激光显微共焦拉曼光谱系统附件一一．货物需求：显微共焦拉曼光谱仪系统一套。

二．详细技术参数：系统的主要技术指标：1) 250mm焦长，系统总通光效率大于30%。

2）波长范围：200nm—1050nm。

3）光谱扫描范围： 325nm 激发Raman(200-4000cm-1)，532nm 激发15–8000 cm-1，632.8nm 激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。

4）光谱分辨率：可见全谱段等于或小于1cm-1, 紫外(325nm)段<3cm-1，红外（1064nm）段<3cm-1。

5）光谱重复性（测量多少次50次）：≤±0.15cm-1。

6）空间分辨率：横向< 0.5微米，光轴方向< 2微米。

7）灵敏度：硅三阶峰信噪比好于 15: 1,并可见四阶峰；(指光谱仪无低波数附件时的灵敏度)。

8）低波数：小于或等于15cm-1(785nm激发)，15cm-1(532nm激发)；9) CCD探测器：应使用紫外和近红外同时增强深耗散层型CCD探测器，优质芯片，半导体制冷到-70ºC,为确保图像质量，避免边缘畸变，芯片尺寸应 < 13×8.5mm，像元尺寸22 m。

10）第二探测器组件（InGaAs探测器）：0.9 um～1.65 um，包含软件包，液氮或半导体制冷。

11）光源及控制系统：632.8nm，≥17毫瓦；785nm, ≥275毫瓦；514.5nm，≥40毫瓦,325nm激光器30毫瓦。

12）可导入脉冲激光光源（405nm）进行瞬态测量，信号光可引入TCSPC，提供TCSPC探测器接口，（需考虑放滤光片位置）。

包含附件：1.直接二维拉曼成像功能（532/785 nm激发）。

2.大面积快速扫描拉曼成像功能。

3.三维拉曼成像功能。

3.冷热台及控制器（-195 o C to +600 o C）4.冷热台及控制器（室温 to +1500 o C）5.催化反应拉曼原位池（室温 to +1000 o C）6.TCSPC系统7.自动xyz三维平台。

8.拉曼偏振测量附件。

系统的详细技术规格：一、显微镜：研究级正置徕卡显微镜。

1、原配物镜：5×、20×、50×和100×物镜，15×和40×紫外物镜.2、配置50x长焦物镜（WD8.1 mm）和100x长焦物镜（WD3.4mm）3、彩色摄像头，4、XY 手动样品台5、显微镜摄像机可观察紫外激光光斑含反、透射照明系统（含聚光透镜）二、光谱仪要满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，尽量同时满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，详见以下指标：1、拉曼频移范围：325nm 激发200-4000cm-1，532nm 激发15–8000 cm-1，632.8nm激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。

2、焦长≥250mm，通光效率≥30%3、高灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于15:1，并能观察到四阶峰，要求灵敏度尽量高。

检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，到样品上功率10mW，狭缝宽度（或针孔）小于50微米，光栅大于等于600g/mm，曝光时间100 秒，累加次数3 次，binning等于1。

显微镜头为X100倍。

4、光谱重复率：≤±0.2cm-15、光谱分辨率：可见全谱段<=1cm-1, 紫外(325nm)全谱段<3cm-1,红外（1064 nm）全谱段<3 cm-1要求光谱分辨率尽量高。

6、光谱分辨率和灵敏度的综合性能：在满足<1cm-1分辨率时的灵敏度需尽量高，在<=1cm-1分辨率条件下硅三阶峰的信噪比好于10:1。

7、配有分别满足紫外和可见光测量的光栅，而且能分别满足高分辨及高灵敏测量。

光栅能由软件控制自动转换。

8、光谱仪每个波长（325nm、532nm、633nm、785nm和1064nm）都必须配2片Edge滤光片及一片干涉滤光片。

三、CCD探测器1、光谱范围220–1100nm2、半导体制冷（小于等于-70℃）3、紫外-近红外增强高质量CCD4、量子效率：在600nm处>50%，在300nm 处>30%（见响应文件的响应曲线）5、暗噪声<0.005 电子/秒/像元6、读出噪声<7 电子/像元四、共焦技术1、具备共焦性能。

2、空间分辨率横向（光斑直径）小于0.5 μm，纵向小于2μm，共焦深度连续可调。

五、计算机奔腾Ⅳ以上机型，Windows 操作系统。

Windows 下光谱专业软件包 - 包括仪器控制，数据采集、计算和处理及曲线拟合等各项功能。

软件具有加、减、乘、除、荧光扣除等功能。

数据库包括：谱库搜索软件，矿物数据库，高分子数据库。

六、激发波长1、325nm激发波长1.1、325nm激光器，≥30mw, kimmon产，相关波长30cm, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及该激光器运行所需配件。

1.2 两台325nm激光器。

2、532nm激发波长2.1、532nm激光器，50mw, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及该激光器运行所需配件。

3、632nm激发波长。

3.1、632nm激光器，≥17mw, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。

带电源及该激光器运行所需配件。

4、785nm激发波长4.1、785nm激光器，≥250mw, TEMoo模，单纵模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。

带电源及该激光器运行所需配件。

5、1064nm激发波长5.1、1064nm激光器，≥200mw, TEMoo模，单纵模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。

