北工学院、复旦大学、华东师范大学、中科院上海光机所、南京航空航天
大学、中科院合肥智能机械所、黑龙江大学、沈阳工业大学、沈阳 47 所、长春科技大学、重庆 24 所、重庆 26 所、重庆 44 所、中科院成都光电技术所、中国工程物理院电子所、成都电子科技大学、西北工业大
学、西安电子科技大学、 广东工业大学、武汉科技大学、河北科技大学、
四川大学、航天集团 16 所等。
香港地区：香港科大、中文大学等。
台湾地区：台湾大学、清华大学、交通大学、成功大学、新竹工业园机械所等。
据统计，按部门分布如图 1 所示。
代工服务：
中芯国际
无锡华润上华科技有限公司
台湾的 TSMC 和 UMC
封装：
南通富士通：
晶方半导体科技有限公司：拓展至微电机 (MEMS )，无线射频识别芯片 (RFID)
华天科技：开发 MEMS 封装技术
长电科技：已掌握 MEMS 封装技术，并以实现量产
通富微电： 国内最早研究开发 MEMS 封装，也是国内最先实现 MEMS 量产的厂家， 客户包
括意法半导体、美新等国内外知名的 MEMS 企业
工业园：苏州，无锡
造苏州工业园区生物纳米科技园，希望使其成为生物科技的创新平台
无锡市积极建设中国微纳国际创新园，并将微纳米产业作为重点发展对象