带电源及该激光器运行所需配件。

七、外购附件1、液氦低温样品台，4K至室温，振动幅度3-5 nm，带微位移平台；2、20x常规焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：1.27mm50x常规焦距暗场镜头，NA：0.80，WD：0.37mm100x常规焦距暗场镜头，NA：0.90，WD： 0.29mm50x长焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：8.1mm100x长焦距暗场镜头，NA：0.75，WD：3.7mm3、TCSPC系统4、532nm和785nm波长均配拉曼偏振测量附件5、4GHz高速示波器，4通道6、超连续白光激光光源，总功率4W，脉冲重复频率40 MHz，单波长功率2mW，400nm～2200nm，含声光调制光栅；7、脉冲激光光源，532 nm/266 nm，脉宽10 ns；8、连续激光光源，808 nm、473 nm、403 nm；7、锁相放大器及斩波器；8、高精度电流源表（双通道，2台）；八、与扫描电镜耦合部件特殊设计的SEM/Raman接口允许扫描电镜成像和拉曼光谱采集在SEM样品仓内同时进行，首次实现在SEM上原位测试样品化学结构信息。

在不进行拉曼采集时，拉曼元件可收回，完全不影响SEM任何功能。

双波长SEM-Raman接口装置内置的计算机控制的显微摄像头集成计算机控制的照明光源，允许同时观察样品白光照明情况和激光光斑。

采用单模光纤的共焦拉曼探头，用于532 /785nm激发，集成130/100波数瑞利滤光片，5米长光纤。

常规拉曼测试模式与联用测试模式的快速切换机构，计算机自动控制。

拉曼测试点精确重复定位装置，保证拉曼测试点与电子束扫描及x荧光分析样品点精确重复。

为实现联用需升级的部件:拉曼信号收集光纤光路（双波长），含固定于滤光片转台上的光学元件。

激光传递光路自动切换装置，完成常规测试和联用测试模式的激光传递切换。

光谱仪内自动控制切换的反射镜单模光纤光路切换装置及激光安全锁（双波长）。

谱仪系统固定于光学平台上的固定装置3、工作条件：1)、电源电压 220V2)、环境温度 15—28℃3)、相对湿度≤60%4、售后服务: 厂家负责免费安排安装、调试、培训和验收，并承担由此发生的一切费用,并提交经买方签字认可的安装调试报告。

设备出现故障时，厂家保证在接到用户通知后24小时内响应，如有必要48小时内派出维修人员到达现场进行服务5、交货时间:收到信用证后3个月内.6、质量保证: 设备保修期自最终验收协议签署生效之日起三年，在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修, 免费保修期后，厂家提供终身维修，并保证零配件的供应，提供软件终生免费升级。

7、技术文件：提供全套书面和光盘的技术资料，包括操作说明书，维护说明书，质量认证等。

扫描电镜部分1．工作条件:1.1电源: 220V/50Hz1.2运行环境温度: 15-25 C1.3 运行环境：相对湿度<80%1.4仪器运行的持久性：可连续运行2．设备用途：2.1该电镜主要用于直接观察导电、不导电样品的表面形貌。

3．技术规格：3.1电子光学系统：*3.1.1分辨率：3.1.1.1高真空模式：1.2 nm @30 kV（SE），3.0 nm @1 kV（SE），2.5 nm@30kV（BSE）3.1.1.2低真空模式：1.4 nm @30 kV（SE），3.0 nm @3 kV（SE），2.5 nm@30kV（BSE）3.1.1.3 环境真空模式 (ESEM)：1.4 nm @30 kV（SE）3.1.2 加速电压： 0.2kV－30KV3.1.3放大倍数：6倍－100万倍3.1.4放大倍数误差：≤3 %*3.1.5电子枪：Schottky场发射电子枪, 最大束流200n A3.1.6物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。

3.1.7.二次电子和背散射电子成像系统: 自动调节和手动调节亮度、对比度3.1.8 扫描旋转、动态聚焦和倾斜校正补充3.2样品室*3.2.1样品台：五轴或以上马达驱动，移动范围：X≥100mmY≥100mmZ≥60mmT≥-5～+70°R=360°连续旋转3.2.2 样品室尺寸: 左右内径>280mm3.2.3 分析工作距离 10 mm3.3检测器：3.3.1高真空模式二次电子检测器；*3.3.2 低真空模式二次电子检测器及环境真空下的气体二次电子检测器3.3.2 背散射电子检测器3.3.3 样品室红外CCD相机3.4数字图像记录系统3.4.1图像处理：最大6144x 4096像素3.4.2图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示*3.4.3图像记录: TIFF, BMP或JPEG; 自动记录数字电影(.avi)功能3.4.4 几何量实时测量3.5控制和数据处理系统3.5.1 基于以太网架构的数据传输系统3.5.2 Intel双核控制和操作计算机系统3.5.3 Windows 7操作系统3.5.4 显示器：24英寸LCD显示器3.6真空系统3.6.1涡轮分子泵250l/sec和两个离子泵3.6.2前级机械泵3.6.3透镜内压差真空系统, 低真空模式下抽气区域不少于3个*3.6.4 样品室真空度：高真空模式下优于6×10-4Pa低真空模式下10Pa～130Pa环境真空模式下10Pa～4000Pa3.7标准应用软件3.7.1 样品图像导航3.7.2 鼠标拖曳式放大及对中功能3.7.3 直方图和在线测量3.7.4 数字动画记录原子力显微镜/近场光学显微镜部分原子力显微镜/扫描探针近场光学显微镜一台。